Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр технологийн салбарт алхам бүр онцгой нарийвчлал, цэвэр байдлыг шаарддаг. Үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангаж, үйлдвэрлэлийн өндөр цэвэр орчныг бүрдүүлдэг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох тусгай резинэн жийргэвч нь хагас дамжуулагч бүтээгдэхүүний гарц, гүйцэтгэлд шууд нөлөөлдөг. Өнөөдөр бид фтор резинэн болон перфторэластомер зэрэг тусгай резинэн жийргэвч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд хэрхэн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг талаар судлах болно.
I. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчны хатуу шаардлага
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг ихэвчлэн байгаль орчны цэвэр байдлын шаардлага маш өндөр байдаг цэвэр өрөөнд явуулдаг. Бохирдуулагчийн жижиг хэсгүүд ч гэсэн чипийн богино холболт эсвэл бусад гүйцэтгэлийн согог үүсгэж болзошгүй. Цаашилбал, үйлдвэрлэлийн процесст фоторезист, сийлбэрийн уусмал, цэвэрлэгээний шингэн зэрэг янз бүрийн өндөр идэмхий химийн бодисууд ашиглагддаг. Цаашилбал, зарим процессын үе шатууд нь температур болон даралтын мэдэгдэхүйц хэлбэлзэлтэй байдаг. Жишээлбэл, сийлбэр болон ионы суулгацын процессууд нь тоног төхөөрөмжийн дотор өндөр температур, даралтыг үүсгэдэг. Цаашилбал, битүүмжлэлээс үүссэн тунадас нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ноцтой нөлөө үзүүлдэг. Тунадасны ул мөр ч гэсэн хагас дамжуулагч материал эсвэл процессыг бохирдуулж, үйлдвэрлэлийн процессын нарийвчлалыг алдагдуулдаг.
II. Тусгай резинэн лацны гол үүрэг
1. Бөөмийн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх: Тусгай резинэн жийргэвч нь гаднах орчноос тоос шороо, хольц болон бусад бөөмсийг тоног төхөөрөмжид нэвтрэхээс үр дүнтэй хааж, цэвэр орчныг хадгалдаг. Жишээлбэл, перфторэластомер жийргэвчийг авч үзвэл тэдгээрийн гөлгөр гадаргуу нь бөөмсийн шингээлтийг эсэргүүцдэг. Маш сайн уян хатан чанар нь тоног төхөөрөмжийн эд ангиудад нягт тохирох боломжийг олгодог бөгөөд найдвартай битүүмжлэх хаалт үүсгэж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесс нь бөөмсийн бохирдлоос ангид байхыг баталгаажуулдаг.
2. Химийн зэврэлтээс хамгаалах: Фтор нүүрстөрөгч болон перфторэластомер зэрэг битүүмжлэл нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг химийн урвалжуудад маш сайн тэсвэртэй байдаг. Фтор нүүрстөрөгчийн битүүмжлэл нь нийтлэг хүчиллэг болон шүлтлэг уусмал, органик уусгагчдад тэсвэртэй байдаг бол перфторэластомер битүүмжлэл нь өндөр исэлдүүлэгч болон идэмхий химийн орчинд онцгой тогтвортой байдаг. Жишээлбэл, нойтон сийлбэрийн процесст перфторэластомер битүүмжлэл нь өндөр хүчиллэг сийлбэрийн уусмалтай удаан хугацаанд харьцахад зэврэлтгүйгээр тэсвэртэй бөгөөд тоног төхөөрөмжийн битүүмжлэл болон тогтвортой байдлыг хангадаг.
3. Температур ба даралтын хэлбэлзэлд дасан зохицох: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж нь ашиглалтын явцад температур ба даралтын хэлбэлзэл байнга гардаг. Тусгай резинэн битүүмжлэл нь өндөр ба нам температурт маш сайн тэсвэртэй, мөн маш сайн уян хатан чанар, даралтын эсэргүүцэл шаарддаг. Фтор резинэн битүүмжлэл нь тодорхой температурын хүрээнд маш сайн уян хатан чанар, битүүмжлэлийн шинж чанарыг хадгалж, янз бүрийн боловсруулалтын үе шатуудын температурын хэлбэлзэлд дасан зохицдог. Нөгөөтэйгүүр, перфторэластомер битүүмжлэл нь зөвхөн өндөр температурт тэсвэртэй төдийгүй бага температурт хатуурах эсвэл хэврэг болохоос сэргийлж, найдвартай битүүмжлэлийн гүйцэтгэлийг хадгалж, янз бүрийн нарийн төвөгтэй ажиллагааны нөхцөлд тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангадаг.
4. Хур тунадасны эрсдэлийг хянах: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд лацнаас үүсэх хур тунадасыг хянах нь чухал юм. Фторэластомер болон перфторэластомер зэрэг тусгай резинэн лац нь янз бүрийн нэмэлт бодисын хэрэглээг багасгахын тулд оновчтой найрлага, үйлдвэрлэлийн процессыг ашигладаг бөгөөд ингэснээр үйлдвэрлэлийн процессын явцад жижиг органик молекулууд болон металл ионууд зэрэг хольцын хур тунадасжих магадлалыг бууруулдаг. Эдгээр бага хур тунадасжилтын шинж чанарууд нь лацыг бохирдлын эх үүсвэр болгохгүй байхыг баталгаажуулж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд шаардлагатай хэт цэвэр орчныг хадгалдаг.
III. Тусгай резинэн жийргэвчний гүйцэтгэлийн шаардлага ба сонголтын шалгуур
1. Цэвэрлэгээтэй холбоотой шинж чанарууд: Гадаргуугийн барзгар байдал, хэлбэлзэл, бөөмсийн ялгарал нь битүүмжлэлийн гол үзүүлэлт юм. Гадаргуугийн барзгар чанар багатай битүүмжлэл нь бөөмсийн хуримтлалд бага өртөмтгий байдаг бол хэлбэлзэл багатай нь өндөр температурын орчинд битүүмжлэлээс органик хийн ялгаралтын эрсдлийг бууруулдаг. Битүүмжлэлийг сонгохдоо бага хэлбэлзэл, бөөмсийн ялгаралтыг санал болгодог тусгай гадаргуугийн боловсруулалттай бүтээгдэхүүнийг давуу эрхтэй болгох хэрэгтэй. Жишээлбэл, плазмаар боловсруулсан перфторэластомер битүүмжлэл нь илүү гөлгөр гадаргууг санал болгож, хэлбэлзлийг үр дүнтэй бууруулдаг. Түүнчлэн, битүүмжлэлийн ялгарах шинж чанарт анхаарлаа хандуулж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд хортой ялгаруулалт ялгаруулдаггүй эсэхийг баталгаажуулахын тулд хатуу ялгаруулах туршилтанд хамрагдсан бүтээгдэхүүнийг сонгоорой.
2. Химийн нийцтэй байдал: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх явцад тулгардаг тодорхой химийн урвалжууд дээр үндэслэн тохирох резинэн материалыг сонгоно уу. Фторэластомер ба перфторэластомерын янз бүрийн төрлүүд нь өөр өөр химийн бодисуудад харилцан адилгүй эсэргүүцэлтэй байдаг. Хүчтэй исэлдүүлэгч хүчил агуулсан процессын хувьд өндөр исэлдүүлэгч перфторэластомерын битүүмжлэлийг сонгох шаардлагатай. Ерөнхий органик уусгагч агуулсан процессын хувьд фторэластомерын битүүмжлэл нь илүү зардал багатай сонголт байж болно.
3. Физик шинж чанарууд: Үүнд хатуулаг, уян хатан модуль, шахалтын тохиргоо орно. Дунд зэргийн хатуулагтай битүүмжлэл нь сайн битүүмжлэлийг хангахын зэрэгцээ суурилуулах, салгахад хялбар болгодог. Уян хатан модуль болон шахалтын тохиргоо нь урт хугацааны стрессийн үед битүүмжлэлийн тогтвортой ажиллагааг тусгадаг. Өндөр температур болон өндөр даралтын орчинд урт хугацааны тогтвортой битүүмжлэлийн гүйцэтгэлийг хангахын тулд хамгийн бага шахалтын тохиргоотой битүүмжлэлийг сонгох хэрэгтэй.
IV. Практик хэрэглээний кейс шинжилгээ
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч нэртэй компанийн чип үйлдвэрлэх шугам дээрх сийлбэрийн тоног төхөөрөмжид уламжлалт резинэн битүүмжлэл байнга зэврэлт, хөгшрөлттэй тулгарч байсан. Энэ нь дотоод гоожилт үүсгэж, үйлдвэрлэлийн үр ашигт нөлөөлж, бөөмсийн бохирдлоос болж чипний гарцыг мэдэгдэхүйц бууруулсан. Цаашилбал, уламжлалт битүүмжлэл нь өндөр температурын процессын явцад их хэмжээний органик хольц ялгаруулж, хагас дамжуулагч материалыг бохирдуулж, бүтээгдэхүүний тогтворгүй ажиллагааг бий болгосон. Тэдгээрийг манай компанийн үйлдвэрлэсэн перфторэластомер битүүмжлэлээр сольсны дараа тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын тогтвортой байдал мэдэгдэхүйц сайжирсан. Нэг жилийн турш тасралтгүй үйл ажиллагааны хяналт хийсний дараа битүүмжлэлүүд зэврэлт, хөгшрөлтийн шинж тэмдэг илрээгүй бөгөөд дотор талыг маш цэвэр байлгаж, чипний гарцыг 80%-иас 95%-иас дээш болгон нэмэгдүүлсэн. Үүнийг перфторэластомер битүүмжлэлийн маш сайн химийн эсэргүүцэл, хур тунадас багатай шинж чанар, маш сайн физик шинж чанарын ачаар хийж чадсан бөгөөд энэ нь компанийн хувьд эдийн засгийн хувьд мэдэгдэхүйц ашиг тустай болсон.
Дүгнэлт: Хэт нарийвчлал, цэвэр байдлыг эрхэмлэдэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт тусгай резинэн битүүмжлэл зайлшгүй үүрэг гүйцэтгэдэг. Фторполимер болон перфторэластомер зэрэг тусгай резинэн битүүмжлэл нь тунадасыг хатуу хянах зэрэг дээд зэргийн гүйцэтгэлтэй тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийг найдвартай битүүмжлэх боломжийг олгож, салбарыг технологийн өндөр түвшинд тасралтгүй ахиулахад тусалдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 10-р сарын 17