ໃນຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຢີສູງຂອງການຜະລິດ semiconductor, ທຸກໆຂັ້ນຕອນຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມສະອາດພິເສດ. ປະທັບຕາຢາງພິເສດ, ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນການຜະລິດແລະຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ສະອາດສູງ, ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດແລະການປະຕິບັດຂອງຜະລິດຕະພັນ semiconductor. ມື້ນີ້, ພວກເຮົາຈະພິຈາລະນາວິທີການປະທັບຕາຢາງພິເສດເຊັ່ນ fluororubber ແລະ perfluoroelastomer ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor.
I. ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor
ການຜະລິດ semiconductor ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນດໍາເນີນຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດ, ບ່ອນທີ່ຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມແມ່ນສູງທີ່ສຸດ. ເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນສາມາດເຮັດໃຫ້ວົງຈອນສັ້ນຂອງຊິບຫຼືຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານການປະຕິບັດອື່ນໆ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຂະບວນການຜະລິດປະກອບດ້ວຍການນໍາໃຊ້ສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການກັດກ່ອນຫຼາຍຊະນິດ, ເຊັ່ນ: photoresists, ການແກ້ໄຂ etching, ແລະນ້ໍາທໍາຄວາມສະອາດ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ບາງຂັ້ນຕອນຂອງຂະບວນການປະສົບກັບອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນທີ່ມີການປ່ຽນແປງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, etching ແລະ ion implantation ຂະບວນການສ້າງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນພາຍໃນອຸປະກອນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, precipitates ຈາກປະທັບຕາສາມາດມີຜົນກະທົບທີ່ຮ້າຍແຮງຕໍ່ການຜະລິດ semiconductor. ເຖິງແມ່ນວ່າປະລິມານຂອງ precipitates ສາມາດປົນເປື້ອນວັດສະດຸ semiconductor ຫຼືຂະບວນການ, disrupting ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການຜະລິດ.
II. ບົດບາດຫຼັກຂອງປະທັບຕາຢາງພິເສດ
1. ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ: ການປະທັບຕາຢາງພາລາພິເສດມີປະສິດທິພາບສະກັດກັ້ນຂີ້ຝຸ່ນ, ມົນລະພິດ, ແລະອະນຸພາກອື່ນໆຈາກສະພາບແວດລ້ອມພາຍນອກບໍ່ໃຫ້ເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນ, ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດ. ເອົາປະທັບຕາ perfluoroelastomer ເປັນຕົວຢ່າງ, ພື້ນຜິວລຽບຂອງພວກມັນຕ້ານການດູດຊຶມຂອງອະນຸພາກ. ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີເລີດຂອງພວກເຂົາເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເຫມາະກັບອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນຢ່າງແຫນ້ນຫນາ, ປະກອບເປັນສິ່ງກີດຂວາງການຜະນຶກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຮັບປະກັນວ່າຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນບໍ່ເສຍຄ່າຈາກການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ.
2. ຕ້ານການກັດເຊາະທາງເຄມີ: ປະທັບຕາເຊັ່ນ fluorocarbon ແລະ perfluoroelastomer ສະຫນອງການຕໍ່ຕ້ານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສານເຄມີ reagents ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດ semiconductor. ປະທັບຕາ Fluorocarbon ແມ່ນທົນທານຕໍ່ກັບການແກ້ໄຂອາຊິດແລະເປັນດ່າງທົ່ວໄປແລະສານລະລາຍອິນຊີ, ໃນຂະນະທີ່ປະທັບຕາ perfluoroelastomer ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ມີ oxidizing ສູງແລະ corrosive. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການ etching ຊຸ່ມ, ການປະທັບຕາ perfluoroelastomer ສາມາດທົນທານຕໍ່ການຕິດຕໍ່ຍາວກັບການແກ້ໄຂ etching ອາຊິດສູງໂດຍບໍ່ມີການ corrosion, ຮັບປະກັນການປະທັບຕາແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ.
3. ການປັບຕົວເຂົ້າກັບຄວາມເໜັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມກົດດັນ: ອຸປະກອນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີປະສົບກັບຄວາມເໜັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມກົດດັນເລື້ອຍໆໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ. ປະທັບຕາຢາງພິເສດຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງແລະຕ່ໍາທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບ elasticity ທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມກົດດັນ. ປະທັບຕາ fluororubber ຮັກສາຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີເລີດແລະຄຸນສົມບັດການຜະນຶກພາຍໃນລະດັບອຸນຫະພູມທີ່ແນ່ນອນ, ປັບຕົວເຂົ້າກັບຄວາມຜັນຜວນຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ປະທັບຕາ Perfluoroelastomer, ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ບໍ່ພຽງແຕ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ແຕ່ຍັງທົນທານຕໍ່ກາຍເປັນແຂງຫຼື brittle ໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ຮັກສາປະສິດທິພາບການຜະນຶກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານປົກກະຕິຂອງອຸປະກອນພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ສັບສົນຕ່າງໆ.
4. ການຄວບຄຸມຄວາມສ່ຽງຂອງການເກີດຝົນ: ການຄວບຄຸມຝົນຈາກປະທັບຕາແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ປະທັບຕາຢາງພິເສດເຊັ່ນ fluoroelastomer ແລະ perfluoroelastomer ນໍາໃຊ້ສູດແລະຂະບວນການຜະລິດທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການນໍາໃຊ້ສານເພີ່ມເຕີມຕ່າງໆ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງ precipitation ຂອງ impurities ເຊັ່ນ: ໂມເລກຸນອິນຊີຂະຫນາດນ້ອຍແລະ ions ໂລຫະໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. ຄຸນລັກສະນະຂອງຝົນຕົກຕໍ່າເຫຼົ່ານີ້ຮັບປະກັນວ່າປະທັບຕາບໍ່ກາຍເປັນແຫຼ່ງທີ່ມີທ່າແຮງຂອງການປົນເປື້ອນ, ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ສຸດທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor.
III. ຄວາມຕ້ອງການການປະຕິບັດແລະເງື່ອນໄຂການຄັດເລືອກສໍາລັບການປະທັບຕາຢາງພິເສດ
1. ຄຸນສົມບັດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄວາມສະອາດ: ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ, ການລະເຫີຍ, ແລະການປ່ອຍອະນຸພາກແມ່ນຕົວຊີ້ວັດທີ່ສໍາຄັນຂອງປະທັບຕາ. ປະທັບຕາທີ່ມີຄວາມຫຍາບຄາຍຂອງພື້ນຜິວຕ່ໍາແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍຕໍ່ການສະສົມຂອງອະນຸພາກ, ໃນຂະນະທີ່ການເຫນັງຕີງຕ່ໍາຈະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການການປ່ອຍອາຍແກັສອິນຊີຈາກປະທັບຕາໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເມື່ອເລືອກປະທັບຕາ, ໃຫ້ຄວາມສໍາຄັນກັບຜະລິດຕະພັນທີ່ມີການປິ່ນປົວດ້ານພິເສດທີ່ສະຫນອງການລະເຫີຍຕ່ໍາແລະການລະບາຍອະນຸພາກ. ຕົວຢ່າງ, ປະທັບຕາ perfluoroelastomer ທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວດ້ວຍ plasma ສະເຫນີໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ລຽບກວ່າແລະຫຼຸດຜ່ອນການລະເຫີຍຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ນອກຈາກນີ້, ໃຫ້ເອົາໃຈໃສ່ກັບຄຸນສົມບັດການປ່ອຍປະທັບຕາຂອງປະທັບຕາແລະເລືອກຜະລິດຕະພັນທີ່ຜ່ານການທົດສອບການປ່ອຍຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກມັນບໍ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ເປັນອັນຕະລາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor.
2. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງເຄມີ: ເລືອກວັດສະດຸຢາງທີ່ເຫມາະສົມໂດຍອີງໃສ່ສານເຄມີທີ່ພົບໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ. ປະເພດຕ່າງໆຂອງ fluoroelastomer ແລະ perfluoroelastomer ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອາຊິດ oxidizing ທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ການປະທັບຕາ perfluoroelastomer oxidizing ສູງຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄັດເລືອກ. ສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສານລະລາຍອິນຊີທົ່ວໄປ, ການປະທັບຕາ fluoroelastomer ອາດຈະເປັນທາງເລືອກທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍ.
3. ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ: ເຫຼົ່ານີ້ລວມມີຄວາມແຂງ, ໂມດູລ elastic, ແລະຊຸດການບີບອັດ. ປະທັບຕາທີ່ມີຄວາມແຂງປານກາງຮັບປະກັນການປະທັບຕາທີ່ດີໃນຂະນະທີ່ຍັງອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຕິດຕັ້ງແລະການໂຍກຍ້າຍ. ໂມດູລ elastic ແລະຊຸດການບີບອັດສະທ້ອນເຖິງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການປະຕິບັດການປະທັບຕາພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນໃນໄລຍະຍາວ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນສູງ, ການປະທັບຕາທີ່ມີຊຸດການບີບອັດຫນ້ອຍທີ່ສຸດຄວນໄດ້ຮັບການຄັດເລືອກເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດການປະທັບຕາທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຍາວນານ.
IV. ການວິເຄາະກໍລະນີການນໍາໃຊ້ພາກປະຕິບັດ
ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຊື່ສຽງໄດ້ປະສົບກັບການກັດກ່ອນເລື້ອຍໆແລະການແກ່ອາຍຸຂອງປະທັບຕາຢາງພາລາທໍາມະດາໃນອຸປະກອນ etching ໃນສາຍການຜະລິດ chip ຂອງຕົນ. ນີ້ນໍາໄປສູ່ການຮົ່ວໄຫຼພາຍໃນ, ຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະການຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດຂອງຊິບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເນື່ອງຈາກການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການປະທັບຕາແບບດັ້ງເດີມໄດ້ປ່ອຍສິ່ງເສດເຫຼືອທາງອິນຊີເປັນຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ປົນເປື້ອນວັດສະດຸ semiconductor ແລະເຮັດໃຫ້ເກີດການປະຕິບັດຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ຫມັ້ນຄົງ. ຫຼັງຈາກການປ່ຽນແທນພວກມັນດ້ວຍປະທັບຕາ perfluoroelastomer ທີ່ຜະລິດໂດຍບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນໄດ້ປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຫຼັງຈາກຫນຶ່ງປີຂອງການຕິດຕາມການດໍາເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ປະທັບຕາບໍ່ສະແດງອາການຂອງການກັດກ່ອນຫຼືອາຍຸ, ຮັກສາພາຍໃນທີ່ສະອາດສູງ, ແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດຂອງຊິບຈາກ 80% ເປັນຫຼາຍກວ່າ 95%. ນີ້ແມ່ນບັນລຸໄດ້ຍ້ອນການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດຂອງປະທັບຕາ perfluoroelastomer, ຄຸນລັກສະນະຂອງຝົນຕົກຕ່ໍາ, ແລະຄຸນສົມບັດທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຜົນປະໂຫຍດທາງດ້ານເສດຖະກິດທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບບໍລິສັດ.
ສະຫຼຸບ: ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor, ເຊິ່ງພະຍາຍາມສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມສະອາດທີ່ສຸດ, ການປະທັບຕາຢາງພາລາພິເສດມີບົດບາດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ປະທັບຕາຢາງພິເສດເຊັ່ນ: fluoropolymer ແລະ perfluoroelastomer, ປະສິດທິພາບດີກວ່າຂອງເຂົາເຈົ້າ, ລວມທັງການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດກ່ຽວກັບການ precipitation, ສະຫນອງການປະທັບຕາທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor, ຊ່ວຍໃຫ້ອຸດສາຫະກໍາກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນລະດັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສູງຂຶ້ນ.
ເວລາປະກາດ: ຕຸລາ-17-2025