Ao amin'ny sehatry ny teknolojia avo lenta amin'ny famokarana semiconductor, ny dingana tsirairay dia mitaky fahaiza-manao sy fahadiovana miavaka. Ny tombo-kase fingotra manokana, izay singa tena ilaina amin'ny fiasan'ny fitaovana famokarana sy ny fitazonana tontolo famokarana madio dia misy fiantraikany mivantana amin'ny vokatra sy ny fahombiazan'ny vokatra semiconductor. Androany, hojerentsika ny fomba ilalaovan'ny tombo-kase fingotra manokana toy ny fluororubber sy perfluoroelastomer anjara toerana lehibe amin'ny famokarana semiconductor.
I. Ireo fepetra henjana takiana amin'ny tontolo famokarana semiconductor
Matetika ny fanamboarana semiconductor dia atao ao anaty efitrano madio, izay tena takiana amin'ny fahadiovana ny tontolo iainana. Na dia ireo poti-javatra madinika aza dia mety hiteraka "short circuit" na lesoka hafa amin'ny fahombiazana. Ankoatra izany, ny dingana famokarana dia misy ny fampiasana karazana akora simika manimba be, toy ny "photoresist", vahaolana "etching", ary ranoka fanadiovana. Ankoatra izany, ny dingana sasany amin'ny dingana dia iharan'ny fiovaovan'ny mari-pana sy ny tsindry be. Ohatra, ny dingana "etching" sy ny fametrahana ion dia miteraka mari-pana sy tsindry avo lenta ao anatin'ny fitaovana. Ankoatra izany, ny ranoka avy amin'ny tombo-kase dia mety hisy fiantraikany lehibe amin'ny fanamboarana semiconductor. Na dia kely dia kely aza ny ranoka dia mety handoto ny fitaovana na ny dingana semiconductor, ka hanelingelina ny fahamarinan'ny dingana famokarana.
II. Ny anjara asa lehibe amin'ny tombo-kase fingotra manokana
1. Fisorohana ny fahalotoan'ny poti-javatra: Ny tombo-kase fingotra manokana dia manakana tsara ny vovoka, ny loto ary ny poti-javatra hafa avy amin'ny tontolo ivelany tsy hiditra ao amin'ny fitaovana, mba hihazonana tontolo madio. Raha raisina ho ohatra ny tombo-kase perfluoroelastomer, ny endriny malama dia mahatohitra ny fidiran'ny poti-javatra. Ny fahaizany miovaova dia ahafahan'izy ireo mifanaraka tsara amin'ny singa ao amin'ny fitaovana, ka mamorona sakana azo antoka ary miantoka fa tsy misy fahalotoan'ny poti-javatra ny fizotran'ny famokarana semiconductor.
2. Mahatohitra ny harafesina simika: Ny tombo-kase toy ny fluorocarbon sy perfluoroelastomer dia manome fanoherana tsara dia tsara amin'ireo akora simika ampiasaina matetika amin'ny fanamboarana semiconductor. Ny tombo-kase fluorocarbon dia mahatohitra vahaolana asidra sy alkaline mahazatra ary solvents organika, raha toa kosa ny tombo-kase perfluoroelastomer dia tena marin-toerana amin'ny tontolo simika tena manimba sy manimba. Ohatra, amin'ny dingana fanesorana lena, ny tombo-kase perfluoroelastomer dia afaka mahatanty fifandraisana maharitra amin'ny vahaolana fanesorana asidra be tsy misy harafesina, izay miantoka ny famehezana sy ny fahamarinan'ny fitaovana.
3. Fifanarahana amin'ny fiovaovan'ny mari-pana sy ny tsindry: Matetika ny fitaovana fanamboarana semiconductor dia miaina fiovaovan'ny mari-pana sy ny tsindry mandritra ny fampiasana azy. Ny tombo-kase fingotra manokana dia mitaky fanoherana tsara amin'ny mari-pana ambony sy ambany, ary koa ny elastika sy ny fanoherana ny tsindry tsara. Ny tombo-kase fluororubber dia mitazona elastika sy toetra tsara amin'ny tombo-kase ao anatin'ny mari-pana sasany, mifanaraka amin'ny fiovaovan'ny mari-pana mandritra ny dingana fanodinana samihafa. Ny tombo-kase perfluoroelastomer kosa dia tsy vitan'ny hoe mahazaka mari-pana ambony fa mahatohitra ny ho mafy na mora vaky amin'ny mari-pana ambany, mitazona ny fahombiazan'ny tombo-kase azo itokisana ary miantoka ny fiasan'ny fitaovana ara-dalàna amin'ny toe-javatra fiasana sarotra isan-karazany.
4. Fifehezana ny Loza ateraky ny Rotsakorana: Tena ilaina ny fifehezana ny rotsak'orana avy amin'ny tombo-kase amin'ny famokarana semiconductor. Ny tombo-kase fingotra manokana toy ny fluoroelastomer sy perfluoroelastomer dia mampiasa fomba fanamboarana sy fomba famokarana nohatsaraina mba hampihenana ny fampiasana akora fanampiny isan-karazany, ka mampihena ny mety hisian'ny rotsak'orana avy amin'ny loto toy ny molekiola organika kely sy ion metaly mandritra ny famokarana. Ireo toetra mampiavaka ny rotsak'orana ambany ireo dia miantoka fa tsy ho lasa loharanon'ny loto ny tombo-kase, ka mitazona ny tontolo madio indrindra ilaina amin'ny famokarana semiconductor.
III. Fepetra takiana amin'ny fahombiazana sy ny fepetra fifantenana ho an'ny tombo-kase fingotra manokana
1. Toetra mifandraika amin'ny fahadiovana: Ny haratsian'ny ety ambonin'ny tany, ny fiovaovan'ny loko, ary ny fivoahan'ny poti-javatra dia famantarana lehibe amin'ny tombo-kase. Ny tombo-kase tsy dia haratsian'ny ety ambonin'ny tany dia tsy mora miangona poti-javatra, raha toa kosa ny fiovaovan'ny loko ambany dia mampihena ny mety hisian'ny entona organika avy amin'ny tombo-kase amin'ny tontolo mafana be. Rehefa misafidy tombo-kase, dia ataovy laharam-pahamehana ny vokatra misy fitsaboana manokana izay manolotra fiovaovan'ny loko sy fivoahan'ny poti-javatra ambany. Ohatra, ny tombo-kase perfluoroelastomer voatsabo amin'ny plasma dia manolotra ety ambonin'ny tany malefaka kokoa ary mampihena tsara ny fiovaovan'ny loko. Tandremo ihany koa ny toetran'ny fivoahan'ny tombo-kase ary mifidiana vokatra izay efa nandalo fitsapana henjana momba ny fivoahana mba hahazoana antoka fa tsy mamoaka entona manimba ao amin'ny tontolo famokarana semiconductor izy ireo.
2. Fifanarahana simika: Misafidiana fitaovana fingotra mety amin'izany mifototra amin'ny akora simika manokana hita mandritra ny fanamboarana semiconductor. Samy hafa ny fanoherana ny akora simika amin'ny karazana fluoroelastomer sy perfluoroelastomer samihafa. Ho an'ny dingana misy asidra oksidana mahery, dia tsy maintsy fidina ny tombo-kase perfluoroelastomer oksidana mahery. Ho an'ny dingana misy solvent organika ankapobeny, ny tombo-kase fluoroelastomer dia mety ho safidy mahomby kokoa.
3. Toetra ara-batana: Anisan'izany ny hamafin'ny tombo-kase, ny modulus elastika, ary ny fametrahana famatrarana. Ny tombo-kase misy hamafin'ny antonony dia miantoka ny tombo-kase tsara sady manamora ny fametrahana sy ny fanesorana. Ny modulus elastika sy ny fametrahana famatrarana dia maneho ny fahamarinan'ny fahombiazan'ny tombo-kase eo ambany fihenjanana maharitra. Amin'ny tontolo iainana misy mari-pana avo sy tsindry avo, ny tombo-kase misy fametrahana famatrarana kely indrindra dia tokony hofidiana mba hahazoana antoka ny fahombiazan'ny famatrarana maharitra sy marin-toerana.
IV. Famakafakana tranga fampiharana azo ampiharina
Nisy mpanamboatra semiconductor malaza iray niharan'ny harafesina matetika sy ny fahanteran'ny tombo-kase fingotra mahazatra tao amin'ny fitaovana fanetezana amin'ny famokarana puce. Izany dia nitarika fivoahana anatiny, izay nisy fiantraikany tamin'ny fahombiazan'ny famokarana ary nampihena be ny vokatra puce noho ny loto avy amin'ny poti-javatra. Ankoatra izany, ireo tombo-kase mahazatra dia namoaka loto organika be dia be nandritra ny dingana avo lenta, izay nandoto ny fitaovana semiconductor ary niteraka fahombiazan'ny vokatra tsy marin-toerana. Rehefa nosoloina tombo-kase perfluoroelastomer novokarin'ny orinasanay izy ireo, dia nihatsara be ny fahamarinan'ny fiasan'ny fitaovana. Taorian'ny herintaona nanaraha-maso tsy tapaka ny asa, dia tsy naneho famantarana ny harafesina na ny fahanteran'ny tombo-kase, nitazona ny ao anatiny ho madio tsara, ary nitombo ny vokatra puce avy amin'ny 80% ka hatramin'ny 95%. Izany dia tratra noho ny fanoherana simika tsara dia tsara an'ny tombo-kase perfluoroelastomer, ny toetran'ny rotsakorana ambany, ary ny toetra ara-batana tsara dia tsara, izay niafara tamin'ny tombontsoa ara-toekarena lehibe ho an'ny orinasa.
Fehiny: Ao amin'ny indostrian'ny fanamboarana semiconductor, izay mikatsaka ny fahamarinan-toerana sy ny fahadiovana faratampony, ny tombo-kase fingotra manokana dia mitana anjara toerana tena ilaina. Ny tombo-kase fingotra manokana toy ny fluoropolymer sy perfluoroelastomer, miaraka amin'ny fahombiazany ambony, anisan'izany ny fanaraha-maso hentitra ny rotsakorana, dia manome tombo-kase azo antoka ho an'ny fitaovana fanamboarana semiconductor, manampy ny indostria handroso hatrany amin'ny ambaratonga ara-teknolojia ambony kokoa.
Fotoana fandefasana: 17 Oktobra 2025