Ondarymgeçiriji önümçiliginiň ýokary tehnologiýaly pudagynda her ädim aýratyn takyklygy we arassalygy talap edýär. Rezin möhürler, önümçilik enjamlarynyň durnukly işlemegini üpjün edýän we ýokary arassa önümçilik gurşawyny üpjün edýän möhüm bölekler hökmünde ýarymgeçiriji önümleriň öndürijiligine we öndürijiligine gönüden-göni täsir edýär. Bu gün, florororubber we perfluoroelastomer ýaly ýörite rezin möhürleriň ýarymgeçiriji önümçiliginde nähili möhüm rol oýnaýandygyny öwreneris.
I. icarymgeçiriji önümçilik gurşawynyň berk talaplary
Ondarymgeçiriji önümçiligi, adatça daşky gurşawyň arassalygy talaplary gaty ýokary bolan arassa otaglarda geçirilýär. Hapalaýjy maddalaryň kiçijik bölejikleri hem gysga gysga zynjyrlara ýa-da beýleki öndürijilik kemçiliklerine sebäp bolup biler. Mundan başga-da, önümçilik prosesi fotorezistler, eritmeler we suwuklyklary arassalamak ýaly dürli ýokary poslaýjy himiki serişdeleri ulanmagy öz içine alýar. Mundan başga-da, käbir proses ädimlerinde ep-esli temperatura we basyş üýtgemeleri bolýar. Mysal üçin, efirlemek we ion implantasiýa prosesleri enjamyň içinde ýokary temperatura we basyş döredýär. Mundan başga-da, möhürlerden çökündiler ýarymgeçirijiniň önümçiligine çynlakaý täsir edip biler. Hatda köp mukdarda çökündiler ýarymgeçiriji materiallary ýa-da prosesleri hapalap, önümçilik prosesiniň takyklygyny bozup biler.
II. Kauçuk möhürleriň esasy rollary
1. Bölejikleriň hapalanmagynyň öňüni almak: Kauçuk möhürler, daşky gurşawdaky tozanlary, hapalary we beýleki bölejikleri arassa gurşawy saklap, enjamlara girmeginiň öňüni alýar. Mysal hökmünde perfluoroelastomer möhürlerini alsak, olaryň tekiz ýüzü bölejikleriň siňmegine garşy durýar. Olaryň ajaýyp çeýeligi, ygtybarly möhürleýiş päsgelçiligini emele getirip, ýarymgeçirijini öndürmek prosesiniň bölejikleriň hapalanmazlygyny üpjün edip, enjam böleklerine berk laýyk gelmäge mümkinçilik berýär.
2. Himiki poslama garşy durmak: Ftorokarbon we perfluoroelastomer ýaly möhürler ýarymgeçiriji önümçiliginde köplenç ulanylýan himiki reagentlere ajaýyp garşylyk görkezýär. Florokarbon möhürleri umumy kislotaly we gidroksidi erginlere we organiki erginlere çydamly, perfluoroelastomer möhürleri ýokary okislenýän we poslaýjy himiki şertlerde aýratyn durnuklydyr. Mysal üçin, çygly arassalama proseslerinde perfluoroelastomer möhürleri, ýokary kislotaly eriş erginleri bilen poslamaýan uzak wagtlap aragatnaşyga çydap, enjamyň möhürlenmegini we durnuklylygyny üpjün edip biler.
3. Temperatura we basyş üýtgemelerine uýgunlaşmak: icarymgeçiriji önümçilik enjamlary iş wagtynda ýygy-ýygydan temperatura we basyş üýtgemelerini başdan geçirýär. Rezin möhürler ýokary we pes temperatura garşylygy, şeýle hem ajaýyp çeýeligi we basyşa garşylygy talap edýär. Fluororubber möhürleri, dürli gaýtadan işleýiş döwründe temperaturanyň üýtgemegine uýgunlaşyp, belli bir temperatura aralygynda ajaýyp çeýeligi we möhürleýiş aýratynlyklaryny saklaýar. Beýleki tarapdan, “Perfluoroelastomer” möhürleri diňe bir ýokary temperatura çydamly bolman, eýsem pes temperaturada gaty ýa-da döwülmegine garşy durýar, ygtybarly möhürleýiş işini saklaýar we dürli çylşyrymly iş şertlerinde enjamlaryň kadaly işlemegini üpjün edýär.
4. Ygalyň töwekgelçiligine gözegçilik etmek: icarymgeçiriji önümçiliginde möhürlerden ýagýan ýagyşlara gözegçilik etmek möhümdir. Floroelastomer we perfluoroelastomer ýaly ýörite rezin möhürler, dürli goşundylaryň ulanylmagyny azaltmak üçin optimallaşdyrylan formulalary we önümçilik proseslerini ulanýar, şeýlelik bilen önümçilik döwründe ownuk organiki molekulalar we metal ionlary ýaly hapalaryň ýagmagy ähtimallygyny azaldýar. Bu pes ýagyş aýratynlyklary, ýarymgeçiriji öndürmek üçin zerur bolan aşa arassa gurşawy saklap, möhürleriň hapalanma çeşmesine öwrülmezligini üpjün edýär.
III. Rezin möhürler üçin öndürijilik talaplary we saýlama ölçegleri
1. Arassaçylyk bilen baglanyşykly häsiýetler: faceerüsti çişlik, üýtgewsizlik we bölejikleriň çykmagy möhürleriň esasy görkezijileridir. Surfaceerüsti çişligi pes bolan möhürler bölejikleriň ýygnanmagyna az ýykgyn edýär, pes üýtgäp durmak bolsa ýokary temperaturaly şertlerde möhürlerden organiki gaz çykarmak howpuny peseldýär. Möhürleri saýlanyňyzda pes üýtgewsizligi we bölejikleriň zyňyndylaryny hödürleýän ýörite ýerüsti bejergileri bolan önümleri ileri tutuň. Mysal üçin, plazma bilen bejerilen perfluoroelastomer möhürleri has ýumşak ýer hödürleýär we üýtgewsizligi peseldýär. Mundan başga-da, möhüriň goýberiliş aýratynlyklaryna üns beriň we ýarymgeçiriji önümçilik şertlerinde zyýanly zyňyndylary çykarmazlygy üçin berk goýberiş synagyndan geçen önümleri saýlaň.
2. Himiki utgaşyklyk: icarymgeçiriji önümçiliginde ýüze çykan belli himiki reagentlere esaslanyp, rezin materialy saýlaň. Dürli floroelastomer we perfluoroelastomer dürli himiki maddalara dürli garşylyk görkezýär. Güýçli oksidleýji kislotalar bilen baglanyşykly amallar üçin ýokary oksidleýji perfluoroelastomer möhürleri saýlanmalydyr. Umumy organiki erginleri öz içine alýan amallar üçin floroelastomer möhürleri has tygşytly wariant bolup biler.
3. Fiziki aýratynlyklary: Bularyň arasynda gatylyk, elastik modul we gysyş toplumy bar. Orta gatylygy bolan möhürler gowy möhüri üpjün edýär, şol bir wagtyň özünde gurnamagy we aýyrmagy aňsatlaşdyrýar. Elastik modul we gysyş toplumy uzak möhletli stresde möhüriň öndürijilik durnuklylygyny görkezýär. Temperatureokary temperaturaly we ýokary basyşly şertlerde uzak möhletli, durnukly möhürleme işini üpjün etmek üçin minimal gysyş toplumy bolan möhürler saýlanmalydyr.
IV. Amaly amaly derňew
Meşhur ýarymgeçiriji öndüriji, çip öndürýän liniýadaky enjamlarda adaty rezin möhürleriň ýygy-ýygydan poslamagyny we garramagyny başdan geçirýärdi. Bu içerki syzyşlara, önümçiligiň netijeliligine täsir edip, bölejikleriň hapalanmagy sebäpli çip öndürijiligini ep-esli azaltdy. Mundan başga-da, adaty möhürler ýarymgeçiriji materialy hapalap, önümiň durnuksyz işlemegine sebäp bolup, ýokary temperatura prosesinde köp mukdarda organiki hapalary çykardy. Olary kompaniýamyz tarapyndan öndürilen perfluoroelastomer möhürleri bilen çalşandan soň, enjamyň işleýiş durnuklylygy ep-esli gowulaşdy. Bir ýyllap üznüksiz iş gözegçiliginden soň, möhürler poslama ýa-da garrama alamatlaryny görkezmedi, ýokary arassa içerki hyzmaty saklady we çip öndürijiligini 80% -den 95% -e çenli ýokarlandyrdy. Bu, “perfluoroelastomer” möhürleriniň ajaýyp himiki garşylygy, ygalyň pesligi we ajaýyp fiziki häsiýetleri netijesinde gazanyldy, bu bolsa kompaniýa üçin möhüm ykdysady peýdalary döretdi.
Netije: Örän takyklyga we arassaçylyga çalyşýan ýarymgeçiriji önümçilik pudagynda ýörite rezin möhürler aýrylmaz rol oýnaýar. Ftoropolimer we perfluoroelastomer ýaly ýörite rezin möhürler, ýagyşlara berk gözegçilik etmek ýaly ýokary öndürijiligi bilen ýarymgeçiriji önümçilik enjamlary üçin ygtybarly möhürlenmegi üpjün edýär, bu pudaga yzygiderli ýokary tehnologiki derejelere ýetmäge kömek edýär.
Iş wagty: 17-2025-nji oktýabr