സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ പ്രത്യേക റബ്ബർ സീലുകൾ: ശുചിത്വത്തിനും കൃത്യതയ്ക്കും ഉറപ്പ്.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ ഹൈടെക് മേഖലയിൽ, ഓരോ ഘട്ടത്തിനും അസാധാരണമായ കൃത്യതയും വൃത്തിയും ആവശ്യമാണ്. ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളുടെ സ്ഥിരമായ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുകയും വളരെ വൃത്തിയുള്ള ഉൽ‌പാദന അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്ന നിർണായക ഘടകങ്ങളായ സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾ, സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പ്പന്നങ്ങളുടെ വിളവിലും പ്രകടനത്തിലും നേരിട്ട് സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. ഫ്ലൂറോറബ്ബർ, പെർഫ്ലൂറോലാസ്റ്റോമർ തുടങ്ങിയ സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ എങ്ങനെ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നുവെന്ന് ഇന്ന് നമ്മൾ പരിശോധിക്കും.

I. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പരിതസ്ഥിതികളുടെ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ

പാരിസ്ഥിതിക ശുചിത്വ ആവശ്യകതകൾ വളരെ കൂടുതലുള്ള വൃത്തിയുള്ള മുറികളിലാണ് സാധാരണയായി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം നടത്തുന്നത്. മാലിന്യങ്ങളുടെ ചെറിയ കണികകൾ പോലും ചിപ്പ് ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടുകൾക്കോ ​​മറ്റ് പ്രകടന വൈകല്യങ്ങൾക്കോ ​​കാരണമാകും. കൂടാതെ, ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റുകൾ, എച്ചിംഗ് സൊല്യൂഷനുകൾ, ക്ലീനിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന തോതിൽ നശിപ്പിക്കുന്ന രാസവസ്തുക്കളുടെ ഉപയോഗം നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. കൂടാതെ, ചില പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങളിൽ താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും കാര്യമായ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ അനുഭവപ്പെടുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, എച്ചിംഗ്, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പ്രക്രിയകൾ ഉപകരണത്തിനുള്ളിൽ ഉയർന്ന താപനിലയും മർദ്ദവും സൃഷ്ടിക്കുന്നു. കൂടാതെ, സീലുകളിൽ നിന്നുള്ള അവശിഷ്ടങ്ങൾ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ ഗുരുതരമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തും. അവശിഷ്ടങ്ങളുടെ ചെറിയ അളവ് പോലും അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളെയോ പ്രക്രിയകളെയോ മലിനമാക്കും, ഇത് ഉൽപാദന പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യതയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്നു.

II. സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകളുടെ പ്രധാന റോളുകൾ

1. കണിക മലിനീകരണം തടയൽ: സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾ ബാഹ്യ പരിതസ്ഥിതിയിൽ നിന്നുള്ള പൊടി, മാലിന്യങ്ങൾ, മറ്റ് കണികകൾ എന്നിവ ഉപകരണങ്ങളിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നത് ഫലപ്രദമായി തടയുകയും ശുദ്ധമായ അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ ഒരു ഉദാഹരണമായി എടുക്കുകയാണെങ്കിൽ, അവയുടെ മിനുസമാർന്ന ഉപരിതലം കണിക ആഗിരണം ചെയ്യുന്നതിനെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു. അവയുടെ മികച്ച വഴക്കം അവയെ ഉപകരണ ഘടകങ്ങളുമായി കർശനമായി യോജിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു, വിശ്വസനീയമായ ഒരു സീലിംഗ് തടസ്സം സൃഷ്ടിക്കുകയും അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ കണിക മലിനീകരണത്തിൽ നിന്ന് മുക്തമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

2. രാസ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കൽ: ഫ്ലൂറോകാർബൺ, പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ പോലുള്ള സീലുകൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന കെമിക്കൽ റിയാജന്റുകൾക്ക് മികച്ച പ്രതിരോധം നൽകുന്നു. ഫ്ലൂറോകാർബൺ സീലുകൾ സാധാരണ അസിഡിക്, ആൽക്കലൈൻ ലായനികളെയും ജൈവ ലായകങ്ങളെയും പ്രതിരോധിക്കും, അതേസമയം പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ ഉയർന്ന ഓക്സിഡൈസിംഗും നശിപ്പിക്കുന്നതുമായ രാസ പരിതസ്ഥിതികളിൽ പ്രത്യേകിച്ച് സ്ഥിരതയുള്ളവയാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, വെറ്റ് എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ, പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾക്ക് ഉയർന്ന അസിഡിറ്റി ഉള്ള എച്ചിംഗ് ലായനികളുമായുള്ള ദീർഘകാല സമ്പർക്കത്തെ തുരുമ്പെടുക്കാതെ നേരിടാൻ കഴിയും, ഇത് ഉപകരണങ്ങളുടെ സീലിംഗും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

3. താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലുമുള്ള ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടൽ: പ്രവർത്തന സമയത്ത് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും ഇടയ്ക്കിടെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ അനുഭവപ്പെടുന്നു. സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾക്ക് മികച്ച ഉയർന്നതും താഴ്ന്നതുമായ താപനില പ്രതിരോധവും മികച്ച ഇലാസ്തികതയും മർദ്ദ പ്രതിരോധവും ആവശ്യമാണ്. ഫ്ലൂറോറബ്ബർ സീലുകൾ ഒരു നിശ്ചിത താപനില പരിധിക്കുള്ളിൽ മികച്ച ഇലാസ്തികതയും സീലിംഗ് ഗുണങ്ങളും നിലനിർത്തുന്നു, വ്യത്യസ്ത പ്രോസസ്സിംഗ് ഘട്ടങ്ങളിലെ താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു. മറുവശത്ത്, പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ ഉയർന്ന താപനിലയെ ചെറുക്കുക മാത്രമല്ല, താഴ്ന്ന താപനിലയിൽ കഠിനമോ പൊട്ടുന്നതോ ആകുന്നതിനെ പ്രതിരോധിക്കുകയും വിശ്വസനീയമായ സീലിംഗ് പ്രകടനം നിലനിർത്തുകയും വിവിധ സങ്കീർണ്ണമായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ സാധാരണ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

4. മഴയുടെ അപകടസാധ്യത നിയന്ത്രിക്കൽ: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ സീലുകളിൽ നിന്നുള്ള മഴ നിയന്ത്രിക്കുന്നത് നിർണായകമാണ്. ഫ്ലൂറോഇലാസ്റ്റോമർ, പെർഫ്ലൂറോഇലാസ്റ്റോമർ പോലുള്ള പ്രത്യേക റബ്ബർ സീലുകൾ വിവിധ അഡിറ്റീവുകളുടെ ഉപയോഗം കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത ഫോർമുലേഷനുകളും ഉൽപാദന പ്രക്രിയകളും ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതുവഴി നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ചെറിയ ജൈവ തന്മാത്രകൾ, ലോഹ അയോണുകൾ തുടങ്ങിയ മാലിന്യങ്ങൾ മഴയായി വീഴാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു. ഈ കുറഞ്ഞ മഴയുടെ സവിശേഷതകൾ സീലുകൾ മലിനീകരണത്തിന്റെ സാധ്യതയുള്ള ഉറവിടമായി മാറുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് ആവശ്യമായ അൾട്രാ-ക്ലീൻ പരിസ്ഥിതി നിലനിർത്തുന്നു.

III. സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾക്കുള്ള പ്രകടന ആവശ്യകതകളും തിരഞ്ഞെടുക്കൽ മാനദണ്ഡങ്ങളും

1. ശുചിത്വവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട സവിശേഷതകൾ: ഉപരിതല പരുക്കൻത, അസ്ഥിരത, കണികകളുടെ പ്രകാശനം എന്നിവയാണ് സീലുകളുടെ പ്രധാന സൂചകങ്ങൾ. കുറഞ്ഞ ഉപരിതല പരുക്കൻത ഉള്ള സീലുകൾ കണികകളുടെ ശേഖരണത്തിന് സാധ്യത കുറവാണ്, അതേസമയം കുറഞ്ഞ അസ്ഥിരത ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷങ്ങളിലെ സീലുകളിൽ നിന്നുള്ള ജൈവ വാതക ഉദ്‌വമന സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു. സീലുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ, കുറഞ്ഞ അസ്ഥിരതയും കണികാ ഉദ്‌വമനവും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്ന പ്രത്യേക ഉപരിതല ചികിത്സകളുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾക്ക് മുൻഗണന നൽകുക. ഉദാഹരണത്തിന്, പ്ലാസ്മ-ചികിത്സിച്ച പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ സുഗമമായ ഒരു ഉപരിതലം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുകയും അസ്ഥിരത ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂടാതെ, സീലിന്റെ റിലീസ് ഗുണങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ ചെലുത്തുകയും അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദോഷകരമായ ഉദ്‌വമനം പുറപ്പെടുവിക്കുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ കർശനമായ റിലീസ് പരിശോധനയ്ക്ക് വിധേയമായ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുക.

2. കെമിക്കൽ കോംപാറ്റിബിലിറ്റി: സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സമയത്ത് നേരിടുന്ന പ്രത്യേക കെമിക്കൽ റിയാജന്റുകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി ഉചിതമായ റബ്ബർ മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കുക. വ്യത്യസ്ത തരം ഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമറിനും പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമറിനും വ്യത്യസ്ത രാസവസ്തുക്കളോട് വ്യത്യസ്ത പ്രതിരോധമുണ്ട്. ശക്തമായ ഓക്സിഡൈസിംഗ് ആസിഡുകൾ ഉൾപ്പെടുന്ന പ്രക്രിയകൾക്ക്, ഉയർന്ന ഓക്സിഡൈസിംഗ് പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കണം. പൊതുവായ ജൈവ ലായകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്ന പ്രക്രിയകൾക്ക്, ഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ കൂടുതൽ ചെലവ് കുറഞ്ഞ ഓപ്ഷനായിരിക്കാം.

3. ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ: ഇതിൽ കാഠിന്യം, ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്, കംപ്രഷൻ സെറ്റ് എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. മിതമായ കാഠിന്യമുള്ള സീലുകൾ നല്ല സീൽ ഉറപ്പാക്കുന്നതിനൊപ്പം ഇൻസ്റ്റാളേഷനും നീക്കംചെയ്യലും സുഗമമാക്കുന്നു. ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസും കംപ്രഷൻ സെറ്റും ദീർഘകാല സമ്മർദ്ദത്തിൽ ഒരു സീലിന്റെ പ്രകടന സ്ഥിരതയെ പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലുമുള്ള പരിതസ്ഥിതികളിൽ, ദീർഘകാല, സ്ഥിരതയുള്ള സീലിംഗ് പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കാൻ കുറഞ്ഞ കംപ്രഷൻ സെറ്റുള്ള സീലുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കണം.

IV. പ്രായോഗിക പ്രയോഗ കേസ് വിശകലനം

ഒരു പ്രശസ്ത സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാതാവ്, അവരുടെ ചിപ്പ് നിർമ്മാണ ലൈനിലെ എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ പരമ്പരാഗത റബ്ബർ സീലുകളുടെ ഇടയ്ക്കിടെയുള്ള നാശവും പഴക്കവും അനുഭവിച്ചുകൊണ്ടിരുന്നു. ഇത് ആന്തരിക ചോർച്ചകൾക്ക് കാരണമായി, ഉൽപ്പാദന കാര്യക്ഷമതയെ ബാധിക്കുകയും കണിക മലിനീകരണം മൂലം ചിപ്പ് വിളവ് ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്തു. കൂടാതെ, ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയയിൽ പരമ്പരാഗത സീലുകൾ വലിയ അളവിൽ ജൈവ മാലിന്യങ്ങൾ പുറത്തുവിടുകയും, സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയലിനെ മലിനമാക്കുകയും അസ്ഥിരമായ ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനത്തിന് കാരണമാവുകയും ചെയ്തു. ഞങ്ങളുടെ കമ്പനി നിർമ്മിക്കുന്ന പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകൾ ഉപയോഗിച്ച് അവയെ മാറ്റിസ്ഥാപിച്ച ശേഷം, ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന സ്ഥിരത ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെട്ടു. ഒരു വർഷത്തെ തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തന നിരീക്ഷണത്തിന് ശേഷം, സീലുകൾ നാശത്തിന്റെയോ പഴക്കത്തിന്റെയോ ലക്ഷണങ്ങൾ കാണിച്ചില്ല, വളരെ വൃത്തിയുള്ള ഇന്റീരിയർ നിലനിർത്തി, ചിപ്പ് വിളവ് 80% ൽ നിന്ന് 95% ൽ കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിച്ചു. പെർഫ്ലൂറോഎലാസ്റ്റോമർ സീലുകളുടെ മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ മഴയുടെ സവിശേഷതകൾ, മികച്ച ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ എന്നിവ കാരണം ഇത് കൈവരിക്കാനായി, ഇത് കമ്പനിക്ക് ഗണ്യമായ സാമ്പത്തിക നേട്ടങ്ങൾക്ക് കാരണമായി.

ഉപസംഹാരം: അങ്ങേയറ്റത്തെ കൃത്യതയും ശുചിത്വവും പാലിക്കുന്ന സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ, സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഫ്ലൂറോപോളിമർ, പെർഫ്ലൂറോലാസ്റ്റോമർ തുടങ്ങിയ സ്പെഷ്യാലിറ്റി റബ്ബർ സീലുകൾ, മഴയുടെ മേൽ കർശനമായ നിയന്ത്രണം ഉൾപ്പെടെയുള്ള മികച്ച പ്രകടനത്തോടെ, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വിശ്വസനീയമായ സീലിംഗ് നൽകുന്നു, ഇത് വ്യവസായത്തെ ഉയർന്ന സാങ്കേതിക തലങ്ങളിലേക്ക് തുടർച്ചയായി മുന്നേറാൻ സഹായിക്കുന്നു.