Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning yuqori texnologiyali sohasida har bir qadam alohida aniqlik va tozalikni talab qiladi. Maxsus kauchuk qistirmalari, ishlab chiqarish uskunalarining barqaror ishlashini ta'minlaydigan va yuqori darajada toza ishlab chiqarish muhitini ta'minlaydigan muhim komponentlar sifatida yarimo'tkazgich mahsulotlarining rentabelligi va ishlashiga bevosita ta'sir qiladi. Bugun biz ftorkauchuk va perfloroelastomer kabi maxsus kauchuk plombalarning yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda qanday hal qiluvchi rol o'ynashini ko'rib chiqamiz.
I. Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish muhitiga qo'yiladigan qat'iy talablar
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish odatda ekologik tozalik talablari juda yuqori bo'lgan toza xonalarda amalga oshiriladi. Ifloslantiruvchi moddalarning kichik zarralari ham chipning qisqa tutashuviga yoki boshqa ishlash kamchiliklariga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari, ishlab chiqarish jarayoni fotorezistlar, etching eritmalari va tozalash suyuqliklari kabi turli xil yuqori korroziv kimyoviy moddalardan foydalanishni o'z ichiga oladi. Bundan tashqari, jarayonning ba'zi bosqichlarida sezilarli harorat va bosim o'zgarishi kuzatiladi. Masalan, etching va ion implantatsiyasi jarayonlari uskunada yuqori harorat va bosim hosil qiladi. Bundan tashqari, muhrlarning cho'kindilari yarimo'tkazgich ishlab chiqarishga jiddiy ta'sir ko'rsatishi mumkin. Hatto iz miqdoridagi cho'kmalar ham yarimo'tkazgich materiallari yoki jarayonlarni ifloslantirishi mumkin, bu esa ishlab chiqarish jarayonining aniqligini buzishi mumkin.
II. Maxsus kauchuk muhrlarning asosiy rollari
1. Zarrachalar ifloslanishini oldini olish: Maxsus kauchuk qistirmalari chang, iflosliklar va tashqi muhitdan boshqa zarralarni uskunaga kirishini samarali tarzda bloklaydi, toza muhitni saqlaydi. Misol tariqasida perfloroelastomer plombalarni oladigan bo'lsak, ularning silliq yuzasi zarrachalarning singishiga qarshilik ko'rsatadi. Ularning mukammal moslashuvchanligi ularga uskunaning tarkibiy qismlariga mahkam o'rnashish imkonini beradi, ishonchli muhrlanish to'sig'ini hosil qiladi va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayoni zarrachalar bilan ifloslanishdan xoli bo'lishini ta'minlaydi.
2. Kimyoviy korroziyaga qarshi turish: florokarbon va perfluoroelastomer kabi muhrlar, odatda, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ishlatiladigan kimyoviy reagentlarga mukammal qarshilik ko'rsatadi. Ftoruglerodli muhrlar umumiy kislotali va gidroksidi eritmalar va organik erituvchilarga chidamli bo'lib, perfluoroelastomer muhrlar yuqori oksidlovchi va korroziv kimyoviy muhitda ayniqsa barqarordir. Misol uchun, ho'l ishlov berish jarayonida perfluoroelastomer plombalarning korroziyasiz yuqori kislotali eritma eritmalari bilan uzoq vaqt aloqa qilishiga bardosh bera oladi, bu esa uskunaning muhrlanishi va barqarorligini ta'minlaydi.
3. Harorat va bosim o'zgarishiga moslashish: yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunasi ish paytida tez-tez harorat va bosim o'zgarishiga duch keladi. Maxsus kauchuk qistirmalari mukammal yuqori va past haroratga chidamliligini, shuningdek, mukammal elastiklik va bosim qarshiligini talab qiladi. Ftor kauchuk qistirmalari ma'lum bir harorat oralig'ida mukammal elastiklik va muhrlanish xususiyatlarini saqlab, turli ishlov berish bosqichlarida harorat o'zgarishiga moslashadi. Boshqa tomondan, perfluoroelastomer qistirmalari nafaqat yuqori haroratga bardosh beradi, balki past haroratlarda qattiq yoki mo'rt bo'lishga qarshilik ko'rsatadi, ishonchli muhrlanish ko'rsatkichlarini saqlab qoladi va turli xil murakkab ish sharoitlarida uskunaning normal ishlashini ta'minlaydi.
4. Yog'ingarchilik xavfini nazorat qilish: muhrlardan yog'ingarchilikni nazorat qilish yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda juda muhimdir. Ftorelastomer va perfluoroelastomer kabi maxsus kauchuk muhrlar turli qo'shimchalardan foydalanishni minimallashtirish uchun optimallashtirilgan formulalar va ishlab chiqarish jarayonlaridan foydalanadi va shu bilan ishlab chiqarish jarayonida kichik organik molekulalar va metall ionlari kabi aralashmalarning cho'kish ehtimolini kamaytiradi. Bu past yog'ingarchilik xususiyatlari muhrlarning potentsial ifloslanish manbai bo'lib qolmasligini ta'minlaydi va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan o'ta toza muhitni saqlaydi.
III. Ishlash talablari va maxsus kauchuk plombalarni tanlash mezonlari
1. Tozalik bilan bog'liq xususiyatlar: sirt pürüzlülüğü, uchuvchanligi va zarrachalarning chiqishi muhrlarning asosiy ko'rsatkichlari hisoblanadi. Sirt pürüzlülüğü past bo'lgan muhrlar zarrachalar to'planishiga kamroq moyil bo'ladi, past uchuvchanlik esa yuqori haroratli muhitda muhrlardan organik gaz emissiyasi xavfini kamaytiradi. Muhrlarni tanlayotganda, past uchuvchanlik va zarrachalar emissiyasini ta'minlaydigan maxsus sirt ishloviga ega mahsulotlarga ustunlik bering. Misol uchun, plazma bilan ishlov berilgan perfluoroelastomer plombalarning silliq yuzasini taklif qiladi va o'zgaruvchanlikni samarali kamaytiradi. Shuningdek, muhrning ajralib chiqish xususiyatlariga e'tibor bering va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish muhitida zararli chiqindilar chiqarmasligiga ishonch hosil qilish uchun qattiq sinovdan o'tgan mahsulotlarni tanlang.
2. Kimyoviy muvofiqlik: Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda uchraydigan maxsus kimyoviy reagentlar asosida tegishli kauchuk materialni tanlang. Har xil turdagi floroelastomer va perfluoroelastomer turli xil kimyoviy moddalarga har xil qarshilikka ega. Kuchli oksidlovchi kislotalarni o'z ichiga olgan jarayonlar uchun yuqori oksidlovchi perfluoroelastomer plombalarni tanlash kerak. Umumiy organik erituvchilarni o'z ichiga olgan jarayonlar uchun floroelastomer muhrlar tejamkorroq variant bo'lishi mumkin.
3. Jismoniy xususiyatlar: Bularga qattiqlik, elastik modul va siqish to'plami kiradi. O'rtacha qattiqlikdagi muhrlar yaxshi muhrni ta'minlaydi, shu bilan birga o'rnatish va olib tashlashni osonlashtiradi. Elastik modul va siqish to'plami uzoq muddatli stress ostida muhrning ishlash barqarorligini aks ettiradi. Yuqori haroratli va yuqori bosimli muhitda uzoq muddatli, barqaror muhrlanish ko'rsatkichlarini ta'minlash uchun minimal siqish to'plamiga ega muhrlar tanlanishi kerak.
IV. Amaliy qo'llash holatlarini tahlil qilish
Taniqli yarimo'tkazgichlar ishlab chiqaruvchisi chip ishlab chiqarish liniyasida qirqish uskunasida an'anaviy rezina muhrlarning tez-tez korroziyasi va qarishini boshdan kechirgan. Bu ichki qochqinlarga olib keldi, ishlab chiqarish samaradorligiga ta'sir qildi va zarrachalar ifloslanishi tufayli chip hosildorligini sezilarli darajada kamaytirdi. Bundan tashqari, an'anaviy muhrlar yuqori haroratli jarayon davomida ko'p miqdorda organik aralashmalarni chiqarib yubordi, bu yarimo'tkazgich materialini ifloslantiradi va mahsulotning beqaror ishlashiga olib keladi. Ularni kompaniyamiz tomonidan ishlab chiqarilgan perfluoroelastomer plomba bilan almashtirgandan so'ng, uskunaning ishlash barqarorligi sezilarli darajada yaxshilandi. Bir yillik doimiy monitoringdan so'ng, muhrlar korroziya yoki qarish belgilarini ko'rsatmadi, ichki makonni juda toza saqladi va chip hosildorligini 80% dan 95% gacha oshirdi. Bunga perfloroelastomer plombalarning mukammal kimyoviy chidamliligi, past yog'ingarchilik xususiyatlari va mukammal jismoniy xususiyatlari tufayli erishildi, natijada kompaniya uchun katta iqtisodiy foyda keltirildi.
Xulosa: Haddan tashqari aniqlik va tozalikka intiladigan yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish sanoatida maxsus kauchuk muhrlar ajralmas rol o'ynaydi. Ftoropolimer va perfluoroelastomer kabi maxsus rezina plombalarning yuqori ishlashi, jumladan, yog'ingarchilik ustidan qattiq nazorat, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalari uchun ishonchli muhrlanishni ta'minlaydi va sanoatning yuqori texnologik darajalarga doimiy ravishda o'sishiga yordam beradi.
Xabar vaqti: 2025-yil 17-oktabr