Yarımkeçirici istehsalının yüksək texnologiyalı sahəsində hər addım müstəsna dəqiqlik və təmizlik tələb edir. İstehsal avadanlıqlarının sabit işləməsini təmin edən və yüksək dərəcədə təmiz istehsal mühitini qoruyan vacib komponentlər kimi xüsusi rezin möhürlər yarımkeçirici məhsulların məhsuldarlığına və performansına birbaşa təsir göstərir. Bu gün biz flüorrezin və perflüorelastomer kimi xüsusi rezin möhürlərin yarımkeçirici istehsalında necə mühüm rol oynadığını araşdıracağıq.
I. Yarımkeçirici İstehsal Mühitlərinin Sərt Tələbləri
Yarımkeçiricilərin istehsalı adətən ətraf mühitin təmizliyi tələblərinin olduqca yüksək olduğu təmiz otaqlarda aparılır. Hətta çirkləndiricilərin ən kiçik hissəcikləri belə çipdə qısaqapanmalara və ya digər performans qüsurlarına səbəb ola bilər. Bundan əlavə, istehsal prosesi fotorezistlər, aşındırma məhlulları və təmizləyici mayelər kimi müxtəlif yüksək korroziyaya uğrayan kimyəvi maddələrin istifadəsini əhatə edir. Bundan əlavə, bəzi proses mərhələlərində əhəmiyyətli temperatur və təzyiq dalğalanmaları baş verir. Məsələn, aşındırma və ion implantasiyası prosesləri avadanlıq daxilində yüksək temperatur və təzyiqlər yaradır. Bundan əlavə, möhürlərdən çöküntülər yarımkeçirici istehsalına ciddi təsir göstərə bilər. Hətta az miqdarda çöküntülər belə yarımkeçirici materialları və ya prosesləri çirkləndirə bilər və istehsal prosesinin dəqiqliyini pozur.
II. Xüsusi Rezin Möhürlərin Əsas Rolları
1. Hissəciklərin Çirklənməsinin Qarşısının Alınması: Xüsusi rezin möhürlər tozun, çirklərin və xarici mühitdən gələn digər hissəciklərin avadanlıqlara daxil olmasını effektiv şəkildə bloklayır və təmiz mühiti qoruyur. Perflüorelastomer möhürlərini nümunə götürsək, onların hamar səthi hissəciklərin udulmasına müqavimət göstərir. Əla elastikliyi onların avadanlıq komponentlərinə möhkəm oturmasına imkan verir, etibarlı bir möhürləmə baryeri yaradır və yarımkeçirici istehsal prosesinin hissəciklərin çirklənməsindən azad olmasını təmin edir.
2. Kimyəvi Korroziyaya Davamlılıq: Flüorkarbon və perflüorelastomer kimi möhürlər yarımkeçirici istehsalında geniş istifadə olunan kimyəvi reagentlərə qarşı əla müqavimət göstərir. Flüorkarbon möhürləri ümumi turşu və qələvi məhlullara və üzvi həlledicilərə davamlıdır, perflüorelastomer möhürləri isə yüksək oksidləşdirici və korroziyaya uğrayan kimyəvi mühitlərdə xüsusilə sabitdir. Məsələn, yaş aşındırma proseslərində perflüorelastomer möhürləri yüksək turşulu aşındırma məhlulları ilə uzun müddətli təmasa korroziya olmadan tab gətirə bilər və bu da avadanlığın möhürlənməsini və sabitliyini təmin edir.
3. Temperatur və Təzyiq Dalğalanmalarına Uyğunlaşma: Yarımkeçirici istehsal avadanlıqları istismar zamanı tez-tez temperatur və təzyiq dalğalanmaları ilə qarşılaşır. Xüsusi rezin möhürlər əla yüksək və aşağı temperatur müqaviməti, eləcə də əla elastiklik və təzyiq müqaviməti tələb edir. Flüorrezin möhürlər müəyyən temperatur aralığında əla elastiklik və möhürləmə xüsusiyyətlərini qoruyub saxlayır, müxtəlif emal mərhələlərində temperatur dalğalanmalarına uyğunlaşır. Digər tərəfdən, perflüorelastomer möhürlər yalnız yüksək temperaturlara davam gətirmir, həm də aşağı temperaturlarda sərtləşməyə və ya kövrəkləşməyə qarşı müqavimət göstərir, etibarlı möhürləmə performansını qoruyur və müxtəlif mürəkkəb iş şəraitində avadanlıqların normal işləməsini təmin edir.
4. Yağıntı Riskinin Nəzarət Edilməsi: Yarımkeçirici istehsalında möhürlərdən çöküntünün nəzarətdə saxlanılması çox vacibdir. Flüorelastomer və perflüorelastomer kimi xüsusi rezin möhürlər müxtəlif əlavələrin istifadəsini minimuma endirmək üçün optimallaşdırılmış formulalardan və istehsal proseslərindən istifadə edir və bununla da istehsal prosesi zamanı kiçik üzvi molekullar və metal ionları kimi çirklərin çökmə ehtimalını azaldır. Bu aşağı çöküntü xüsusiyyətləri möhürlərin potensial çirklənmə mənbəyinə çevrilməməsini təmin edir və yarımkeçirici istehsalı üçün tələb olunan ultra təmiz mühiti qoruyur.
III. Xüsusi Rezin Möhürlər üçün Performans Tələbləri və Seçim Meyarları
1. Təmizliklə əlaqəli xüsusiyyətlər: Səthin kələ-kötürlüyü, dəyişkənliyi və hissəciklərin sərbəst buraxılması möhürlərin əsas göstəriciləridir. Səthi kələ-kötürlüyü aşağı olan möhürlər hissəciklərin yığılmasına daha az meyllidir, aşağı dəyişkənlik isə yüksək temperaturlu mühitlərdə möhürlərdən üzvi qaz emissiyası riskini azaldır. Möhürlər seçərkən, aşağı dəyişkənlik və hissəcik emissiyası təklif edən xüsusi səth emalı olan məhsullara üstünlük verin. Məsələn, plazma ilə işlənmiş perflüorelastomer möhürləri daha hamar bir səth təklif edir və dəyişkənliyi effektiv şəkildə azaldır. Həmçinin, möhürün sərbəst buraxılma xüsusiyyətlərinə diqqət yetirin və yarımkeçirici istehsal mühitlərində zərərli emissiyalar buraxmadığından əmin olmaq üçün ciddi sərbəst buraxılma sınaqlarından keçmiş məhsulları seçin.
2. Kimyəvi uyğunluq: Yarımkeçirici istehsalı zamanı rast gəlinən spesifik kimyəvi reagentlərə əsasən uyğun rezin materialını seçin. Müxtəlif növ flüorelastomer və perflüorelastomerlər müxtəlif kimyəvi maddələrə qarşı fərqli müqavimət göstərir. Güclü oksidləşdirici turşuları əhatə edən proseslər üçün yüksək oksidləşdirici perflüorelastomer möhürləri seçilməlidir. Ümumi üzvi həllediciləri əhatə edən proseslər üçün flüorelastomer möhürləri daha səmərəli seçim ola bilər.
3. Fiziki xüsusiyyətlər: Bunlara sərtlik, elastiklik modulu və sıxılma dəsti daxildir. Orta sərtliyə malik möhürlər yaxşı bir möhür təmin etməklə yanaşı, quraşdırma və çıxarılmanı da asanlaşdırır. Elastik modul və sıxılma dəsti uzunmüddətli gərginlik altında möhürün performans sabitliyini əks etdirir. Yüksək temperaturlu və yüksək təzyiqli mühitlərdə uzunmüddətli, sabit möhürləmə performansını təmin etmək üçün minimal sıxılma dəsti olan möhürlər seçilməlidir.
IV. Praktik Tətbiq üzrə İş Təhlili
Tanınmış bir yarımkeçirici istehsalçısı, çip istehsal xəttindəki aşındırma avadanlığında ənənəvi rezin möhürlərin tez-tez korroziyası və qocalması ilə qarşılaşırdı. Bu, daxili sızmalara səbəb oldu, istehsal səmərəliliyinə təsir etdi və hissəciklərin çirklənməsi səbəbindən çip məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə azaldıb. Bundan əlavə, ənənəvi möhürlər yüksək temperaturlu proses zamanı çox miqdarda üzvi çirklər buraxaraq yarımkeçirici materialı çirkləndirdi və məhsulun qeyri-sabit işləməsinə səbəb oldu. Onları şirkətimiz tərəfindən istehsal olunan perfluoroelastomer möhürləri ilə əvəz etdikdən sonra avadanlığın əməliyyat stabilliyi əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdı. Bir illik davamlı əməliyyat monitorinqindən sonra möhürlərdə heç bir korroziya və ya qocalma əlamətləri müşahidə olunmadı, yüksək təmiz daxili hissə saxlanıldı və çip məhsuldarlığı 80%-dən 95%-ə qədər artdı. Bu, perfluoroelastomer möhürlərinin əla kimyəvi müqaviməti, aşağı çökmə xüsusiyyətləri və əla fiziki xüsusiyyətləri sayəsində əldə edildi və nəticədə şirkət üçün əhəmiyyətli iqtisadi faydalar əldə edildi.
Nəticə: Həddindən artıq dəqiqlik və təmizliyə can atan yarımkeçirici istehsal sənayesində xüsusi rezin möhürlər əvəzolunmaz rol oynayır. Flüorpolimer və perflüorelastomer kimi xüsusi rezin möhürlər, çöküntüyə ciddi nəzarət də daxil olmaqla, üstün performansları ilə yarımkeçirici istehsal avadanlıqları üçün etibarlı möhürləmə təmin edir və sənayenin daha yüksək texnoloji səviyyələrə davamlı olaraq yüksəlməsinə kömək edir.
Yazı vaxtı: 17 oktyabr 2025