Ýarymgeçirijiler önümçiliginiň ýokary tehnologiýaly ulgamynda her bir ädim aýratyn takyklygy we arassalygy talap edýär. Öndüriş enjamlarynyň durnukly işlemegini üpjün edýän we önümçilik gurşawyny ýokary derejede arassa saklaýan möhüm bölekler hökmünde ýörite rezin möhürler ýarymgeçiriji önümleriniň öndürijiligine we işine gönüden-göni täsir edýär. Şu gün biz ftorkauçuk we perftorelastomer ýaly ýörite rezin möhürleriň ýarymgeçirijiler önümçiliginde nähili möhüm rol oýnaýandygyny öwreneris.
I. Ýarymgeçirijiler önümçilik gurşawynyň berk talaplary
Ýarymgeçirijileriň önümçiligi, adatça, daşky gurşawyň arassalygy talaplarynyň örän ýokary bolan arassa otaglarda geçirilýär. Hapa maddalaryň kiçijik bölejikleri hem çipleriň gysga zynjyrlaryna ýa-da beýleki işleýiş kemçiliklerine sebäp bolup biler. Mundan başga-da, önümçilik prosesi fotorezistler, aşyndyryjy erginler we arassalaýjy suwuklyklar ýaly dürli ýokary derejede aşyndyryjy himiki maddalaryň ulanylmagyny öz içine alýar. Mundan başga-da, käbir proses tapgyrlarynda temperatura we basyşyň ep-esli üýtgemeleri bolýar. Mysal üçin, aşyndyryjy we ion implantasiýa prosesleri enjamyň içinde ýokary temperatura we basyş döredýär. Mundan başga-da, möhürlerden çökündi ýarymgeçirijileriň önümçiligine çynlakaý täsir edip biler. Çökündileriň az mukdary hem ýarymgeçiriji materiallary ýa-da prosesleri hapalap, önümçilik prosesiniň takyklygyna päsgel berip biler.
II. Ýöriteleşdirilen rezin möhürleriň esasy rollary
1. Bölejikleriň hapalanmagynyň öňüni almak: Ýöriteleşdirilen rezin möhürler daşky gurşawdan tozanyň, hapaçylyklaryň we beýleki bölejikleriň enjama girmeginiň öňüni netijeli alyp, arassa gurşawy saklaýar. Mysal üçin, perfluoroelastomer möhürlerini alsak, olaryň tekiz ýüzi bölejikleriň siňmegine garşy durýar. Olaryň ajaýyp çeýeligi enjam böleklerine berk oturmaga mümkinçilik berýär, ygtybarly möhürleýji päsgelçilik döredýär we ýarymgeçiriji önümçilik prosesiniň bölejikleriň hapalanmagyndan azat bolmagyny üpjün edýär.
2. Himiki korroziýa garşy durmak: Ftoruglerod we perftorelastomer ýaly möhürler ýarymgeçiriji önümçilikde giňden ulanylýan himiki reagentlere ajaýyp garşylyk görkezýär. Ftoruglerod möhürleri umumy kislotaly we şel erginlerine we organiki erginlere garşy durnuklydyr, perftorelastomer möhürleri bolsa ýokary derejede oksidleýji we korrozlaýjy himiki gurşawlarda has durnuklydyr. Mysal üçin, çygly aşyndyryş proseslerinde perftorelastomer möhürleri ýokary derejede kislotaly aşyndyryş erginleri bilen uzak wagtlap aragatnaşykda korroziýa bolmazdan çydap bilýär, bu bolsa enjamyň möhürlenmegini we durnuklylygyny üpjün edýär.
3. Temperatura we basyş üýtgemelerine uýgunlaşmak: Ýarymgeçiriji önümçilik enjamlary iş wagtynda ýygy-ýygydan temperatura we basyş üýtgemelerine sezewar bolýar. Ýöriteleşdirilen rezin möhürler ajaýyp ýokary we pes temperatura garşylygyny, şeýle hem ajaýyp elastikligi we basyş garşylygyny talap edýär. Ftorrezin möhürler belli bir temperatura aralygynda ajaýyp elastikligi we möhürleme häsiýetlerini saklap, dürli gaýtadan işlemek tapgyrlarynda temperatura üýtgemelerine uýgunlaşýar. Perftorelastomer möhürler bolsa diňe bir ýokary temperatura çydap durman, eýsem pes temperaturada gaty ýa-da döwülmäge hem garşy durýar, ygtybarly möhürleme işini saklaýar we dürli çylşyrymly iş şertlerinde enjamlaryň kadaly işlemegini üpjün edýär.
4. Ýagyş howpuny gözegçilikde saklamak: Ýarymgeçirijiler önümçiliginde möhürlerden ýagyşyň öňüni almak örän möhümdir. Ftorelastomer we perftorelastomer ýaly ýöriteleşdirilen rezin möhürler dürli goşundylar ulanylyşyny azaltmak üçin optimizirlenen formulalary we önümçilik proseslerini ulanýar, şeýdip önümçilik prosesinde kiçi organiki molekulalar we metal ionlary ýaly garyndylaryň ýagyşa düşmeginiň ähtimallygyny azaldýar. Bu pes ýagyş häsiýetleri möhürleriň hapalanmagyň mümkin bolan çeşmesine öwrülmezligini üpjün edýär we ýarymgeçirijiler önümçiligi üçin zerur bolan örän arassa gurşawy saklaýar.
III. Ýöriteleşdirilen rezin möhürler üçin iş görkezijileri we saýlama şertleri
1. Arassaçylyk bilen baglanyşykly häsiýetler: Ýüziň büdür-büdürligi, üýtgeýänligi we bölejikleriň bölünip çykmagy möhürleriň esasy görkezijileridir. Ýüziň büdür-büdürligi pes bolan möhürler bölejikleriň toplanmagyna has az meýilli bolýar, pes üýtgeýänligi bolsa ýokary temperatura gurşawynda möhürlerden organiki gazlaryň çykarylmagynyň töwekgelçiligini azaldýar. Möhürleri saýlanyňyzda, pes üýtgeýänligi we bölejikleriň çykarylmagyny üpjün edýän ýörite ýüz bejergisi bolan önümlere ileri tutuň. Mysal üçin, plazma bilen işlenen perfluorelastomer möhürleri has tekiz ýüz hödürleýär we üýtgeýänligi netijeli azaldýar. Şeýle hem, möhüriň bölünip çykmagynyň häsiýetlerine üns beriň we ýarymgeçiriji önümçilik gurşawynda zyýanly zyňyndylar çykarmaýandygyny üpjün etmek üçin berk bölünip çykmagy synagyndan geçen önümleri saýlaň.
2. Himiki utgaşyklylyk: Ýarymgeçirijileri öndürmekde duş gelýän anyk himiki reagentlere esaslanyp, degişli rezin materialyny saýlaň. Ftorelastomeriň we perftorelastomeriň dürli görnüşleri dürli himiki maddalara dürli garşylyk görkezýär. Güýçli oksidleýji kislotalary öz içine alýan prosesler üçin ýokary derejede oksidleýji perftorelastomer möhürleri saýlanmalydyr. Umumy organiki erginleri öz içine alýan prosesler üçin ftorelastomer möhürleri has tygşytly wariant bolup biler.
3. Fiziki häsiýetler: Bulara gatylyk, elastiklik moduly we basyş ulgamy girýär. Ortaça gatylykdaky möhürler gowy möhürlenmegi üpjün edýär, şeýle hem gurnamagy we aýyrmagy ýeňilleşdirýär. Elastik modul we basyş ulgamy möhüriň uzak möhletli stres astyndaky iş durnuklylygyny görkezýär. Ýokary temperatura we ýokary basyşly gurşawlarda uzak möhletli, durnukly möhürleniş işini üpjün etmek üçin minimal basyş ulgamy bolan möhürler saýlanmalydyr.
IV. Amaly ulanylyş mysalynyň seljermesi
Meşhur ýarymgeçiriji önüm öndürijisi çip öndürýän liniýasyndaky aşyndyryjy enjamlarda adaty rezin möhürleriň ýygy-ýygydan poslamagyna we könelmegine sebäp bolýardy. Bu bolsa içerki syzmalara sebäp bolup, önümçiligiň netijeliligine täsir edýärdi we bölejikleriň hapalanmagy sebäpli çipleriň önümçiligini ep-esli azaldýardy. Mundan başga-da, adaty möhürler ýokary temperatura prosesinde köp mukdarda organiki garyndylary çykardy, ýarymgeçiriji materialy hapalady we önümiň durnuksyz işlemegine sebäp boldy. Olary kompaniýamyz tarapyndan öndürilen perfluoroelastomer möhürleri bilen çalşyrandan soň, enjamyň işleýiş durnuklylygy ep-esli gowulaşdy. Bir ýyllap dowamly işleýiş gözegçiliginden soň, möhürlerde poslama ýa-da könelme alamatlary bolmady, içki bölegi örän arassa saklandy we çipleriň önümçiligini 80% -den 95% -den gowrak ýokarlandyrdy. Bu perfluoroelastomer möhürleriniň ajaýyp himiki garşylygy, pes çökündi häsiýetleri we ajaýyp fiziki häsiýetleri sebäpli gazanyldy, bu bolsa kompaniýa üçin uly ykdysady peýda getirdi.
Netije: Iň ýokary takyklyga we arassalyga ymtylýan ýarymgeçiriji önümçilik senagatynda ýöriteleşdirilen rezin möhürler aýrylmaz rol oýnaýar. Ftorpolimer we perftorelastomer ýaly ýöriteleşdirilen rezin möhürler, ýagyş çökündileriniň berk gözegçiligini öz içine alýan ýokary öndürijilikliligi bilen, ýarymgeçiriji önümçilik enjamlary üçin ygtybarly möhürleme üpjün edýär we pudagyň ýokary tehnologik derejelere yzygiderli öňe gitmegine kömek edýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 17-nji oktýabry