Жартылай өткізгіштерді өндірудің жоғары технологиялық саласында әрбір қадам ерекше дәлдік пен тазалықты талап етеді. Арнайы резеңке тығыздағыштар өндірістік жабдықтың тұрақты жұмысын қамтамасыз ететін және өте таза өндірістік ортаны сақтайтын маңызды компоненттер ретінде жартылай өткізгіш өнімдердің шығымы мен өнімділігіне тікелей әсер етеді. Бүгін біз фторкаучук және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштардың жартылай өткізгіш өндірісінде шешуші рөл атқаратынын қарастырамыз.
I. Жартылай өткізгіштерді өндіру орталарына қойылатын қатаң талаптар
Жартылай өткізгіштерді өндіру әдетте экологиялық тазалық талаптары өте жоғары болатын таза бөлмелерде жүргізіледі. Тіпті ластаушы заттардың кішкентай бөлшектері чиптің қысқа тұйықталуын немесе басқа өнімділік ақауларын тудыруы мүмкін. Сонымен қатар, өндіріс процесі фоторезистілер, ою ерітінділері және тазартқыш сұйықтықтар сияқты әртүрлі жоғары коррозиялық химиялық заттарды қолдануды қамтиды. Сонымен қатар, кейбір технологиялық қадамдар температура мен қысымның айтарлықтай ауытқуына ұшырайды. Мысалы, ою және ионды имплантациялау процестері жабдық ішінде жоғары температура мен қысымды тудырады. Сонымен қатар, тығыздағыштардан түсетін тұнбалар жартылай өткізгіштерді өндіруге қатты әсер етуі мүмкін. Тіпті аз мөлшердегі тұнбалар жартылай өткізгіш материалдарды немесе процестерді ластап, өндіріс процесінің дәлдігін бұзады.
II. Арнайы резеңке тығыздағыштардың негізгі рөлдері
1. Бөлшектердің ластануын болдырмау: Арнайы резеңке тығыздағыштар сыртқы ортадағы шаңды, қоспаларды және басқа бөлшектердің жабдыққа енуін тиімді түрде блоктайды, таза ортаны сақтайды. Мысал ретінде перфторэластомерлік тығыздағыштарды алсақ, олардың тегіс беті бөлшектерді сіңіруге қарсы тұрады. Олардың тамаша икемділігі жабдықтың құрамдас бөліктеріне мықтап қонуға мүмкіндік береді, сенімді герметикалық тосқауыл жасайды және жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде бөлшектердің ластануын қамтамасыз етеді.
2. Химиялық коррозияға қарсы тұру: фторкөміртекті және перфторэластомер сияқты тығыздағыштар жартылай өткізгіш өндірісінде жиі қолданылатын химиялық реагенттерге тамаша төзімділік береді. Фторкөміртекті тығыздағыштар қарапайым қышқылдық және сілтілі ерітінділерге және органикалық еріткіштерге төзімді, ал перфторэластомерлік тығыздағыштар жоғары тотықтырғыш және коррозиялық химиялық орталарда әсіресе тұрақты. Мысалы, дымқыл сілтілеу процестерінде перфторэластомерлік тығыздағыштар тот баспай, жоғары қышқылдық ерітінділермен ұзақ уақыт жанасуға төтеп бере алады, бұл жабдықтың тығыздалуы мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
3. Температура мен қысымның ауытқуларына бейімделу: жартылай өткізгіштерді шығаратын жабдық жұмыс кезінде температура мен қысымның жиі ауытқуын бастан кешіреді. Арнайы резеңке тығыздағыштар тамаша жоғары және төмен температураға төзімділікті, сондай-ақ тамаша серпімділік пен қысымға төзімділікті қажет етеді. Фторрезеңке тығыздағыштар әртүрлі өңдеу кезеңдеріндегі температура ауытқуларына бейімделе отырып, белгілі бір температура диапазонында тамаша серпімділік пен тығыздау қасиеттерін сақтайды. Перфторэластомерлік тығыздағыштар, керісінше, жоғары температураға төтеп беріп қана қоймайды, сонымен қатар төмен температурада қатты немесе сынғыш болып қалуға төтеп береді, сенімді тығыздау өнімділігін сақтайды және әртүрлі күрделі жұмыс жағдайында жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз етеді.
4. Жауын-шашын қаупін бақылау: жартылай өткізгіштер өндірісінде тығыздағыштардан түсетін жауын-шашынды бақылау өте маңызды. Фторэластомер және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштар әртүрлі қоспаларды пайдалануды барынша азайту үшін оңтайландырылған құрамдар мен өндіріс процестерін пайдаланады, осылайша өндіріс процесі кезінде шағын органикалық молекулалар мен металл иондары сияқты қоспалардың тұнбаға түсу ықтималдығын азайтады. Бұл төмен жауын-шашын сипаттамалары жартылай өткізгіштерді өндіруге қажетті өте таза ортаны сақтай отырып, тығыздағыштардың ықтимал ластану көзіне айналмауын қамтамасыз етеді.
III. Жұмысқа қойылатын талаптар және арнайы резеңке тығыздағыштарды таңдау критерийлері
1. Тазалыққа қатысты қасиеттер: бетінің кедір-бұдырлығы, құбылмалылығы және бөлшектердің бөлінуі тығыздағыштардың негізгі көрсеткіштері болып табылады. Төмен бетінің кедір-бұдыры бар тығыздағыштар бөлшектердің жиналуына аз бейім, ал төмен құбылмалылық жоғары температуралы орталарда тығыздағыштардан органикалық газ шығарындыларының қаупін азайтады. Тығыздағыштарды таңдағанда, төмен құбылмалылық пен бөлшектердің шығарылуын ұсынатын арнайы беті өңделген өнімдерге басымдық беріңіз. Мысалы, плазмамен өңделген перфторэластомерлік тығыздағыштар тегіс бетті ұсынады және құбылмалылықты тиімді төмендетеді. Сондай-ақ, тығыздағыштың босату қасиеттеріне назар аударыңыз және жартылай өткізгіштерді өндіру орталарында зиянды шығарындылар шығармайтынына көз жеткізу үшін қатаң босату сынағынан өткен өнімдерді таңдаңыз.
2. Химиялық үйлесімділік: Жартылай өткізгішті өндіру кезінде кездесетін арнайы химиялық реагенттер негізінде сәйкес резеңке материалды таңдаңыз. Фторэластомер мен перфторэластомердің әртүрлі түрлері әртүрлі химиялық заттарға әртүрлі төзімділікке ие. Күшті тотықтырғыш қышқылдарды қамтитын процестер үшін жоғары тотықтырғыш перфторэластомерлік тығыздағыштарды таңдау керек. Жалпы органикалық еріткіштерді қамтитын процестер үшін фторэластомерлік тығыздағыштар үнемді нұсқа болуы мүмкін.
3. Физикалық қасиеттер: Оларға қаттылық, серпімділік модулі және қысу жиынтығы жатады. Орташа қаттылығы бар тығыздағыштар жақсы нығыздауды қамтамасыз етеді, сонымен қатар орнату мен алып тастауды жеңілдетеді. Серпімділік модулі және қысу жинағы ұзақ мерзімді кернеу кезінде тығыздағыштың жұмыс тұрақтылығын көрсетеді. Жоғары температура мен жоғары қысымды орталарда ұзақ мерзімді, тұрақты тығыздау өнімділігін қамтамасыз ету үшін ең аз қысу жиынтығы бар тығыздағыштар таңдалуы керек.
IV. Практикалық қолдану жағдайын талдау
Белгілі жартылай өткізгіш өндіруші өзінің чипті өндіру желісіндегі ою жабдығында кәдімгі резеңке тығыздағыштардың жиі тоттануын және ескіруін бастан кешірді. Бұл ішкі ағып кетуге әкеліп, өндіріс тиімділігіне әсер етті және бөлшектердің ластануына байланысты чип шығымдылығын айтарлықтай төмендетті. Сонымен қатар, кәдімгі тығыздағыштар жоғары температура процесі кезінде жартылай өткізгіш материалды ластап, өнімнің тұрақсыз өнімділігін тудыратын органикалық қоспалардың көп мөлшерін шығарды. Оларды біздің компания шығарған перфторэластомерлік тығыздағыштармен ауыстырғаннан кейін жабдықтың жұмыс тұрақтылығы айтарлықтай жақсарды. Бір жыл үздіксіз операциялық бақылаудан кейін тығыздағыштар тоттану немесе қартаю белгілерін көрсетпеді, интерьерді өте таза ұстады және чип шығымдылығын 80%-дан 95%-ға дейін арттырды. Бұған перфторэластомерлік тығыздағыштардың тамаша химиялық төзімділігі, төмен жауын-шашын сипаттамалары және тамаша физикалық қасиеттері арқасында қол жеткізілді, нәтижесінде компания үшін айтарлықтай экономикалық пайда болды.
Қорытынды: Өте дәлдік пен тазалыққа ұмтылатын жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде арнайы резеңке тығыздағыштар таптырмас рөл атқарады. Фторполимер және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштар жоғары өнімділігімен, соның ішінде жауын-шашынды қатаң бақылаумен, жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдықты сенімді тығыздауды қамтамасыз етеді, бұл саланың үздіксіз жоғары технологиялық деңгейлерге көтерілуіне көмектеседі.
Хабарлама уақыты: 17 қазан 2025 ж