Ярымүткәргеч җитештерүнең югары технологияле өлкәсендә һәр адым гаҗәеп төгәллек һәм чисталык таләп итә. Резина мөһерләр, җитештерү җиһазларының тотрыклы эшләвен тәэмин итүче һәм югары чиста җитештерү мохитен саклаучы критик компонентлар буларак, ярымүткәргеч продуктларның уңышына һәм эшенә турыдан-туры йогынты ясыйлар. Бүген без ярымүткәргеч җитештерүдә флюоруббер һәм парфлюороэластомер кебек каучук мөһерләрнең ничек мөһим роль уйнавын тикшерербез.
I. Ярымүткәргеч җитештерү мохитенең төп таләпләре
Ярымүткәргеч җитештерү гадәттә чистарту бүлмәләрендә үткәрелә, анда экологик чисталык таләпләре бик югары. Хәтта пычраткыч матдәләрнең кечкенә кисәкчәләре дә чип кыска схемаларына яки башка эш җитешсезлекләренә китерергә мөмкин. Моннан тыш, җитештерү процессы төрле коррозицион химик матдәләр куллануны үз эченә ала, мәсәлән, фоторесистлар, эремчек эремәләре, сыеклыкларны чистарту. Моннан тыш, кайбер процесс адымнары зур температура һәм басым үзгәрүләрен кичерәләр. Мәсәлән, эфирлау һәм ион имплантациясе процесслары җиһаз эчендә югары температура һәм басым ясыйлар. Моннан тыш, мөһерләрдән явым-төшем ярымүткәргеч җитештерүгә җитди йогынты ясарга мөмкин. Хәтта күпчелек күләмдә явым-төшем ярымүткәргеч материалларны яки процессларны пычратырга мөмкин, җитештерү процессының төгәллеген боза.
II. Резина мөһерләрнең төп рольләре
1. Мисал итеп парфлюороэластомер мөһерләрен алсак, аларның шома өслеге кисәкчәләрнең үзләштерүенә каршы тора. Аларның искиткеч сыгылмасы җиһаз компонентларына тыгыз туры килергә мөмкинлек бирә, ышанычлы мөһер киртәсен формалаштыра һәм ярымүткәргеч җитештерү процессының кисәкчәләр пычрануыннан азат булуын тәэмин итә.
2. Химик коррозиягә каршы тору: флюорокарбон һәм парфлюороэластомер кебек мөһерләр ярымүткәргеч җитештерүдә еш кулланыла торган химик реагентларга искиткеч каршылык күрсәтәләр. Флюорокарбон мөһерләре гомуми кислоталы һәм эшкәртү эремәләренә һәм органик эреткечләргә чыдам, ә перфлюороэластомер мөһерләре югары оксидлаштыручы һәм коррозив химик мохиттә аеруча тотрыклы. Мәсәлән, дымлы эфир процессларында парфлюороэластомер мөһерләре коррозиясез югары кислоталы эфир эремәләре белән озак контактка каршы тора ала, җиһазның мөһерләнүен һәм тотрыклылыгын тәэмин итә.
3. Температура һәм басым үзгәрүләренә яраклашу: Ярымүткәргеч җитештерү җиһазлары эш вакытында еш температура һәм басым үзгәрүләрен кичерәләр. Махсус резин мөһерләр югары һәм түбән температурага каршы торуны, шулай ук искиткеч эластиклыкны һәм басымга каршы торуны таләп итәләр. Флюороруббер мөһерләре төрле эшкәртү этапларында температураның үзгәрүенә яраклашып, билгеле температура диапазонында искиткеч эластиклыкны һәм мөһерләү үзлекләрен саклыйлар. Perfluoroelastomer мөһерләре, югары температураларга каршы тормыйча, түбән температурада каты яки ватык булырга каршы торалар, ышанычлы мөһер җитештерүчәнлеген саклыйлар һәм төрле катлаулы эш шартларында җиһазларның нормаль эшләвен тәэмин итәләр.
4. Яңгыр яву куркынычын контрольдә тоту: Ярымүткәргеч җитештерүдә мөһерләрдән явым-төшемнәрне контрольдә тоту бик мөһим. Флюореластомер һәм парфлюороэластомер кебек махсус резин мөһерләр оптимальләштерелгән формуляцияләрне һәм производство процессларын кулланалар, төрле кушылмалар куллануны минимальләштерәләр, шуның белән җитештерү процессында кечкенә органик молекулалар һәм металл ионнары кебек пычракларның явым-төшем мөмкинлеген киметәләр. Бу түбән явым-төшем характеристикалары мөһерләрнең ярымүткәргеч җитештерү өчен кирәк булган ультра чиста мохитне саклап, потенциаль пычрату чыганагына әйләнмәвен тәэмин итә.
III. Резина мөһерләр өчен спектакль таләпләре һәм сайлау критерийлары
1. Чисталык белән бәйле үзенчәлекләр: өслекнең тупаслыгы, үзгәрүчәнлеге һәм кисәкчәләрнең чыгарылуы - мөһерләрнең төп күрсәткечләре. Түбән өслек тупаслыгы булган мөһерләр кисәкчәләр туплануга азрак ия, ә түбән үзгәрүчәнлек югары температуралы шартларда мөһерләрдән органик газ чыгару куркынычын киметә. Мөһерләрне сайлаганда, түбән үзгәрүчәнлек һәм кисәкчәләр чыгаруны тәкъдим итүче махсус өслек эшкәртмәләре булган продуктларга өстенлек бирегез. Мәсәлән, плазма белән эшкәртелгән перфлороэластомер мөһерләре йомшак өслек тәкъдим итә һәм үзгәрүчәнлекне эффектив киметә. Шулай ук, мөһернең чыгару үзенчәлекләренә игътибар итегез һәм ярымүткәргеч җитештерү шартларында зарарлы чыгарулар чыгармасын өчен, каты чыгарылыш сынаулары үткән продуктларны сайлагыз.
2. Химик яраклашу: Ярымүткәргеч җитештерү вакытында очрый торган махсус химик реагентларга нигезләнеп тиешле каучук материалны сайлагыз. Төрле флюореластомер һәм парфлюороэластомер төрле химик матдәләргә каршы торалар. Көчле оксидлаштыручы кислоталар белән бәйле процесслар өчен югары оксидлаштыручы парфлюороэластомер мөһерләре сайланырга тиеш. Гомуми органик эреткечләр катнашындагы процесслар өчен флюореластомер мөһерләре кыйммәтрәк вариант булырга мөмкин.
3. Физик үзлекләр: Аларга катылык, эластик модуль, кысу җыелмасы керә. Урта каты каты мөһерләр яхшы мөһерне тәэмин итәләр, шул ук вакытта монтажны һәм чыгаруны җиңеләйтәләр. Эластик модуль һәм кысу җыелмасы озак вакытлы стресс астында мөһернең эш тотрыклылыгын күрсәтә. Highгары температурада һәм югары басымлы шартларда минималь кысу комплекты булган мөһерләр озак вакытлы, тотрыклы мөһер эшләвен тәэмин итү өчен сайланырга тиеш.
IV. Практик куллану очракларына анализ
Танылган ярымүткәргеч җитештерүче чип җитештерү линиясендә эфир җиһазларында гадәти каучук мөһерләренең еш коррозиясен һәм картлыгын кичерә иде. Бу эчке агып чыгуга китерде, җитештерү эффективлыгына тәэсир итте һәм кисәкчәләрнең пычрануы аркасында чип җитештерүчәнлеген сизелерлек киметте. Моннан тыш, гадәти мөһерләр югары температура процессында күп күләмдә органик пычраклар чыгардылар, ярымүткәргеч материалны пычраттылар һәм продуктның тотрыксыз эшләвенә китерделәр. Аларны безнең компания җитештергән парфлюороэластомер мөһерләре белән алыштырганнан соң, җиһазның эш тотрыклылыгы сизелерлек яхшырды. Бер ел өзлексез оператив мониторинг үткәргәннән соң, мөһерләрдә коррозия яки картлык билгеләре күрсәтелмәде, югары чиста эчке саклау, чип җитештерүчәнлеге 80% тан 95% тан артты. Бу парфлуороэластомер мөһерләренең искиткеч химик каршылыгы, аз явым-төшем характеристикалары, искиткеч физик үзлекләре ярдәмендә ирешелде, нәтиҗәдә компания өчен зур икътисади файда китерде.
Йомгаклау: Чик төгәллеккә һәм чисталыкка омтылган ярымүткәргеч җитештерү тармагында махсус резин мөһерләр алыштыргысыз роль уйный. Флюорополимер һәм парфлюороэластомер кебек махсус резин мөһерләр, аларның югары күрсәткечләре, шул исәптән явым-төшемнәрне катгый контрольдә тоту, ярымүткәргеч җитештерү җиһазларына ышанычлы мөһер бирәләр, тармакка югары технологик дәрәҗәләргә күтәрелергә булышалар.
Пост вакыты: 17-2025 октябрь