सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या उच्च-तंत्रज्ञान क्षेत्रात, प्रत्येक पायरीसाठी अपवादात्मक अचूकता आणि स्वच्छता आवश्यक असते. विशेष रबर सील, उत्पादन उपकरणांचे स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करणारे आणि अत्यंत स्वच्छ उत्पादन वातावरण राखणारे महत्त्वाचे घटक असल्याने, सेमीकंडक्टर उत्पादनांच्या उत्पन्नावर आणि कामगिरीवर थेट परिणाम करतात. आज, आपण फ्लोरोरबर आणि परफ्लुरोइलास्टोमर सारखे विशेष रबर सील सेमीकंडक्टर उत्पादनात कशी महत्त्वाची भूमिका बजावतात याचा अभ्यास करू.
I. सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणाच्या कठोर आवश्यकता
सेमीकंडक्टर उत्पादन सामान्यतः स्वच्छ खोल्यांमध्ये केले जाते, जिथे पर्यावरणीय स्वच्छतेची आवश्यकता अत्यंत उच्च असते. दूषित घटकांचे लहान कण देखील चिप शॉर्ट सर्किट किंवा इतर कामगिरी दोष निर्माण करू शकतात. शिवाय, उत्पादन प्रक्रियेमध्ये फोटोरेसिस्ट, एचिंग सोल्यूशन्स आणि क्लिनिंग फ्लुइड्स सारख्या विविध प्रकारच्या अत्यंत संक्षारक रसायनांचा वापर समाविष्ट असतो. शिवाय, काही प्रक्रियेच्या टप्प्यांमध्ये लक्षणीय तापमान आणि दाब चढउतार होतात. उदाहरणार्थ, एचिंग आणि आयन इम्प्लांटेशन प्रक्रिया उपकरणांमध्ये उच्च तापमान आणि दाब निर्माण करतात. शिवाय, सीलमधून येणारे अवक्षेपण अर्धसंवाहक उत्पादनावर गंभीर परिणाम करू शकतात. अवक्षेपणाचे प्रमाण देखील अर्धसंवाहक पदार्थ किंवा प्रक्रियांना दूषित करू शकते, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेची अचूकता बिघडू शकते.
II. विशेष रबर सीलची प्रमुख भूमिका
१. कण दूषित होण्यापासून रोखणे: विशेष रबर सील बाह्य वातावरणातील धूळ, अशुद्धता आणि इतर कणांना उपकरणात प्रवेश करण्यापासून प्रभावीपणे रोखतात, ज्यामुळे स्वच्छ वातावरण राखले जाते. परफ्लुरोइलास्टोमर सीलचे उदाहरण घेतल्यास, त्यांची गुळगुळीत पृष्ठभाग कण शोषण्यास प्रतिकार करते. त्यांची उत्कृष्ट लवचिकता त्यांना उपकरणाच्या घटकांमध्ये घट्ट बसण्यास अनुमती देते, एक विश्वासार्ह सीलिंग अडथळा तयार करते आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया कण दूषित होण्यापासून मुक्त आहे याची खात्री करते.
२. रासायनिक गंज रोखणे: फ्लोरोकार्बन आणि परफ्लुओरोइलास्टोमर सारखे सील सेमीकंडक्टर उत्पादनात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या रासायनिक अभिकर्मकांना उत्कृष्ट प्रतिकार देतात. फ्लोरोकार्बन सील सामान्य आम्लीय आणि अल्कधर्मी द्रावणांना आणि सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्सना प्रतिरोधक असतात, तर परफ्लुओरोइलास्टोमर सील अत्यंत ऑक्सिडायझिंग आणि संक्षारक रासायनिक वातावरणात विशेषतः स्थिर असतात. उदाहरणार्थ, ओल्या एचिंग प्रक्रियेत, परफ्लुओरोइलास्टोमर सील अत्यंत आम्लीय एचिंग द्रावणांशी गंज न होता दीर्घकाळ संपर्क साधू शकतात, ज्यामुळे उपकरणांचे सीलिंग आणि स्थिरता सुनिश्चित होते.
३. तापमान आणि दाब चढउतारांशी जुळवून घेणे: सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांना ऑपरेशन दरम्यान वारंवार तापमान आणि दाब चढउतारांचा सामना करावा लागतो. विशेष रबर सीलना उत्कृष्ट उच्च आणि कमी-तापमान प्रतिकार, तसेच उत्कृष्ट लवचिकता आणि दाब प्रतिरोध आवश्यक असतो. फ्लोरोरबर सील विशिष्ट तापमान श्रेणीत उत्कृष्ट लवचिकता आणि सीलिंग गुणधर्म राखतात, वेगवेगळ्या प्रक्रिया टप्प्यांदरम्यान तापमान चढउतारांशी जुळवून घेतात. दुसरीकडे, परफ्लुरोइलास्टोमर सील केवळ उच्च तापमानालाच तोंड देत नाहीत तर कमी तापमानात कठोर किंवा ठिसूळ होण्यास देखील प्रतिकार करतात, विश्वसनीय सीलिंग कार्यक्षमता राखतात आणि विविध जटिल ऑपरेटिंग परिस्थितीत उपकरणांचे सामान्य ऑपरेशन सुनिश्चित करतात.
४. पर्जन्यमानाचा धोका नियंत्रित करणे: सेमीकंडक्टर उत्पादनात सीलमधून होणारे पर्जन्यमान नियंत्रित करणे अत्यंत महत्त्वाचे आहे. फ्लोरोइलास्टोमर आणि परफ्लुओरोइलास्टोमर सारखे विशेष रबर सील विविध अॅडिटीव्हचा वापर कमी करण्यासाठी ऑप्टिमाइझ्ड फॉर्म्युलेशन आणि उत्पादन प्रक्रिया वापरतात, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान लहान सेंद्रिय रेणू आणि धातू आयन सारख्या अशुद्धतेचा पर्जन्यमान होण्याची शक्यता कमी होते. या कमी पर्जन्यमानाच्या वैशिष्ट्यांमुळे सील दूषित होण्याचे संभाव्य स्रोत बनत नाहीत याची खात्री होते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी आवश्यक असलेले अति-स्वच्छ वातावरण राखले जाते.
III. विशेष रबर सीलसाठी कामगिरी आवश्यकता आणि निवड निकष
१. स्वच्छतेशी संबंधित गुणधर्म: पृष्ठभागाची खडबडीतपणा, अस्थिरता आणि कण सोडणे हे सीलचे प्रमुख निर्देशक आहेत. कमी पृष्ठभागाची खडबडीतता असलेल्या सीलमध्ये कण जमा होण्याची शक्यता कमी असते, तर कमी अस्थिरता उच्च-तापमानाच्या वातावरणात सीलमधून सेंद्रिय वायू उत्सर्जनाचा धोका कमी करते. सील निवडताना, कमी अस्थिरता आणि कण उत्सर्जन देणाऱ्या विशेष पृष्ठभाग उपचारांसह उत्पादनांना प्राधान्य द्या. उदाहरणार्थ, प्लाझ्मा-उपचारित परफ्लुओरोइलास्टोमर सील एक गुळगुळीत पृष्ठभाग देतात आणि प्रभावीपणे अस्थिरता कमी करतात. तसेच, सीलच्या रिलीज गुणधर्मांकडे लक्ष द्या आणि अशा उत्पादनांची निवड करा ज्यांनी सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात हानिकारक उत्सर्जन सोडत नाहीत याची खात्री करण्यासाठी कठोर रिलीज चाचणी घेतली आहे.
२. रासायनिक सुसंगतता: सेमीकंडक्टर उत्पादनादरम्यान आढळणाऱ्या विशिष्ट रासायनिक अभिकर्मकांवर आधारित योग्य रबर मटेरियल निवडा. वेगवेगळ्या प्रकारच्या फ्लोरोइलास्टोमर आणि परफ्लुओरोइलास्टोमरमध्ये वेगवेगळ्या रसायनांना वेगवेगळा प्रतिकार असतो. मजबूत ऑक्सिडायझिंग आम्ल असलेल्या प्रक्रियांसाठी, अत्यंत ऑक्सिडायझिंग परफ्लुओरोइलास्टोमर सील निवडणे आवश्यक आहे. सामान्य सेंद्रिय सॉल्व्हेंट्स असलेल्या प्रक्रियांसाठी, फ्लोरोइलास्टोमर सील अधिक किफायतशीर पर्याय असू शकतात.
३. भौतिक गुणधर्म: यामध्ये कडकपणा, लवचिक मापांक आणि कॉम्प्रेशन सेट यांचा समावेश आहे. मध्यम कडकपणा असलेले सील चांगले सील सुनिश्चित करतात आणि त्याचबरोबर स्थापना आणि काढणे देखील सुलभ करतात. लवचिक मापांक आणि कॉम्प्रेशन सेट दीर्घकालीन ताणाखाली सीलची कार्यक्षमता स्थिरता प्रतिबिंबित करतात. उच्च-तापमान आणि उच्च-दाब वातावरणात, दीर्घकालीन, स्थिर सीलिंग कामगिरी सुनिश्चित करण्यासाठी किमान कॉम्प्रेशन सेट असलेले सील निवडले पाहिजेत.
IV. व्यावहारिक अनुप्रयोग केस विश्लेषण
एका सुप्रसिद्ध सेमीकंडक्टर उत्पादकाला त्यांच्या चिप मॅन्युफॅक्चरिंग लाइनवरील एचिंग उपकरणांमध्ये पारंपारिक रबर सील वारंवार गंजणे आणि वृद्ध होणे जाणवत होते. यामुळे अंतर्गत गळती झाली, ज्यामुळे उत्पादन कार्यक्षमतेवर परिणाम झाला आणि कण दूषित झाल्यामुळे चिप उत्पादनात लक्षणीय घट झाली. शिवाय, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान पारंपारिक सील मोठ्या प्रमाणात सेंद्रिय अशुद्धता सोडत होते, ज्यामुळे अर्धवाहक सामग्री दूषित झाली आणि उत्पादनाची कार्यक्षमता अस्थिर झाली. आमच्या कंपनीने उत्पादित केलेल्या परफ्लुओरोइलास्टोमर सीलने त्यांची जागा घेतल्यानंतर, उपकरणांची ऑपरेशनल स्थिरता लक्षणीयरीत्या सुधारली. सतत ऑपरेशनल देखरेखीच्या एक वर्षानंतर, सीलमध्ये गंज किंवा वृद्धत्वाची कोणतीही चिन्हे दिसली नाहीत, आतील भाग अत्यंत स्वच्छ राखला गेला आणि चिप उत्पादन 80% वरून 95% पेक्षा जास्त वाढले. हे परफ्लुओरोइलास्टोमर सीलच्या उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार, कमी पर्जन्यमान वैशिष्ट्ये आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्मांमुळे साध्य झाले, ज्यामुळे कंपनीला महत्त्वपूर्ण आर्थिक फायदे मिळाले.
निष्कर्ष: अत्यंत अचूकता आणि स्वच्छतेसाठी प्रयत्नशील असलेल्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात, विशेष रबर सील एक अपरिहार्य भूमिका बजावतात. फ्लोरोपॉलिमर आणि परफ्लुरोइलास्टोमर सारखे विशेष रबर सील, त्यांच्या उत्कृष्ट कामगिरीसह, ज्यामध्ये पर्जन्यमानावर कठोर नियंत्रण समाविष्ट आहे, अर्धसंवाहक उत्पादन उपकरणांसाठी विश्वसनीय सीलिंग प्रदान करतात, ज्यामुळे उद्योगाला सतत उच्च तांत्रिक पातळी गाठण्यास मदत होते.
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर-१७-२०२५