Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн жогорку технологиялуу тармагында ар бир кадам өзгөчө тактыкты жана тазалыкты талап кылат. Атайын резина пломбалары өндүрүш жабдууларынын туруктуу иштешин камсыз кылган жана өндүрүш чөйрөсүнүн өтө таза болушун камсыз кылган маанилүү компоненттер катары жарым өткөргүч продукциялардын өндүрүмдүүлүгүнө жана иштешине түздөн-түз таасир этет. Бүгүн биз фторкаучук жана перфторэластомер сыяктуу атайын резина пломбалары жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кандайча маанилүү ролду ойноорун тереңирээк карап чыгабыз.
I. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөлөрүнүн катуу талаптары
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү, адатта, экологиялык тазалык талаптары өтө жогору болгон таза бөлмөлөрдө жүргүзүлөт. Булгоочу заттардын кичинекей бөлүкчөлөрү да чиптердин кыска туташуусуна же башка иштөө кемчиликтерине алып келиши мүмкүн. Андан тышкары, өндүрүш процесси фоторезисттер, оюу эритмелери жана тазалоочу суюктуктар сыяктуу ар кандай жогорку коррозиялык химиялык заттарды колдонууну камтыйт. Андан тышкары, кээ бир процесстик кадамдарда температуранын жана басымдын олуттуу өзгөрүүлөрү байкалат. Мисалы, оюу жана ион имплантациялоо процесстери жабдуулардын ичинде жогорку температураларды жана басымдарды жаратат. Андан тышкары, пломбалардан чыккан чөкмөлөр жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүгө олуттуу таасирин тийгизиши мүмкүн. Чачмалардын аз өлчөмдөгү бөлүгү да жарым өткөргүч материалдарды же процесстерди булгап, өндүрүш процессинин тактыгын бузушу мүмкүн.
II. Атайын резина пломбалардын негизги ролдору
1. Бөлүкчөлөрдүн булганышынын алдын алуу: Атайын резина пломбалар чаңдын, кошулмалардын жана тышкы чөйрөдөн келген башка бөлүкчөлөрдүн жабдууларга киришине натыйжалуу тоскоол болуп, таза чөйрөнү сактайт. Перфторэластомер пломбаларын мисал катары алсак, алардын жылмакай бети бөлүкчөлөрдүн сиңүүсүнө туруктуу. Алардын эң сонун ийкемдүүлүгү аларга жабдуулардын компоненттерине бекем орношууга мүмкүндүк берет, ишенимдүү пломбалоочу тосмону түзөт жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинин бөлүкчөлөрдүн булгануусунан таза болушун камсыздайт.
2. Химиялык коррозияга туруктуулук: Фторкөмүртек жана перфторэластомер сыяктуу пломбалар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кеңири колдонулган химиялык реагенттерге эң сонун туруктуулукту камсыз кылат. Фторкөмүртек пломбалары кеңири таралган кислоталык жана щелочтуу эритмелерге жана органикалык эриткичтерге туруктуу, ал эми перфторэластомер пломбалары жогорку кычкылдандыруучу жана коррозиялык химиялык чөйрөлөрдө өзгөчө туруктуу. Мисалы, нымдуу оюу процесстеринде перфторэластомер пломбалары жогорку кислоталуу оюу эритмелери менен узак убакытка байланышта коррозияга туруштук бере алат, бул жабдуулардын герметикалуулугун жана туруктуулугун камсыз кылат.
3. Температуранын жана басымдын өзгөрүшүнө ыңгайлашуу: Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдуулар иштөө учурунда температуранын жана басымдын тез-тез өзгөрүшүнө дуушар болот. Атайын резина пломбалары жогорку жана төмөнкү температурага эң сонун туруктуулукту, ошондой эле эң сонун ийкемдүүлүктү жана басымга туруктуулукту талап кылат. Фтор резина пломбалары белгилүү бир температура диапазонунда эң сонун ийкемдүүлүктү жана герметикалык касиеттерди сактап, ар кандай иштетүү этаптарындагы температуранын өзгөрүшүнө ыңгайлашат. Ал эми перфторэластомер пломбалары жогорку температурага гана туруштук бербестен, төмөнкү температурада катуу же морт болуп калууга да туруштук берип, ишенимдүү герметикалык иштөөнү сактап, ар кандай татаал иштөө шарттарында жабдуулардын нормалдуу иштешин камсыз кылат.
4. Жаан-чачын коркунучун көзөмөлдөө: Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө пломбалардан жаан-чачындын пайда болушун көзөмөлдөө абдан маанилүү. Фторэластомер жана перфторэластомер сыяктуу атайын резина пломбалар ар кандай кошулмаларды колдонууну минималдаштыруу үчүн оптималдаштырылган формулаларды жана өндүрүш процесстерин колдонот, ошону менен өндүрүш процессинде майда органикалык молекулалар жана металл иондору сыяктуу кошулмалардын чөкмө ыктымалдыгын азайтат. Бул аз жаан-чачын мүнөздөмөлөрү пломбалардын булгануунун потенциалдуу булагына айланбашын камсыздайт жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн зарыл болгон өтө таза чөйрөнү сактайт.
III. Атайын резина пломбалары үчүн иштөө талаптары жана тандоо критерийлери
1. Тазалыкка байланыштуу касиеттер: Беттин оройлугу, туруксуздугу жана бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышы пломбалардын негизги көрсөткүчтөрү болуп саналат. Беттин оройлугу төмөн пломбалар бөлүкчөлөрдүн топтолушуна азыраак дуушар болушат, ал эми туруксуздугу төмөн болсо, жогорку температурадагы чөйрөдө пломбалардан органикалык газдардын бөлүнүп чыгуу коркунучун азайтат. Пломбаны тандоодо, туруксуздугу төмөн жана бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышын камсыз кылган атайын беттик иштетүүлөрү бар продукцияларга артыкчылык бериңиз. Мисалы, плазма менен иштетилген перфторэластомер пломбалары жылмакай бетти камсыз кылат жана туруксуздукту натыйжалуу азайтат. Ошондой эле, пломбанын бөлүнүп чыгуу касиеттерине көңүл буруңуз жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөсүндө зыяндуу бөлүнүп чыгууларды чыгарбагандыгын камсыз кылуу үчүн катуу бөлүнүп чыгуу сыноолорунан өткөн продукцияларды тандаңыз.
2. Химиялык шайкештик: Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кездешкен белгилүү бир химиялык реагенттердин негизинде тиешелүү резина материалын тандаңыз. Фторэластомердин жана перфторэластомердин ар кандай түрлөрү ар кандай химиялык заттарга ар кандай туруктуулукка ээ. Күчтүү кычкылдандыруучу кислоталарды камтыган процесстер үчүн жогорку кычкылдандыруучу перфторэластомер пломбалары тандалышы керек. Жалпы органикалык эриткичтерди камтыган процесстер үчүн фторэластомер пломбалары үнөмдүү вариант болушу мүмкүн.
3. Физикалык касиеттери: Буларга катуулук, серпилгичтик модулу жана кысуу топтому кирет. Орточо катуулуктагы пломбалар жакшы герметизацияны камсыз кылат, ошол эле учурда орнотууну жана алып салууну жеңилдетет. Серпилгичтик модулу жана кысуу топтому узак мөөнөттүү стресс учурунда пломбанын иштөө туруктуулугун чагылдырат. Жогорку температурадагы жана жогорку басымдагы чөйрөлөрдө узак мөөнөттүү, туруктуу герметизациялоону камсыз кылуу үчүн минималдуу кысуу топтому бар пломбалар тандалышы керек.
IV. Практикалык колдонуу учурларын талдоо
Белгилүү жарым өткөргүч өндүрүүчүсү чип өндүрүш линиясындагы оюу жабдууларында кадимки резина пломбаларынын тез-тез коррозияга жана эскирүүгө дуушар болуп жаткан. Бул ички агып кетүүлөргө алып келип, өндүрүштүн натыйжалуулугуна таасир этип, бөлүкчөлөрдүн булганышынан улам чиптин чыгышын бир кыйла төмөндөткөн. Андан тышкары, кадимки пломбалар жогорку температурадагы процессте көп өлчөмдөгү органикалык кошулмаларды бөлүп чыгарып, жарым өткөргүч материалды булгап, продукциянын туруксуз иштешине алып келген. Аларды биздин компания тарабынан чыгарылган перфторэластомер пломбалары менен алмаштыргандан кийин, жабдуулардын иштөө туруктуулугу бир топ жакшырган. Бир жылдык үзгүлтүксүз иштөө мониторингинен кийин пломбаларда коррозия же эскирүү белгилери байкалган эмес, ички жасалгасы өтө таза бойдон калган жана чиптин чыгышы 80% дан 95% дан ашыкка чейин жогорулаган. Буга перфторэластомер пломбаларынын эң сонун химиялык туруктуулугу, аз жаан-чачын мүнөздөмөлөрү жана эң сонун физикалык касиеттеринин аркасында жетишилген, бул компания үчүн олуттуу экономикалык пайда алып келген.
Корутунду: Өтө тактыкка жана тазалыкка умтулган жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында атайын резина пломбалары алмаштыргыс ролду ойнойт. Фторполимер жана перфторэластомер сыяктуу атайын резина пломбалары, жаан-чачынды катуу көзөмөлдөөнү камтыган жогорку көрсөткүчтөрү менен, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдуулар үчүн ишенимдүү пломбалоону камсыз кылып, тармактын жогорку технологиялык деңгээлге тынымсыз көтөрүлүшүнө жардам берет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 17-октябры