Во високотехнолошката област на производство на полупроводници, секој чекор бара исклучителна прецизност и чистота. Специјалните гумени заптивки, како критични компоненти што обезбедуваат стабилно работење на производствената опрема и одржуваат високо чиста производствена средина, имаат директно влијание врз приносот и перформансите на полупроводничките производи. Денес, ќе навлеземе во тоа како специјализираните гумени заптивки како што се флуорова гума и перфлуороеластомер играат клучна улога во производството на полупроводници.
I. Строгите барања на средини за производство на полупроводници
Производството на полупроводници обично се изведува во чисти простории, каде што барањата за чистота на животната средина се екстремно високи. Дури и малите честички на загадувачи можат да предизвикаат кратки споеви на чиповите или други дефекти во перформансите. Понатаму, процесот на производство вклучува употреба на различни високо корозивни хемикалии, како што се фоторезисти, раствори за јорганизирање и течности за чистење. Понатаму, некои чекори во процесот доживуваат значителни флуктуации на температурата и притисокот. На пример, процесите на јорганизирање и јонска имплантација генерираат високи температури и притисоци во опремата. Понатаму, талогите од заптивките можат да имаат сериозно влијание врз производството на полупроводници. Дури и траги од талог можат да ги контаминираат полупроводничките материјали или процеси, нарушувајќи ја точноста на процесот на производство.
II. Клучните улоги на специјалните гумени заптивки
1. Спречување на контаминација со честички: Специјалните гумени заптивки ефикасно го блокираат влегувањето на прашина, нечистотии и други честички од надворешната средина во опремата, одржувајќи чиста средина. Земајќи ги заптивките за перфлуороеластомер како пример, нивната мазна површина се спротивставува на апсорпцијата на честички. Нивната одлична флексибилност им овозможува цврсто да се прилепат на компонентите на опремата, формирајќи сигурна бариера за запечатување и осигурувајќи дека процесот на производство на полупроводници е без контаминација со честички.
2. Отпорност на хемиска корозија: Заптивките како што се флуоројаглеродот и перфлуороеластомерот нудат одлична отпорност на хемиските реагенси што најчесто се користат во производството на полупроводници. Флуоројаглеродните заптивки се отпорни на вообичаени кисели и алкални раствори и органски растворувачи, додека перфлуороеластомерните заптивки се особено стабилни во високо оксидирачки и корозивни хемиски средини. На пример, во процесите на влажно јоргање, перфлуороеластомерните заптивки можат да издржат продолжен контакт со високо кисели раствори за јоргање без корозија, обезбедувајќи јоргање и стабилност на опремата.
3. Прилагодување на флуктуации на температурата и притисокот: Опремата за производство на полупроводници доживува чести флуктуации на температурата и притисокот за време на работата. Специјалните гумени заптивки бараат одлична отпорност на високи и ниски температури, како и одлична еластичност и отпорност на притисок. Флуорогумените заптивки одржуваат одлична еластичност и својства на заптивање во одреден температурен опсег, прилагодувајќи се на температурните флуктуации за време на различните фази на обработка. Перфлуороеластомерните заптивки, од друга страна, не само што издржуваат високи температури, туку и се отпорни на стврднување или кршливост на ниски температури, одржувајќи сигурни перформанси на заптивање и обезбедувајќи нормално работење на опремата под различни сложени работни услови.
4. Контролирање на ризикот од врнежи: Контролирањето на врнежите од заптивките е клучно во производството на полупроводници. Специјалните гумени заптивки како што се флуороеластомерите и перфлуороеластомерите користат оптимизирани формулации и производствени процеси за да се минимизира употребата на разни адитиви, со што се намалува веројатноста за врнежи од нечистотии како што се мали органски молекули и метални јони за време на процесот на производство. Овие карактеристики на ниско врнежи осигуруваат дека заптивките не станат потенцијален извор на контаминација, одржувајќи ја ултра чистата средина потребна за производство на полупроводници.
III. Барања за перформанси и критериуми за избор на специјални гумени заптивки
1. Својства поврзани со чистотата: Рапавоста на површината, испарливоста и ослободувањето на честички се клучни индикатори за заптивките. Заптивките со мала површинска рапавост се помалку склони кон акумулација на честички, додека ниската испарливост го намалува ризикот од емисии на органски гасови од заптивките во средини со висока температура. При избор на заптивки, дајте им приоритет на производите со специјални површински третмани кои нудат ниска испарливост и емисија на честички. На пример, перфлуороеластомерните заптивки третирани со плазма нудат помазна површина и ефикасно ја намалуваат испарливоста. Исто така, обрнете внимание на својствата на ослободување на заптивката и изберете производи кои поминале низ ригорозни тестирања за ослободување за да се осигурате дека не испуштаат штетни емисии во средини за производство на полупроводници.
2. Хемиска компатибилност: Изберете го соодветниот гумен материјал врз основа на специфичните хемиски реагенси што се среќаваат за време на производството на полупроводници. Различните видови флуороеластомери и перфлуороеластомери имаат различна отпорност на различни хемикалии. За процеси што вклучуваат силни оксидирачки киселини, мора да се изберат високо оксидирачки перфлуороеластомерни заптивки. За процеси што вклучуваат општи органски растворувачи, флуороеластомерните заптивки може да бидат поекономична опција.
3. Физички својства: Тие вклучуваат тврдост, модул на еластичност и компресивно стврднување. Заптивките со умерена тврдост обезбедуваат добро заптивање, а воедно го олеснуваат инсталирањето и отстранувањето. Модулот на еластичност и компресиското стврднување ја одразуваат стабилноста на перформансите на заптивката под долготраен стрес. Во средини со висока температура и висок притисок, треба да се изберат заптивки со минимално компресивно стврднување за да се обезбедат долгорочни, стабилни перформанси на заптивање.
IV. Анализа на случај од практична примена
Добро познат производител на полупроводници се соочуваше со честа корозија и стареење на конвенционалните гумени заптивки во опремата за гравирање на својата линија за производство на чипови. Ова доведе до внатрешни протекувања, што влијаеше на ефикасноста на производството и значително ги намали приносите на чипови поради контаминација со честички. Понатаму, конвенционалните заптивки ослободуваа големи количини на органски нечистотии за време на процесот на висока температура, контаминирајќи го полупроводничкиот материјал и предизвикувајќи нестабилни перформанси на производот. Откако ги заменивме со перфлуороеластомерни заптивки произведени од нашата компанија, оперативната стабилност на опремата значително се подобри. По една година континуирано оперативно следење, заптивките не покажаа знаци на корозија или стареење, одржувајќи високо чиста внатрешност и зголемувајќи го приносот на чипови од 80% на над 95%. Ова беше постигнато благодарение на одличната хемиска отпорност на перфлуороеластомерните заптивки, карактеристиките на ниски врнежи и одличните физички својства, што резултираше со значителни економски придобивки за компанијата.
Заклучок: Во индустријата за производство на полупроводници, која се стреми кон екстремна прецизност и чистота, специјалните гумени заптивки играат неопходна улога. Специјалните гумени заптивки како што се флуорополимер и перфлуороеластомер, со нивните супериорни перформанси, вклучувајќи строга контрола на врнежите, обезбедуваат сигурно заптивање за опремата за производство на полупроводници, помагајќи ѝ на индустријата континуирано да напредува на повисоки технолошки нивоа.
Време на објавување: 17 октомври 2025 година