Жартылай өткізгіштер өндірісінің жоғары технологиялық саласында әрбір қадам ерекше дәлдік пен тазалықты талап етеді. Арнайы резеңке тығыздағыштар өндірістік жабдықтардың тұрақты жұмысын қамтамасыз ететін және өндірістік ортаның жоғары тазалығын сақтайтын маңызды компоненттер ретінде жартылай өткізгіш өнімдердің өнімділігі мен өнімділігіне тікелей әсер етеді. Бүгін біз фторлы резеңке және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштардың жартылай өткізгіштер өндірісінде қалай маңызды рөл атқаратынын қарастырамыз.
I. Жартылай өткізгіш өндірістік орталардың қатаң талаптары
Жартылай өткізгіштерді өндіру әдетте қоршаған ортаның тазалығына қойылатын талаптар өте жоғары болатын таза бөлмелерде жүргізіледі. Ластаушы заттардың тіпті ұсақ бөлшектері де чиптің қысқа тұйықталуына немесе басқа да өнімділік ақауларына әкелуі мүмкін. Сонымен қатар, өндіріс процесі фоторезисттер, ою ерітінділері және тазалау сұйықтықтары сияқты әртүрлі жоғары коррозиялық химиялық заттарды пайдалануды қамтиды. Сонымен қатар, кейбір технологиялық кезеңдер температура мен қысымның айтарлықтай ауытқуларына ұшырайды. Мысалы, ою және ион имплантациялау процестері жабдық ішінде жоғары температура мен қысым тудырады. Сонымен қатар, тығыздағыштардан тұнбалар жартылай өткізгіштерді өндіруге айтарлықтай әсер етуі мүмкін. Тіпті іздік мөлшердегі тұнбалар да жартылай өткізгіш материалдарды немесе процестерді ластап, өндіріс процесінің дәлдігін бұзуы мүмкін.
II. Арнайы резеңке тығыздағыштардың негізгі рөлдері
1. Бөлшектердің ластануының алдын алу: Арнайы резеңке тығыздағыштар сыртқы ортадан шаңның, қоспалардың және басқа да бөлшектердің жабдыққа енуіне тиімді түрде тосқауыл қояды, бұл таза ортаны сақтайды. Перфторэластомер тығыздағыштарын мысал ретінде алсақ, олардың тегіс беті бөлшектердің сіңуіне төзімді. Олардың тамаша икемділігі олардың жабдық компоненттеріне тығыз орналасуына мүмкіндік береді, сенімді тығыздау тосқауылын қалыптастырады және жартылай өткізгіш өндіріс процесінің бөлшектердің ластануынан таза болуын қамтамасыз етеді.
2. Химиялық коррозияға төзімділік: Фторкөміртегі және перфторэластомер сияқты тығыздағыштар жартылай өткізгіш өндірісінде жиі қолданылатын химиялық реагенттерге тамаша төзімділік береді. Фторкөміртегі тығыздағыштары кең таралған қышқылдық және сілтілі ерітінділерге және органикалық еріткіштерге төзімді, ал перфторэластомер тығыздағыштары жоғары тотығу және коррозиялық химиялық ортада ерекше тұрақты. Мысалы, ылғалды өңдеу процестерінде перфторэластомер тығыздағыштары жоғары қышқылды өңдеу ерітінділерімен коррозиясыз ұзақ уақыт бойы жанасуға төтеп бере алады, бұл жабдықтың тығыздалуы мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
3. Температура мен қысымның ауытқуларына бейімделу: Жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтар жұмыс кезінде жиі температура мен қысымның ауытқуларына ұшырайды. Арнайы резеңке тығыздағыштар жоғары және төмен температураға тамаша төзімділікті, сондай-ақ тамаша серпімділік пен қысымға төзімділікті қажет етеді. Фторрезеңке тығыздағыштар белгілі бір температура диапазонында тамаша серпімділік пен тығыздау қасиеттерін сақтайды, әртүрлі өңдеу кезеңдеріндегі температураның ауытқуларына бейімделеді. Екінші жағынан, перфторэластомер тығыздағыштары жоғары температураға төтеп беріп қана қоймай, сонымен қатар төмен температурада қатты немесе сынғыш болуға да төзімді, сенімді тығыздау өнімділігін сақтайды және әртүрлі күрделі жұмыс жағдайларында жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз етеді.
4. Жауын-шашын қаупін бақылау: Жартылай өткізгіштер өндірісінде тығыздағыштардан жауын-шашынды бақылау өте маңызды. Фторэластомер және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштар әртүрлі қоспаларды пайдалануды азайту үшін оңтайландырылған формулалар мен өндіріс процестерін пайдаланады, осылайша өндіріс процесінде ұсақ органикалық молекулалар мен металл иондары сияқты қоспалардың тұнбаға түсу ықтималдығын азайтады. Бұл төмен жауын-шашын сипаттамалары тығыздағыштардың ластанудың ықтимал көзіне айналмауын қамтамасыз етеді, жартылай өткізгіштер өндірісі үшін қажетті өте таза ортаны сақтайды.
III. Арнайы резеңке тығыздағыштарға қойылатын талаптар және таңдау критерийлері
1. Тазалыққа қатысты қасиеттер: Беткі кедір-бұдырлық, құбылмалылық және бөлшектердің бөлінуі тығыздағыштардың негізгі көрсеткіштері болып табылады. Беткі кедір-бұдырлығы төмен тығыздағыштар бөлшектердің жиналуына аз бейім, ал құбылмалылығы төмен болса, жоғары температуралы ортада тығыздағыштардан органикалық газ шығарындыларының қаупін азайтады. Тығыздағыштарды таңдаған кезде, құбылмалылығы төмен және бөлшектердің бөлінуін қамтамасыз ететін арнайы беттік өңдеуі бар өнімдерге басымдық беріңіз. Мысалы, плазмамен өңделген перфторэластомер тығыздағыштары тегіс бетті ұсынады және құбылмалылықты тиімді түрде азайтады. Сондай-ақ, тығыздағыштың бөліну қасиеттеріне назар аударыңыз және жартылай өткізгіш өндіріс ортасында зиянды шығарындылар шығармайтынына көз жеткізу үшін қатаң бөліну сынағынан өткен өнімдерді таңдаңыз.
2. Химиялық үйлесімділік: Жартылай өткізгіштерді өндіру кезінде кездесетін нақты химиялық реагенттер негізінде тиісті резеңке материалын таңдаңыз. Фторэластомер мен перфторэластомердің әртүрлі түрлері әртүрлі химиялық заттарға әртүрлі төзімділікке ие. Күшті тотықтырғыш қышқылдарды қамтитын процестер үшін жоғары тотықтырғыш перфторэластомер тығыздағыштарын таңдау керек. Жалпы органикалық еріткіштерді қамтитын процестер үшін фторэластомер тығыздағыштары тиімдірек нұсқа болуы мүмкін.
3. Физикалық қасиеттер: Оларға қаттылық, серпімділік модулі және қысу жиынтығы кіреді. Орташа қаттылықтағы тығыздағыштар жақсы тығыздауды қамтамасыз етеді, сонымен қатар орнатуды және алуды жеңілдетеді. Серпімділік модулі және қысу жиынтығы ұзақ мерзімді кернеу кезінде тығыздағыштың жұмыс тұрақтылығын көрсетеді. Жоғары температуралы және жоғары қысымды ортада ұзақ мерзімді, тұрақты тығыздау өнімділігін қамтамасыз ету үшін минималды қысу жиынтығы бар тығыздағыштарды таңдау керек.
IV. Практикалық қолдану жағдайын талдау
Белгілі жартылай өткізгіш өндірушісі чип өндірісі желісіндегі ою жабдықтарында дәстүрлі резеңке тығыздағыштардың жиі коррозиясы мен қартаюын бастан кешірді. Бұл ішкі ағып кетулерге әкеліп соқты, өндіріс тиімділігіне әсер етті және бөлшектердің ластануына байланысты чиптің өнімділігін айтарлықтай төмендетті. Сонымен қатар, дәстүрлі тығыздағыштар жоғары температуралық процесс кезінде көп мөлшерде органикалық қоспаларды бөліп шығарды, бұл жартылай өткізгіш материалды ластап, өнімнің тұрақсыз жұмысына әкелді. Оларды біздің компания шығарған перфторэластомерлік тығыздағыштармен ауыстырғаннан кейін жабдықтың жұмыс тұрақтылығы айтарлықтай жақсарды. Бір жыл бойы үздіксіз жұмыс мониторингінен кейін тығыздағыштарда коррозия немесе қартаю белгілері байқалмады, бұл өте таза ішкі бөлікті сақтап, чиптің өнімділігін 80%-дан 95%-ға дейін арттырды. Бұған перфторэластомерлік тығыздағыштардың тамаша химиялық төзімділігі, төмен жауын-шашын сипаттамалары және тамаша физикалық қасиеттерінің арқасында қол жеткізілді, бұл компания үшін айтарлықтай экономикалық пайда әкелді.
Қорытынды: Өте дәлдік пен тазалыққа ұмтылатын жартылай өткізгіштер өндірісінде арнайы резеңке тығыздағыштар маңызды рөл атқарады. Фторполимер және перфторэластомер сияқты арнайы резеңке тығыздағыштар жауын-шашынды қатаң бақылауды қоса алғанда, жоғары өнімділігімен жартылай өткізгіштер өндірісі жабдықтары үшін сенімді тығыздауды қамтамасыз етеді, бұл саланың жоғары технологиялық деңгейлерге үнемі көтерілуіне көмектеседі.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 17 қазан