នៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃការផលិត semiconductor រាល់ជំហានទាមទារភាពជាក់លាក់ និងភាពស្អាតស្អំ។ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេស ជាសមាសធាតុសំខាន់ដែលធានានូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ផលិតកម្ម និងរក្សាបាននូវបរិយាកាសផលិតកម្មស្អាត មានឥទ្ធិពលផ្ទាល់ទៅលើទិន្នផល និងដំណើរការនៃផលិតផល semiconductor ។ ថ្ងៃនេះ យើងនឹងស្វែងយល់ពីរបៀបដែលផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសដូចជា fluororubber និង perfluoroelastomer ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផលិត semiconductor ។
I. តម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃបរិយាកាសផលិតកម្ម Semiconductor
ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកជាធម្មតាត្រូវបានធ្វើឡើងនៅក្នុងបន្ទប់សម្អាត ដែលតម្រូវការអនាម័យបរិស្ថានខ្ពស់ណាស់។ សូម្បីតែភាគល្អិតតូចៗនៃសារធាតុកខ្វក់អាចបង្កឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីរបស់បន្ទះសៀគ្វី ឬមានបញ្ហាមុខងារផ្សេងទៀត។ ជាងនេះទៅទៀត ដំណើរការផលិតពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់សារធាតុគីមីដែលមានសារធាតុច្រេះខ្លាំង ដូចជា photoresists ដំណោះស្រាយ etching និងវត្ថុរាវសម្រាប់សម្អាត។ លើសពីនេះ ជំហានដំណើរការមួយចំនួនជួបប្រទះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធយ៉ាងសំខាន់។ ឧទាហរណ៍ ដំណើរការ etching និង ion implantation បង្កើតសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធខ្ពស់នៅក្នុងឧបករណ៍។ ជាងនេះទៅទៀត ទឹកភ្លៀងពីការផ្សាភ្ជាប់អាចជះឥទ្ធិពលយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ការផលិត semiconductor ។ សូម្បីតែបរិមាណទឹកភ្លៀងក៏អាចបំពុលសម្ភារៈ ឬដំណើរការនៃសារធាតុ semiconductor ដែលរំខានដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការផលិត។
II. តួនាទីសំខាន់នៃត្រាកៅស៊ូពិសេស
1. ការពារការចម្លងរោគនៃភាគល្អិត៖ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសមានប្រសិទ្ធភាពទប់ស្កាត់ធូលី ភាពមិនបរិសុទ្ធ និងភាគល្អិតផ្សេងទៀតពីបរិយាកាសខាងក្រៅមិនឱ្យចូលទៅក្នុងឧបករណ៍ ដោយរក្សាបាននូវបរិស្ថានស្អាត។ យកការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer ជាឧទាហរណ៍ ផ្ទៃរលោងរបស់ពួកគេទប់ទល់នឹងការស្រូបយកភាគល្អិត។ ភាពបត់បែនដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់ពួកគេអនុញ្ញាតឱ្យពួកគេសមយ៉ាងតឹងរឹងទៅនឹងសមាសធាតុឧបករណ៍ បង្កើតជារបាំងផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងធានាថាដំណើរការផលិត semiconductor មិនមានការចម្លងរោគពីភាគល្អិត។
2. ធន់នឹងការ corrosion គីមី៖ ផ្សាភ្ជាប់ដូចជា fluorocarbon និង perfluoroelastomer ផ្តល់នូវភាពធន់ទ្រាំដ៏ល្អចំពោះសារធាតុគីមីដែលប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិត semiconductor ។ ការផ្សាភ្ជាប់ fluorocarbon មានភាពធន់នឹងដំណោះស្រាយអាសុីត និងអាល់កាឡាំងទូទៅ និងសារធាតុរំលាយសរីរាង្គ ខណៈពេលដែលការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer មានស្ថេរភាពជាពិសេសនៅក្នុងបរិយាកាសគីមីដែលមានអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង និងច្រេះ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការ etching សើម ការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer អាចទប់ទល់នឹងការទំនាក់ទំនងយូរជាមួយនឹងដំណោះស្រាយ etching ដែលមានជាតិអាស៊ីតខ្ពស់ ដោយមិនមានការ corrosion ធានានូវការផ្សាភ្ជាប់ និងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍។
3. ការសម្របខ្លួនទៅនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធ៖ គ្រឿងបរិក្ខារផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកជួបប្រទះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធញឹកញាប់ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ។ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសទាមទារភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងទាប ក៏ដូចជាការបត់បែន និងធន់នឹងសម្ពាធដ៏ល្អ។ ការផ្សាភ្ជាប់ Fluororubber រក្សាភាពបត់បែនបានល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការផ្សាភ្ជាប់នៅក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់ ដោយសម្របខ្លួនទៅនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពក្នុងដំណាក់កាលដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។ ម្យ៉ាងវិញទៀត ការផ្សាភ្ជាប់ Perfluoroelastomer មិនត្រឹមតែអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងទប់ទល់នឹងការក្លាយជារឹង ឬផុយនៅសីតុណ្ហភាពទាប ដោយរក្សាបាននូវដំណើរការផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងធានានូវប្រតិបត្តិការធម្មតារបស់ឧបករណ៍ក្រោមលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការស្មុគស្មាញផ្សេងៗ។
4. ការគ្រប់គ្រងហានិភ័យនៃទឹកភ្លៀង៖ ការគ្រប់គ្រងទឹកភ្លៀងពីការផ្សាភ្ជាប់គឺមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិត semiconductor ។ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសដូចជា fluoroelastomer និង perfluoroelastomer ប្រើប្រាស់ទម្រង់ និងដំណើរការផលិតដែលប្រសើរឡើង ដើម្បីកាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់សារធាតុបន្ថែមផ្សេងៗ ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃការធ្លាក់ទឹកភ្លៀងនៃសារធាតុមិនបរិសុទ្ធ ដូចជាម៉ូលេគុលសរីរាង្គតូចៗ និងអ៊ីយ៉ុងដែកក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ លក្ខណៈនៃទឹកភ្លៀងទាបទាំងនេះធានាថាការផ្សាភ្ជាប់មិនក្លាយជាប្រភពដ៏មានសក្តានុពលនៃការចម្លងរោគ ដោយរក្សាបាននូវបរិស្ថានស្អាតខ្លាំងបំផុតដែលត្រូវការសម្រាប់ការផលិត semiconductor ។
III. តម្រូវការការអនុវត្ត និងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជ្រើសរើសសម្រាប់ត្រាកៅស៊ូពិសេស
1. លក្ខណៈសម្បត្តិដែលទាក់ទងនឹងភាពស្អាត៖ ភាពរដុបនៃផ្ទៃ ភាពប្រែប្រួល និងការបញ្ចេញភាគល្អិត គឺជាសូចនាករសំខាន់នៃការផ្សាភ្ជាប់។ ការផ្សាភ្ជាប់ជាមួយនឹងភាពរដុបនៃផ្ទៃទាបគឺមិនសូវងាយនឹងកកកុញភាគល្អិតទេ ខណៈពេលដែលភាពប្រែប្រួលទាបកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបំភាយឧស្ម័នសរីរាង្គពីការផ្សាភ្ជាប់នៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នៅពេលជ្រើសរើសការផ្សាភ្ជាប់ ផ្តល់អាទិភាពដល់ផលិតផលជាមួយនឹងការព្យាបាលលើផ្ទៃពិសេសដែលផ្តល់នូវភាពប្រែប្រួលទាប និងការបំភាយភាគល្អិត។ ឧទាហរណ៍ ការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer ដែលព្យាបាលដោយប្លាស្មាផ្តល់នូវផ្ទៃរលោង និងកាត់បន្ថយភាពប្រែប្រួលយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ដូចគ្នានេះផងដែរ, យកចិត្តទុកដាក់លើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការចេញផ្សាយនៃត្រានិងជ្រើសរើសផលិតផលដែលបានឆ្លងកាត់ការធ្វើតេស្តការចេញផ្សាយយ៉ាងតឹងរឹងដើម្បីធានាថាពួកគេមិនបញ្ចេញការបំភាយដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់នៅក្នុងបរិស្ថានផលិត semiconductor ។
2. ភាពឆបគ្នានៃសារធាតុគីមី៖ ជ្រើសរើសសម្ភារៈកៅស៊ូដែលសមស្របដោយផ្អែកលើសារធាតុគីមីជាក់លាក់ដែលបានជួបប្រទះកំឡុងពេលផលិត semiconductor ។ ប្រភេទផ្សេងគ្នានៃ fluoroelastomer និង perfluoroelastomer មានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងសារធាតុគីមីផ្សេងៗគ្នា។ សម្រាប់ដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងអាស៊ីតអុកស៊ីតកម្មដ៏រឹងមាំ ត្រាដែលមានអុកស៊ីតកម្មខ្ពស់ perfluoroelastomer ត្រូវតែត្រូវបានជ្រើសរើស។ សម្រាប់ដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងសារធាតុរំលាយសរីរាង្គទូទៅ ការផ្សាភ្ជាប់ fluoroelastomer អាចជាជម្រើសដែលមានប្រសិទ្ធភាពជាង។
3. លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តៈ ទាំងនេះរួមបញ្ចូលភាពរឹង ម៉ូឌុលយឺត និងសំណុំបង្ហាប់។ ការផ្សាភ្ជាប់ជាមួយនឹងភាពរឹងល្មមធានាបាននូវត្រាដ៏ល្អ ខណៈពេលដែលជួយសម្រួលដល់ការដំឡើង និងការដកយកចេញផងដែរ។ ម៉ូឌុល Elastic និងសំណុំបង្ហាប់ឆ្លុះបញ្ចាំងពីស្ថេរភាពនៃដំណើរការនៃត្រានៅក្រោមភាពតានតឹងរយៈពេលវែង។ នៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់ ការផ្សាភ្ជាប់ជាមួយនឹងសំណុំបង្ហាប់អប្បបរមាគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស ដើម្បីធានាបាននូវប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្សាភ្ជាប់យូរអង្វែង និងមានស្ថេរភាព។
IV. ការវិភាគករណីអនុវត្តជាក់ស្តែង
ក្រុមហ៊ុនផលិត semiconductor ដ៏ល្បីមួយបានជួបប្រទះនឹងការច្រេះញឹកញាប់ និងភាពចាស់នៃត្រាកៅស៊ូធម្មតានៅក្នុងឧបករណ៍ etching នៅលើបន្ទាត់ផលិតបន្ទះឈីបរបស់វា។ នេះនាំឱ្យមានការលេចធ្លាយខាងក្នុង ប៉ះពាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងកាត់បន្ថយទិន្នផលបន្ទះឈីបយ៉ាងខ្លាំង ដោយសារតែការចម្លងរោគនៃភាគល្អិត។ ជាងនេះទៅទៀត ការផ្សាភ្ជាប់ធម្មតាបានបញ្ចេញនូវសារធាតុមិនបរិសុទ្ធសរីរាង្គយ៉ាងច្រើនកំឡុងពេលដំណើរការដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធ្វើឱ្យមានការបំពុលសម្ភារៈ semiconductor និងបណ្តាលឱ្យដំណើរការផលិតផលមិនស្ថិតស្ថេរ។ បន្ទាប់ពីជំនួសពួកវាដោយការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer ដែលផលិតដោយក្រុមហ៊ុនរបស់យើង ស្ថេរភាពប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍បានប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ បន្ទាប់ពីរយៈពេលមួយឆ្នាំនៃការត្រួតពិនិត្យប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់ ការផ្សាភ្ជាប់មិនបង្ហាញសញ្ញានៃការច្រេះ ឬភាពចាស់ទេ រក្សាផ្នែកខាងក្នុងស្អាតខ្លាំង និងបង្កើនទិន្នផលបន្ទះឈីបពី 80% ទៅ 95%។ នេះត្រូវបានសម្រេចដោយអរគុណចំពោះភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់ perfluoroelastomer seals លក្ខណៈទឹកភ្លៀងទាប និងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានអត្ថប្រយោជន៍សេដ្ឋកិច្ចយ៉ាងសំខាន់សម្រាប់ក្រុមហ៊ុន។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតសារធាតុ semiconductor ដែលខិតខំសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ និងអនាម័យខ្ពស់ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសមានតួនាទីមិនអាចខ្វះបាន។ ការផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសដូចជា fluoropolymer និង perfluoroelastomer ជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់ពួកគេ រួមទាំងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើទឹកភ្លៀង ផ្តល់នូវការផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧបករណ៍ផលិត semiconductor ដែលជួយឧស្សាហកម្មបន្តឈានទៅកម្រិតបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៧ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៥