Yarımkeçiricilərin istehsalının yüksək texnologiyalı sahəsində hər bir addım müstəsna dəqiqlik və təmizlik tələb edir. Xüsusi rezin möhürlər, istehsal avadanlıqlarının sabit işləməsini təmin edən və yüksək təmiz istehsal mühitini təmin edən kritik komponentlər kimi, yarımkeçirici məhsulların məhsuldarlığına və məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir. Bu gün biz flüororezin və perfluoroelastomer kimi xüsusi rezin möhürlərin yarımkeçirici istehsalında necə mühüm rol oynadığını araşdıracağıq.
I. Yarımkeçiricilərin İstehsal Mühitlərinin Ciddi Tələbləri
Yarımkeçiricilərin istehsalı adətən ekoloji təmizlik tələblərinin çox yüksək olduğu təmiz otaqlarda aparılır. Çirkləndiricilərin hətta kiçik hissəcikləri çip qısa qapanmalarına və ya digər performans qüsurlarına səbəb ola bilər. Bundan əlavə, istehsal prosesi fotorezistlər, aşındırma məhlulları və təmizləyici mayelər kimi müxtəlif yüksək aşındırıcı kimyəvi maddələrin istifadəsini əhatə edir. Bundan əlavə, bəzi proses mərhələlərində əhəmiyyətli temperatur və təzyiq dalğalanmaları olur. Məsələn, aşındırma və ion implantasiyası prosesləri avadanlıq daxilində yüksək temperatur və təzyiqlər yaradır. Bundan əlavə, möhürlərdən gələn çöküntülər yarımkeçiricilərin istehsalına ciddi təsir göstərə bilər. Hətta az miqdarda çöküntülər yarımkeçirici materialları və ya prosesləri çirkləndirərək istehsal prosesinin düzgünlüyünü poza bilər.
II. Xüsusi rezin möhürlərin əsas rolları
1. Hissəciklərin çirklənməsinin qarşısının alınması: Xüsusi rezin möhürlər toz, çirkləri və xarici mühitdən gələn digər hissəciklərin avadanlığa daxil olmasını effektiv şəkildə bloklayır, təmiz mühiti saxlayır. Perfluoroelastomer möhürləri nümunə götürsək, onların hamar səthi hissəciklərin udulmasına müqavimət göstərir. Onların əla çevikliyi onlara etibarlı möhürləmə maneəsi yaradaraq və yarımkeçiricilərin istehsal prosesinin hissəciklərlə çirklənmədən azad olmasını təmin edərək, avadanlıq komponentlərinə möhkəm uyğunlaşmağa imkan verir.
2. Kimyəvi Korroziyaya Müqavimət: Flüorokarbon və perfluoroelastomer kimi möhürlər yarımkeçiricilərin istehsalında geniş istifadə olunan kimyəvi reagentlərə əla müqavimət göstərir. Flüorokarbon möhürləri ümumi turşu və qələvi məhlullara və üzvi həlledicilərə davamlıdır, perfluoroelastomer möhürlər isə yüksək oksidləşdirici və aşındırıcı kimyəvi mühitlərdə xüsusilə sabitdir. Məsələn, yaş aşındırma proseslərində perfluoroelastomer möhürləri korroziya olmadan yüksək turşulu aşındırma məhlulları ilə uzun müddət təmasda ola bilər, avadanlığın möhürlənməsini və dayanıqlığını təmin edir.
3. Temperatur və Təzyiq Dəyişmələrinə Uyğunlaşma: Yarımkeçiricilər istehsal edən avadanlıq əməliyyat zamanı tez-tez temperatur və təzyiq dəyişkənliyi ilə üzləşir. Xüsusi rezin möhürlər əla yüksək və aşağı temperatur müqaviməti, həmçinin əla elastiklik və təzyiq müqaviməti tələb edir. Flüororezin möhürlər, müxtəlif emal mərhələlərində temperatur dəyişkənliyinə uyğunlaşaraq, müəyyən bir temperatur diapazonunda əla elastiklik və sızdırmazlıq xüsusiyyətlərini saxlayır. Perfluoroelastomer möhürləri isə, əksinə, yüksək temperaturlara dözmür, həm də aşağı temperaturda bərk və ya kövrək olmağa qarşı müqavimət göstərir, etibarlı sızdırmazlıq göstəricilərini saxlayır və müxtəlif mürəkkəb iş şəraitində avadanlıqların normal işləməsini təmin edir.
4. Yağış riskinə nəzarət: möhürlərdən yağıntıya nəzarət yarımkeçiricilərin istehsalında çox vacibdir. Flüoroelastomer və perfluoroelastomer kimi xüsusi rezin möhürlər müxtəlif əlavələrin istifadəsini minimuma endirmək üçün optimallaşdırılmış formulalar və istehsal proseslərindən istifadə edir və bununla da istehsal prosesi zamanı kiçik üzvi molekullar və metal ionları kimi çirklərin çökmə ehtimalını azaldır. Bu aşağı yağıntı xüsusiyyətləri möhürlərin potensial çirklənmə mənbəyinə çevrilməməsini təmin edir və yarımkeçiricilərin istehsalı üçün tələb olunan ultra təmiz mühiti qoruyur.
III. İxtisaslı rezin möhürlər üçün performans tələbləri və seçim meyarları
1. Təmizliklə əlaqəli xüsusiyyətlər: Səthin pürüzlülüyü, dəyişkənliyi və hissəciklərin buraxılması kiplərin əsas göstəriciləridir. Aşağı səth pürüzlülüyü olan möhürlər hissəciklərin yığılmasına daha az meyllidir, aşağı dəyişkənlik isə yüksək temperaturlu mühitlərdə kiplərdən üzvi qaz emissiyaları riskini azaldır. Möhürləri seçərkən, aşağı dəyişkənlik və hissəcik emissiyası təklif edən xüsusi səth müalicələri olan məhsullara üstünlük verin. Məsələn, plazma ilə işlənmiş perfluoroelastomer möhürlər daha hamar bir səth təklif edir və dəyişkənliyi effektiv şəkildə azaldır. Həmçinin, möhürün buraxılma xüsusiyyətlərinə diqqət yetirin və yarımkeçirici istehsal mühitlərində heç bir zərərli emissiya buraxmadığından əmin olmaq üçün ciddi buraxılış sınağından keçmiş məhsulları seçin.
2. Kimyəvi uyğunluq: Yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı rast gəlinən xüsusi kimyəvi reagentlər əsasında müvafiq rezin materialı seçin. Fərqli növ floroelastomer və perfluoroelastomer müxtəlif kimyəvi maddələrə fərqli müqavimət göstərir. Güclü oksidləşdirici turşuları əhatə edən proseslər üçün yüksək oksidləşdirici perfluoroelastomer möhürləri seçilməlidir. Ümumi üzvi həllediciləri əhatə edən proseslər üçün flüoroelastomer möhürlər daha sərfəli seçim ola bilər.
3. Fiziki xüsusiyyətlər: Bunlara sərtlik, elastiklik modulu və sıxılma dəsti daxildir. Orta sərtliyə malik olan möhürlər yaxşı sızdırmazlığı təmin edir, eyni zamanda quraşdırma və sökülməni asanlaşdırır. Elastik modul və sıxılma dəsti uzunmüddətli gərginlik altında möhürün performans sabitliyini əks etdirir. Yüksək temperatur və yüksək təzyiqli mühitlərdə uzunmüddətli, sabit sızdırmazlıq performansını təmin etmək üçün minimal sıxılma dəsti olan möhürlər seçilməlidir.
IV. Praktik Tətbiq Keys Təhlili
Tanınmış yarımkeçirici istehsalçısı çip istehsal xəttindəki aşındırma avadanlığında adi rezin möhürlərin tez-tez korroziyasını və köhnəlməsini yaşayırdı. Bu, daxili sızmalara gətirib çıxardı, istehsal səmərəliliyinə təsir etdi və hissəciklərin çirklənməsi səbəbindən çip məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə azaltdı. Bundan əlavə, adi möhürlər yüksək temperatur prosesində böyük miqdarda üzvi çirkləri buraxaraq yarımkeçirici materialı çirkləndirir və məhsulun qeyri-sabit performansına səbəb olur. Onları şirkətimiz tərəfindən istehsal olunan perfluoroelastomer möhürlərlə əvəz etdikdən sonra avadanlığın işləmə dayanıqlığı xeyli yaxşılaşdı. Bir il davamlı əməliyyat monitorinqindən sonra, möhürlərdə korroziya və ya yaşlanma əlamətləri görünmədi, yüksək təmiz daxili saxlandı və çip məhsuldarlığını 80% -dən 95% -ə qədər artırdı. Bu, perfluoroelastomer möhürlərinin əla kimyəvi müqaviməti, aşağı yağıntı xüsusiyyətləri və əla fiziki xassələri sayəsində əldə edilib və nəticədə şirkət üçün əhəmiyyətli iqtisadi faydalar əldə edilib.
Nəticə: Həddindən artıq dəqiqliyə və təmizliyə can atan yarımkeçiricilər istehsalı sənayesində xüsusi rezin möhürlər əvəzsiz rol oynayır. Flüoropolimer və perfluoroelastomer kimi xüsusi rezin möhürlər, yağıntılara ciddi nəzarət də daxil olmaqla, üstün performansı ilə yarımkeçiricilər istehsal edən avadanlıqlar üçün etibarlı sızdırmazlığı təmin edərək sənayenin davamlı olaraq daha yüksək texnoloji səviyyələrə yüksəlməsinə kömək edir.
Göndərmə vaxtı: 17 oktyabr 2025-ci il