ត្រាកៅស៊ូពិសេសក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ធានានូវអនាម័យ និងភាពជាក់លាក់

នៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ជំហាននីមួយៗទាមទារភាពជាក់លាក់ និងអនាម័យពិសេស។ ត្រាកៅស៊ូពិសេស ជាសមាសធាតុសំខាន់ៗដែលធានាបាននូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ផលិតកម្ម និងរក្សាបរិយាកាសផលិតកម្មឱ្យស្អាតខ្ពស់ មានផលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើទិន្នផល និងដំណើរការនៃផលិតផលឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ថ្ងៃនេះ យើងនឹងស្វែងយល់ពីរបៀបដែលត្រាកៅស៊ូពិសេសដូចជា ជ័រហ្វ្លុយអូរ៉ូរូប៊ឺ និងជ័រភឺហ្វ្លុយអូរ៉ូអ៊ីឡាស្តូមឺរ ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

I. តម្រូវការតឹងរ៉ឹងនៃបរិយាកាសផលិតកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាធម្មតាត្រូវបានធ្វើឡើងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត ដែលតម្រូវការអនាម័យបរិស្ថានខ្ពស់ខ្លាំង។ សូម្បីតែភាគល្អិតតូចៗនៃសារធាតុបំពុលក៏អាចបណ្តាលឱ្យសៀគ្វីខ្លីដោយសារបន្ទះឈីប ឬពិការភាពដំណើរការផ្សេងទៀត។ លើសពីនេះ ដំណើរការផលិតពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់សារធាតុគីមីដែលមានជាតិกัดกร่อนខ្ពស់ជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាសារធាតុ photoresists ដំណោះស្រាយឆ្លាក់ និងសារធាតុរាវសម្អាត។ លើសពីនេះ ជំហានដំណើរការមួយចំនួនជួបប្រទះនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធយ៉ាងសំខាន់។ ឧទាហរណ៍ ដំណើរការឆ្លាក់ និងការផ្សាភ្ជាប់អ៊ីយ៉ុងបង្កើតសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធខ្ពស់នៅក្នុងឧបករណ៍។ លើសពីនេះ ទឹកភ្លៀងពីការផ្សាភ្ជាប់អាចមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ សូម្បីតែទឹកភ្លៀងក្នុងបរិមាណតិចតួចក៏អាចបំពុលសម្ភារៈ ឬដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដែលរំខានដល់ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការផលិតកម្ម។

II. តួនាទីសំខាន់ៗនៃស៊ីលកៅស៊ូពិសេស

១. ការទប់ស្កាត់ការចម្លងរោគភាគល្អិត៖ ត្រាកៅស៊ូពិសេសទប់ស្កាត់ធូលី ភាពមិនបរិសុទ្ធ និងភាគល្អិតផ្សេងទៀតពីបរិស្ថានខាងក្រៅមិនឱ្យចូលទៅក្នុងឧបករណ៍ ដោយរក្សាបាននូវបរិស្ថានស្អាត។ ដោយយកត្រា perfluoroelastomer ជាឧទាហរណ៍ ផ្ទៃរលោងរបស់វាទប់ទល់នឹងការស្រូបយកភាគល្អិត។ ភាពបត់បែនដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាអនុញ្ញាតឱ្យពួកវាសមយ៉ាងតឹងទៅនឹងសមាសធាតុឧបករណ៍ បង្កើតជារបាំងផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងធានាថាដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមិនមានការចម្លងរោគភាគល្អិត។

2. ទប់ទល់នឹងការច្រេះគីមី៖ សារធាតុផ្សាភ្ជាប់ដូចជា fluorocarbon និង perfluoroelastomer ផ្តល់នូវភាពធន់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះចំពោះសារធាតុប្រតិកម្មគីមីដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ សារធាតុផ្សាភ្ជាប់ fluorocarbon មានភាពធន់នឹងដំណោះស្រាយអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងទូទៅ និងសារធាតុរំលាយសរីរាង្គ ខណៈពេលដែលសារធាតុផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer មានស្ថេរភាពជាពិសេសនៅក្នុងបរិស្ថានគីមីដែលមានអុកស៊ីតកម្មខ្ពស់ និងច្រេះ។ ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងដំណើរការឆ្លាក់សើម សារធាតុផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer អាចទប់ទល់នឹងការប៉ះពាល់យូរជាមួយនឹងដំណោះស្រាយឆ្លាក់ដែលមានអាស៊ីតខ្ពស់ដោយគ្មានការច្រេះ ដែលធានាបាននូវការផ្សាភ្ជាប់ និងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍។

៣. ការសម្របខ្លួនទៅនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធ៖ ឧបករណ៍ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជួបប្រទះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធជាញឹកញាប់ក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ។ ត្រាកៅស៊ូពិសេសតម្រូវឱ្យមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងទាបដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ក៏ដូចជាភាពបត់បែន និងភាពធន់នឹងសម្ពាធដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ត្រាកៅស៊ូហ្វ្លុយអូរីរក្សាបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការបត់បែន និងផ្សាភ្ជាប់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះក្នុងចន្លោះសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ដោយសម្របខ្លួនទៅនឹងការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពក្នុងដំណាក់កាលដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។ ម្យ៉ាងវិញទៀត ត្រា Perfluoroelastomer មិនត្រឹមតែទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងទប់ទល់នឹងការរឹង ឬផុយនៅសីតុណ្ហភាពទាប ដោយរក្សាបាននូវដំណើរការផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងធានាបាននូវប្រតិបត្តិការធម្មតានៃឧបករណ៍ក្រោមលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការស្មុគស្មាញផ្សេងៗ។

៤. ការគ្រប់គ្រងហានិភ័យនៃទឹកភ្លៀង៖ ការគ្រប់គ្រងទឹកភ្លៀងពីសារធាតុផ្សាភ្ជាប់គឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ សារធាតុផ្សាភ្ជាប់កៅស៊ូពិសេសដូចជា fluoroelastomer និង perfluoroelastomer ប្រើប្រាស់រូបមន្ត និងដំណើរការផលិតដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ដើម្បីកាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់សារធាតុបន្ថែមផ្សេងៗ ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃការធ្លាក់ទឹកភ្លៀងនៃភាពមិនបរិសុទ្ធដូចជាម៉ូលេគុលសរីរាង្គតូចៗ និងអ៊ីយ៉ុងលោហៈក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិត។ លក្ខណៈទឹកភ្លៀងទាបទាំងនេះធានាថាសារធាតុផ្សាភ្ជាប់មិនក្លាយជាប្រភពនៃការបំពុលដែលអាចកើតមាន ដោយរក្សាបាននូវបរិស្ថានស្អាតបំផុតដែលត្រូវការសម្រាប់ការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

III. តម្រូវការអនុវត្ត និងលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជ្រើសរើសសម្រាប់ត្រាកៅស៊ូពិសេស

១. លក្ខណៈសម្បត្តិទាក់ទងនឹងអនាម័យ៖ ភាពរដុបនៃផ្ទៃ ភាពប្រែប្រួល និងការបញ្ចេញភាគល្អិត គឺជាសូចនាករសំខាន់ៗនៃការផ្សាភ្ជាប់។ ការផ្សាភ្ជាប់ដែលមានភាពរដុបនៃផ្ទៃទាប ងាយនឹងប្រមូលផ្តុំភាគល្អិតតិចជាង ខណៈពេលដែលភាពប្រែប្រួលទាប កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបំភាយឧស្ម័នសរីរាង្គពីផ្សាភ្ជាប់នៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នៅពេលជ្រើសរើសការផ្សាភ្ជាប់ សូមផ្តល់អាទិភាពដល់ផលិតផលដែលមានការព្យាបាលលើផ្ទៃពិសេស ដែលផ្តល់នូវភាពប្រែប្រួលទាប និងការបំភាយភាគល្អិត។ ឧទាហរណ៍ ការផ្សាភ្ជាប់ perfluoroelastomer ដែលព្យាបាលដោយប្លាស្មា ផ្តល់នូវផ្ទៃរលោងជាងមុន និងកាត់បន្ថយភាពប្រែប្រួលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ ដូចគ្នានេះផងដែរ សូមយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការផ្សាភ្ជាប់ និងជ្រើសរើសផលិតផលដែលបានឆ្លងកាត់ការធ្វើតេស្តការបញ្ចេញយ៉ាងម៉ត់ចត់ ដើម្បីធានាថាពួកវាមិនបញ្ចេញការបំភាយដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់នៅក្នុងបរិយាកាសផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។

2. ភាពឆបគ្នាខាងគីមី៖ ជ្រើសរើសសម្ភារៈកៅស៊ូសមស្របដោយផ្អែកលើសារធាតុប្រតិកម្មគីមីជាក់លាក់ដែលជួបប្រទះក្នុងអំឡុងពេលផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ប្រភេទផ្សេងៗគ្នានៃហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអេឡាស្តូមឺរ និងពែរហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអេឡាស្តូមឺរមានភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីផ្សេងៗគ្នា។ សម្រាប់ដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងអាស៊ីតអុកស៊ីតកម្មខ្លាំង ត្រូវតែជ្រើសរើសត្រាពែរហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអេឡាស្តូមឺរដែលមានអុកស៊ីតកម្មខ្ពស់។ សម្រាប់ដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងសារធាតុរំលាយសរីរាង្គទូទៅ ត្រាហ្វ្លុយអូរីយ៉ូអេឡាស្តូមឺរអាចជាជម្រើសដែលចំណាយតិចជាង។

៣. លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត៖ ទាំងនេះរួមមានភាពរឹង ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក និងសំណុំសម្ពាធ។ សារធាតុផ្សាភ្ជាប់ដែលមានភាពរឹងមធ្យមធានាបាននូវការផ្សាភ្ជាប់ល្អ ខណៈពេលដែលក៏ជួយសម្រួលដល់ការដំឡើង និងការដកចេញផងដែរ។ ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក និងសំណុំសម្ពាធឆ្លុះបញ្ចាំងពីស្ថេរភាពនៃដំណើរការផ្សាភ្ជាប់ក្រោមភាពតានតឹងរយៈពេលវែង។ នៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់ សារធាតុផ្សាភ្ជាប់ដែលមានសំណុំសម្ពាធតិចតួចបំផុតគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើសដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការផ្សាភ្ជាប់ដែលមានស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។

IV. ការវិភាគករណីអនុវត្តជាក់ស្តែង

ក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ដ៏ល្បីល្បាញមួយកំពុងជួបប្រទះនឹងការច្រេះ និងភាពចាស់ជរាជាញឹកញាប់នៃត្រាកៅស៊ូធម្មតានៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់នៅលើខ្សែសង្វាក់ផលិតបន្ទះឈីបរបស់ខ្លួន។ នេះបាននាំឱ្យមានការលេចធ្លាយខាងក្នុង ដែលប៉ះពាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងកាត់បន្ថយទិន្នផលបន្ទះឈីបយ៉ាងច្រើនដោយសារតែការបំពុលភាគល្អិត។ លើសពីនេះ ត្រាធម្មតាបានបញ្ចេញភាពមិនបរិសុទ្ធសរីរាង្គយ៉ាងច្រើនក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដែលបំពុលសម្ភារៈ semiconductor និងបណ្តាលឱ្យដំណើរការផលិតផលមិនស្ថិតស្ថេរ។ បន្ទាប់ពីជំនួសពួកវាជាមួយនឹងត្រា perfluoroelastomer ដែលផលិតដោយក្រុមហ៊ុនរបស់យើង ស្ថេរភាពប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍បានប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ បន្ទាប់ពីការត្រួតពិនិត្យប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់អស់រយៈពេលមួយឆ្នាំ ត្រាមិនបង្ហាញសញ្ញានៃការច្រេះ ឬភាពចាស់ជរាទេ ដោយរក្សាបាននូវផ្នែកខាងក្នុងស្អាតខ្ពស់ និងបង្កើនទិន្នផលបន្ទះឈីបពី 80% ដល់ជាង 95%។ នេះត្រូវបានសម្រេចដោយសារភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់ត្រា perfluoroelastomer លក្ខណៈទឹកភ្លៀងទាប និងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានអត្ថប្រយោជន៍សេដ្ឋកិច្ចយ៉ាងសំខាន់សម្រាប់ក្រុមហ៊ុន។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដែលខិតខំដើម្បីភាពជាក់លាក់ និងអនាម័យខ្ពស់ ត្រាកៅស៊ូពិសេសដើរតួនាទីមិនអាចខ្វះបាន។ ត្រាកៅស៊ូពិសេសដូចជា fluoropolymer និង perfluoroelastomer ជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា រួមទាំងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើទឹកភ្លៀង ផ្តល់នូវការផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ឧបករណ៍ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដែលជួយឱ្យឧស្សាហកម្មនេះរីកចម្រើនជាបន្តបន្ទាប់ដល់កម្រិតបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ជាងមុន។