ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အထူးရော်ဘာတံဆိပ်များ- သန့်ရှင်းမှုနှင့် တိကျမှုအာမခံချက်

နည်းပညာမြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်တွင် အဆင့်တိုင်းတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ပါသည်။ ထုတ်လုပ်မှုစက်များ၏ တည်ငြိမ်သောလည်ပတ်မှုနှင့် အလွန်သန့်ရှင်းသော ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းပေးသည့် အရေးပါသော အစိတ်အပိုင်းများအဖြစ် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော ရော်ဘာတံဆိပ်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်ကုန်များ၏ အထွက်နှုန်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်အပေါ် တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှုရှိသည်။ ယနေ့တွင်၊ fluororubber နှင့် perfluoroelastomer ကဲ့သို့သော အထူးရော်ဘာတံဆိပ်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေသည်ကို ကျွန်ုပ်တို့ စူးစမ်းလေ့လာပါမည်။

I. Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်၏ တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များ

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းကို ပုံမှန်အားဖြင့် သန့်စင်ခန်းများတွင် ပြုလုပ်လေ့ရှိပြီး ပတ်ဝန်းကျင် သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ချက်များ အလွန်မြင့်မားပါသည်။ သေးငယ်သော ညစ်ညမ်းသည့် အမှုန်အမွှားများပင်လျှင် ချစ်ပ်တိုပတ်လမ်းများ သို့မဟုတ် အခြားသော စွမ်းဆောင်မှု ချို့ယွင်းချက်များကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် photoresists၊ etching solutions နှင့် cleaning fluids ကဲ့သို့သော အလွန်အဆိပ်ပြင်းသော ဓာတုပစ္စည်းများကို အသုံးပြုခြင်း ပါဝင်သည်။ ထို့အပြင်၊ အချို့သော လုပ်ငန်းစဉ်အဆင့်များသည် သိသာထင်ရှားသော အပူချိန်နှင့် ဖိအားအတက်အကျများကို ခံစားရသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ etching နှင့် ion implantation လုပ်ငန်းစဉ်များသည် စက်အတွင်းတွင် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဖိအားများကို ထုတ်ပေးပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ဖျံများမှ မိုးရေများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းအပေါ် ဆိုးရွားစွာ သက်ရောက်မှုရှိနိုင်သည်။ သဲလွန်စ ပမာဏများပင်လျှင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်များကို ညစ်ညမ်းစေပြီး ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျမှုကို နှောင့်ယှက်နိုင်သည်။

II အထူးပြုရော်ဘာဖျံများ၏အဓိကအခန်းကဏ္ဍများ

1. အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းခြင်းမှ ကာကွယ်ခြင်း- အထူးထုတ်လုပ်ထားသော ရော်ဘာတံဆိပ်များသည် ပြင်ပပတ်ဝန်းကျင်မှ ဖုန်မှုန့်များ၊ အညစ်အကြေးများနှင့် အခြားအမှုန်အမွှားများကို စက်ပစ္စည်းအတွင်းသို့ ဝင်ရောက်ခြင်းမှ ထိရောက်စွာ တားဆီးကာ သန့်ရှင်းသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းပေးသည်။ ဥပမာတစ်ခုအနေဖြင့် perfluoroelastomer တံဆိပ်များကိုယူ၍ ၎င်းတို့၏ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်သည် အမှုန်အမွှားစုပ်ယူမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ၎င်းတို့၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော ပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်သည် ၎င်းတို့အား စက်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများနှင့် တင်းကျပ်စွာ အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော အလုံပိတ်အတားအဆီးတစ်ခုအဖြစ် ဖန်တီးပေးပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းခြင်းမှ ကင်းစင်ကြောင်း သေချာစေပါသည်။

2. Chemical Corrosion ကိုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း- ဖလိုရိုကာဗွန်နှင့် perfluoroelastomer ကဲ့သို့သော ဖျံများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးများသော ဓာတုဗေဒပစ္စည်းများကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ Fluorocarbon ဖျံများသည် အက်စစ်ဓာတ်နှင့် အယ်ကာလိုင်းဖြေရှင်းချက်များနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး perfluoroelastomer ဖျံများသည် ဓာတ်တိုးမှုနှင့် အဆိပ်သင့်သောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အထူးတည်ငြိမ်ပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ စိုစွတ်သော etching လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ perfluoroelastomer တံဆိပ်များသည် သံချေးမတက်ဘဲ အလွန်အက်ဆစ်ဓာတ်ရှိသော etching solutions များနှင့် ကြာရှည်စွာ ထိတွေ့မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ပစ္စည်းများ၏ တံဆိပ်ခတ်မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။

3. အပူချိန်နှင့် ဖိအားအတက်အကျများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင်ဆောင်ရွက်ခြင်း- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများသည် လုပ်ငန်းလည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း မကြာခဏ အပူချိန်နှင့် ဖိအားအတက်အကျများကို တွေ့ကြုံခံစားရသည်။ အထူးထုတ်လုပ်ထားသော ရော်ဘာဖျံများသည် အပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့် နိမ့်ပါးသော ခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သည့်အပြင် အလွန်ကောင်းမွန်သော elasticity နှင့် ဖိအားခံနိုင်ရည်တို့ လိုအပ်ပါသည်။ Fluororubber တံဆိပ်များသည် ကွဲပြားခြားနားသော လုပ်ဆောင်မှုအဆင့်များအတွင်း အပူချိန်အတက်အကျများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် သတ်မှတ်ထားသော အပူချိန်အကွာအဝေးအတွင်း အလွန်ကောင်းမွန်သော elasticity နှင့် တံဆိပ်ခတ်ခြင်းဂုဏ်သတ္တိများကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ အခြားတစ်ဖက်တွင်၊ Perfluoroelastomer တံဆိပ်များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိရုံသာမက အပူချိန်နိမ့်ပိုင်းတွင် မာကျောခြင်း သို့မဟုတ် ကြွပ်ဆတ်ခြင်းကိုလည်း ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော တံဆိပ်ခတ်ခြင်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းကာ ရှုပ်ထွေးသောလည်ပတ်မှုအခြေအနေများအောက်တွင် စက်ကိရိယာများ၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုကို အာမခံပါသည်။

4. မိုးရွာသွန်းမှုအန္တရာယ်ကို ထိန်းချုပ်ခြင်း- တံဆိပ်ခတ်များမှ မိုးရွာသွန်းမှုကို ထိန်းချုပ်ခြင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အရေးကြီးပါသည်။ fluoroelastomer နှင့် perfluoroelastomer ကဲ့သို့သော အထူးပြုလုပ်ထားသော ရော်ဘာဖျံများသည် အမျိုးမျိုးသော ပေါင်းထည့်အသုံးပြုမှုကို လျှော့ချရန် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ထားသော ဖော်မြူလာများနှင့် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို အသုံးချကာ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း သေးငယ်သော အော်ဂဲနစ်မော်လီကျူးများနှင့် သတ္တုအိုင်းယွန်းများကဲ့သို့သော အညစ်အကြေးများ မိုးရွာနိုင်ခြေကို လျှော့ချပေးသည်။ ဤမိုးရွာသွန်းမှုနည်းသောလက္ခဏာများသည် ဖျံများကိုညစ်ညမ်းစေမည့်အလားအလာအရင်းအမြစ်ဖြစ်လာစေရန်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက်လိုအပ်သောအလွန်သန့်ရှင်းသောပတ်ဝန်းကျင်ကိုထိန်းသိမ်းထားရန်သေချာစေသည်။

III အထူးပြုရော်ဘာဖျံများအတွက် စွမ်းဆောင်ရည်လိုအပ်ချက်များနှင့် ရွေးချယ်မှုစံနှုန်းများ

1. သန့်ရှင်းမှုနှင့် ပတ်သက်သော ဂုဏ်သတ္တိများ- မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှု၊ မတည်ငြိမ်မှု၊ နှင့် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လွှတ်မှုသည် ဖျံများ၏ အဓိက ညွှန်ပြချက်များ ဖြစ်သည်။ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုနည်းသော ဖျံများသည် အမှုန်အမွှားများစုပုံနိုင်ခြေနည်းသော်လည်း မတည်ငြိမ်မှုနည်းခြင်းသည် အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်ရှိ ဖျံများမှ အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှုအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေသည်။ ဖျံများကိုရွေးချယ်သည့်အခါတွင် မတည်ငြိမ်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားထုတ်လွှတ်မှုနည်းသော အထူးမျက်နှာပြင်ကုသမှုများဖြင့် ထုတ်ကုန်များကို ဦးစားပေးရွေးချယ်ပါ။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ပလာစမာ-ကုသသော perfluoroelastomer တံဆိပ်များသည် ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်ကို ပေးစွမ်းပြီး မတည်ငြိမ်မှုကို ထိထိရောက်ရောက် လျှော့ချပေးသည်။ ထို့အပြင်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အန္တရာယ်ရှိသော ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှုမရှိကြောင်း သေချာစေရန် တံဆိပ်၏ထုတ်လွှတ်မှုဂုဏ်သတ္တိများကို ဂရုပြုပြီး ပြင်းထန်စွာထုတ်လွှတ်စမ်းသပ်ထားသော ထုတ်ကုန်များကို ရွေးချယ်ပါ။

2. ဓာတုသဟဇာတဖြစ်မှု- ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်နေစဉ်အတွင်း ကြုံတွေ့ရသည့် ဓာတုဗေဒပစ္စည်းများအပေါ် အခြေခံ၍ သင့်လျော်သောရော်ဘာပစ္စည်းကို ရွေးချယ်ပါ။ ကွဲပြားသော ဖလူရိုရိုလေစတိုမာနှင့် ပါဖလိုရိုအိုလက်စ်တိုမာ အမျိုးအစားများသည် မတူညီသော ဓာတုပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်အမျိုးမျိုးရှိသည်။ ပြင်းထန်သောဓာတ်တိုးအက်ဆစ်များပါ ၀ င်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်၊ အလွန်အမင်းဓာတ်တိုးစေသော perfluoroelastomer ဖျံများကိုရွေးချယ်ရပါမည်။ ယေဘူယျ အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များပါ၀င်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် fluoroelastomer တံဆိပ်များသည် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ရွေးချယ်မှုတစ်ခု ဖြစ်နိုင်သည်။

3. ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ- ၎င်းတို့တွင် မာကျောမှု၊ elastic modulus နှင့် compression set တို့ပါဝင်သည်။ တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေပြီး အလယ်အလတ် မာကျောမှုရှိသော ဖျံများသည် ကောင်းမွန်သော တံဆိပ်တစ်ခုဖြစ်ကြောင်း သေချာစေသည်။ Elastic modulus နှင့် compression set သည် ရေရှည်ဖိစီးမှုအောက်တွင် တံဆိပ်တစ်ခု၏ စွမ်းဆောင်ရည်တည်ငြိမ်မှုကို ရောင်ပြန်ဟပ်သည်။ အပူချိန်မြင့်သော နှင့် ဖိအားမြင့်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင်၊ ရေရှည်၊ တည်ငြိမ်သော တံဆိပ်ခတ်ခြင်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန်အတွက် အနည်းဆုံး ဖိသိပ်မှုသတ်မှတ်ထားသော ဖျံများကို ရွေးချယ်သင့်သည်။

IV လက်တွေ့အသုံးချဖြစ်ရပ်မှန်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း။

လူသိများသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူသည် ၎င်း၏ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးလိုင်းရှိ etching စက်ပစ္စည်းများတွင် သမားရိုးကျရော်ဘာဖျံများ မကြာခဏ ချေးချွတ်ခြင်းနှင့် အိုမင်းခြင်းတို့ကို ကြုံတွေ့နေရသည်။ ယင်းကြောင့် အတွင်းပိုင်း ယိုစိမ့်မှု၊ ထုတ်လုပ်မှု ထိရောက်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကြောင့် ချစ်ပ်အထွက်နှုန်း သိသိသာသာ လျော့ကျစေခဲ့သည်။ ထို့အပြင်၊ သမရိုးကျဖျံများသည် အပူချိန်မြင့်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အော်ဂဲနစ်အညစ်အကြေးအများအပြားကို ထုတ်လွှတ်ကာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကို ညစ်ညမ်းစေပြီး ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည် မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေသည်။ ၎င်းတို့ကို ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီမှထုတ်လုပ်သော perfluoroelastomer ဖျံများဖြင့် အစားထိုးပြီးနောက်၊ စက်ပစ္စည်းများ၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုတည်ငြိမ်မှုမှာ သိသိသာသာ တိုးတက်ကောင်းမွန်လာပါသည်။ စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်မှုကို တစ်နှစ်ကြာစောင့်ကြည့်ပြီးနောက်၊ ဖျံများသည် သံချေးတက်ခြင်း သို့မဟုတ် အိုမင်းခြင်းလက္ခဏာမပြဘဲ အလွန်သန့်ရှင်းသောအတွင်းပိုင်းကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး ချစ်ပ်အထွက်နှုန်းကို 80% မှ 95% ကျော်အထိ တိုးမြင့်စေသည်။ perfluoroelastomer seals ၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုခံနိုင်ရည်၊ မိုးရွာသွန်းမှု နည်းပါးသော လက္ခဏာများနှင့် ကောင်းမွန်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ကုမ္ပဏီအတွက် သိသာထင်ရှားသော စီးပွားရေး အကျိုးကျေးဇူးများ ရရှိစေသောကြောင့် ၎င်းကို ရရှိခဲ့ပါသည်။

နိဂုံး- အလွန်တိကျမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုအတွက် ကြိုးပမ်းသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သည့်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင်၊ အထူးပြုရော်ဘာတံဆိပ်များသည် မရှိမဖြစ်အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ fluoropolymer နှင့် perfluoroelastomer ကဲ့သို့သော အထူးထုတ်လုပ်ထားသော ရော်ဘာတံဆိပ်များသည် မိုးရွာသွန်းမှုအပေါ် တင်းကျပ်စွာထိန်းချုပ်မှုအပါအဝင် ၎င်းတို့၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ဖြင့်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောတံဆိပ်ခတ်ခြင်းကို ပေးစွမ်းပြီး စက်မှုလုပ်ငန်းကို ပိုမိုမြင့်မားသောနည်းပညာအဆင့်သို့ စဉ်ဆက်မပြတ်တိုးတက်စေရန် ကူညီပေးသည်။