Ярымүткәргечләр җитештерүнең югары технологияле өлкәсендә һәр адым гаҗәеп төгәллек һәм чисталык таләп итә. Махсус резина мөһерләр, җитештерү җиһазларының тотрыклы эшләвен тәэмин итүче һәм югары дәрәҗәдә чиста җитештерү мохитен саклаучы мөһим компонентлар буларак, ярымүткәргеч продуктларының чыгышына һәм эшчәнлегенә турыдан-туры йогынты ясый. Бүген без фторкаучук һәм перфторэластомер кебек махсус резина мөһерләрнең ярымүткәргечләр җитештерүдә ничек мөһим роль уйнавын тикшерәчәкбез.
I. Ярымүткәргеч җитештерү мохитенә катгый таләпләр
Ярымүткәргечләр җитештерү гадәттә чиста бүлмәләрдә алып барыла, анда әйләнә-тирә мохитне чиста тоту таләпләре бик югары. Хәтта пычраткыч матдәләрнең кечкенә кисәкчәләре дә чипның кыска ялганышларына яки башка эш җитешсезлекләренә китерергә мөмкин. Моннан тыш, җитештерү процессы төрле югары коррозияле химик матдәләр, мәсәлән, фоторезистлар, гравюра эремәләре һәм чистарту сыеклыклары куллануны үз эченә ала. Моннан тыш, кайбер процесс этапларында температура һәм басымның сизелерлек тирбәнешләре күзәтелә. Мәсәлән, гравюра һәм ион имплантациясе процесслары җиһазлар эчендә югары температуралар һәм басымнар тудыра. Моннан тыш, пломбалардан чыккан утырмалар ярымүткәргечләр җитештерүгә җитди йогынты ясый ала. Хәтта аз күләмдәге утырмалар да ярымүткәргеч материалларны яки процессларны пычрата ала, җитештерү процессының төгәллеген боза.
II. Махсус резина мөһерләрнең төп рольләре
1. Кисәкчәләрнең пычрануын булдырмау: Махсус резина герметиклар тышкы мохиттән тузан, пычрак һәм башка кисәкчәләрнең җиһазларга керүен нәтиҗәле рәвештә блоклый, чиста мохитне саклый. Перфторэластомер герметикларын мисал итеп алсак, аларның тигез өслеге кисәкчәләрнең сеңүенә каршы тора. Аларның бик яхшы сыгылмалылыгы җиһаз компонентларына тыгыз урнашырга мөмкинлек бирә, ышанычлы герметик киртә барлыкка китерә һәм ярымүткәргеч җитештерү процессының кисәкчәләрнең пычрануыннан азат булуын тәэмин итә.
2. Химик коррозиягә каршы тору: Фторуглерод һәм перфторэластомер кебек герметиклар ярымүткәргечләр җитештерүдә еш кулланыла торган химик реагентларга бик яхшы каршылык күрсәтә. Фторуглерод герметиклары гадәти кислоталы һәм селте эретмәләренә һәм органик эреткечләргә чыдам, ә перфторэластомер герметиклары югары оксидлашучан һәм коррозияле химик мохиттә аеруча тотрыклы. Мәсәлән, дымлы эшкәртү процессларында перфторэластомер герметиклары югары кислоталы эшкәртү эретмәләре белән озак вакыт контактта коррозиясез тора ала, җиһазларның герметикасын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә.
3. Температура һәм басым тирбәнешләренә җайлашу: Ярымүткәргеч җитештерү җиһазлары эш вакытында еш кына температура һәм басым тирбәнешләрен кичерә. Махсус резина герметиклар югары һәм түбән температурага чыдамлылыкны, шулай ук бик яхшы эластиклыкны һәм басымга чыдамлыкны таләп итә. Фторрезина герметиклар билгеле бер температура диапазонында бик яхшы эластиклыкны һәм герметик үзлекләрен саклый, төрле эшкәртү этапларында температура тирбәнешләренә җайлаша. Перфторэластомер герметиклары, киресенчә, югары температураларга гына чыдамый, ә түбән температураларда каты яки сынучан булуга да каршы тора, ышанычлы герметик эшчәнлеген саклый һәм төрле катлаулы эш шартларында җиһазларның нормаль эшләвен тәэмин итә.
4. Явым-төшем куркынычын контрольдә тоту: Ярымүткәргечләр җитештерүдә пломбалардан явым-төшемне контрольдә тоту бик мөһим. Фторэластомер һәм перфторэластомер кебек махсус резина пломбалар төрле өстәмәләр куллануны минимальләштерү өчен оптимальләштерелгән формулаларны һәм җитештерү процессларын кулланалар, шуның белән җитештерү процессында кечкенә органик молекулалар һәм металл ионнары кебек катнашмаларның явым-төшем ихтималын киметә. Бу түбән явым-төшем үзенчәлекләре пломбаларның пычрану чыганагына әйләнмәвен тәэмин итә, ярымүткәргечләр җитештерү өчен кирәкле ультра чиста мохитне саклый.
III. Махсус резина герметиклар өчен эш таләпләре һәм сайлау критерийлары
1. Чисталыкка бәйле үзенчәлекләр: Өслекнең тупаслыгы, тотрыксызлыгы һәм кисәкчәләрнең бүленеп чыгуы - герметикларның төп күрсәткечләре. Өслекнең тупаслыгы түбән булган герметиклар кисәкчәләр туплануга азрак бирешә, ә түбән тотрыксызлык югары температуралы мохиттә герметиклардан органик газ чыгару куркынычын киметә. Герметикларны сайлаганда, тотрыксызлык һәм кисәкчәләр чыгаруны түбән тәэмин итүче махсус өслек эшкәртүле продуктларга өстенлек бирегез. Мәсәлән, плазма белән эшкәртелгән перфторэластомер герметиклары шомарак өслек бирә һәм тотрыксызлыкны нәтиҗәле рәвештә киметә. Шулай ук, герметикның бүленеп чыгу үзенчәлекләренә игътибар итегез һәм ярымүткәргеч җитештерү мохитендә зарарлы чыгарулар чыгармавын тәэмин итү өчен катгый бүленеп чыгу сынауларын үткән продуктларны сайлагыз.
2. Химик туры килүчәнлек: Ярымүткәргеч җитештерү вакытында очрый торган конкрет химик реагентлар нигезендә тиешле каучук материалын сайлагыз. Төрле типтагы фторэластомерлар һәм перфторэластомерлар төрле химик матдәләргә төрлечә каршы торалар. Көчле оксидлаштыручы кислоталар белән бәйле процесслар өчен югары оксидлаштыручы перфторэластомер мөһерләрен сайларга кирәк. Гомуми органик эреткечләр белән бәйле процесслар өчен фторэластомер мөһерләре экономиялерәк вариант булырга мөмкин.
3. Физик үзенчәлекләр: Алар арасында катылык, эластик модуль һәм кысу җыелмасы бар. Уртача катылыктагы тыгызлагычлар яхшы тыгызлауны тәэмин итә, шул ук вакытта урнаштыруны һәм алуны җиңеләйтә. Эластик модуль һәм кысу җыелмасы озак вакытлы көчәнеш астында тыгызлагычның тотрыклылыгын чагылдыра. Югары температуралы һәм югары басымлы мохиттә озак вакытлы тотрыклы тыгызлауны тәэмин итү өчен минималь кысу җыелмасы булган тыгызлагычлар сайларга кирәк.
IV. Гамәли куллану очракларын анализлау
Танылган ярымүткәргеч җитештерүче үзенең чип җитештерү линиясендәге гравюр җиһазларында гадәти резина пломбаларның еш коррозиягә һәм искерүгә дучар булган. Бу эчке агып чыгуларга китергән, җитештерү нәтиҗәлелегенә тәэсир иткән һәм кисәкчәләр пычрануы аркасында чип чыгышын сизелерлек киметкән. Моннан тыш, гадәти пломбалар югары температуралы процесс барышында күп күләмдә органик катнашмалар чыгарган, ярымүткәргеч материалны пычраткан һәм продуктның тотрыксыз эшләвенә китергән. Аларны безнең компания җитештергән перфторэластомер пломбалары белән алыштырганнан соң, җиһазларның эшләү тотрыклылыгы сизелерлек яхшырган. Бер ел дәвамында даими эш күзәтүеннән соң, пломбаларда коррозия яки картаю билгеләре булмаган, эчке катлам бик чиста булып калган һәм чип чыгышы 80% тан 95% тан артыкка кадәр арткан. Моңа перфторэластомер пломбаларының бик яхшы химик каршылыклары, түбән явым-төшем характеристикалары һәм бик яхшы физик үзлекләре аркасында ирешелгән, бу компания өчен зур икътисади файда китергән.
Йомгаклау: Бик төгәллек һәм чисталык өчен тырышучы ярымүткәргечләр җитештерү сәнәгатендә махсус каучук мөһерләр алыштыргысыз роль уйный. Фторполимер һәм перфторэластомер кебек махсус каучук мөһерләр, явым-төшемне катгый контрольдә тотуны да кертеп, югары сыйфатлы эшләве белән, ярымүткәргечләр җитештерү җиһазлары өчен ышанычлы мөһерләүне тәэмин итә, сәнәгатьнең югары технологик дәрәҗәләргә даими күтәрелүенә ярдәм итә.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 17 октябре