Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning yuqori texnologiyali sohasida har bir qadam o'ta aniqlik va tozalikni talab qiladi. Maxsus rezina muhrlar, ishlab chiqarish uskunalarining barqaror ishlashini ta'minlaydigan va yuqori darajada toza ishlab chiqarish muhitini saqlaydigan muhim komponentlar sifatida, yarimo'tkazgich mahsulotlarining hosildorligi va ishlashiga bevosita ta'sir qiladi. Bugun biz ftorli kauchuk va perftorelastomer kabi maxsus rezina muhrlar yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda qanday muhim rol o'ynashini ko'rib chiqamiz.
I. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish muhitining qat'iy talablari
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish odatda atrof-muhit tozaligi talablari juda yuqori bo'lgan toza xonalarda amalga oshiriladi. Hatto ifloslantiruvchi moddalarning mayda zarralari ham chiplarning qisqa tutashuviga yoki boshqa ishlash nuqsonlariga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari, ishlab chiqarish jarayoni fotorezistlar, o'ymakorlik eritmalari va tozalash suyuqliklari kabi turli xil yuqori darajada korroziyali kimyoviy moddalardan foydalanishni o'z ichiga oladi. Bundan tashqari, ba'zi jarayon bosqichlarida harorat va bosimning sezilarli darajada o'zgarishi kuzatiladi. Masalan, o'ymakorlik va ion implantatsiyasi jarayonlari uskunada yuqori harorat va bosimni hosil qiladi. Bundan tashqari, muhrlardan hosil bo'lgan cho'kindilar yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishga jiddiy ta'sir ko'rsatishi mumkin. Hatto oz miqdordagi cho'kindilar ham yarimo'tkazgich materiallari yoki jarayonlarini ifloslantirishi va ishlab chiqarish jarayonining aniqligini buzishi mumkin.
II. Maxsus rezina muhrlarning asosiy rollari
1. Zarrachalar ifloslanishining oldini olish: Maxsus rezina muhrlar tashqi muhitdan chang, iflosliklar va boshqa zarrachalarning uskunaga kirishini samarali ravishda to'sib qo'yadi va toza muhitni saqlaydi. Perfluoroelastomer muhrlarini misol qilib olsak, ularning silliq yuzasi zarrachalarning singishiga qarshilik ko'rsatadi. Ularning ajoyib moslashuvchanligi ularga uskunaning tarkibiy qismlariga mahkam o'rnashish imkonini beradi, bu esa ishonchli muhrlash to'sig'ini hosil qiladi va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonining zarrachalar ifloslanishidan xoli bo'lishini ta'minlaydi.
2. Kimyoviy korroziyaga chidamlilik: Ftoruglerod va perftorelastomer kabi muhrlar yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda keng qo'llaniladigan kimyoviy reagentlarga juda yaxshi qarshilik ko'rsatadi. Ftoruglerod muhrlari keng tarqalgan kislotali va ishqoriy eritmalar va organik erituvchilarga chidamli, perftorelastomer muhrlari esa yuqori oksidlovchi va korroziyali kimyoviy muhitda ayniqsa barqarordir. Masalan, nam o'yish jarayonlarida perftorelastomer muhrlari yuqori kislotali o'yish eritmalari bilan uzoq vaqt aloqa qilishga korroziyasiz bardosh bera oladi, bu esa uskunaning muhrlanishi va barqarorligini ta'minlaydi.
3. Harorat va bosim o'zgarishlariga moslashish: Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalari ish paytida tez-tez harorat va bosim o'zgarishlarini boshdan kechiradi. Maxsus rezina muhrlar yuqori va past haroratga mukammal qarshilikni, shuningdek, ajoyib elastiklik va bosimga chidamlilikni talab qiladi. Ftorli kauchuk muhrlar ma'lum bir harorat oralig'ida ajoyib elastiklik va muhrlash xususiyatlarini saqlab qoladi, turli ishlov berish bosqichlarida harorat o'zgarishlariga moslashadi. Perftorelastomer muhrlari esa nafaqat yuqori haroratga bardosh beradi, balki past haroratlarda qattiq yoki mo'rt bo'lib qolishga ham qarshi turadi, ishonchli muhrlash ish faoliyatini saqlaydi va turli murakkab ish sharoitlarida uskunalarning normal ishlashini ta'minlaydi.
4. Yog'ingarchilik xavfini nazorat qilish: Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda muhrlardan yog'ingarchilikni nazorat qilish juda muhimdir. Ftorelastomer va perftorelastomer kabi maxsus rezina muhrlar turli qo'shimchalardan foydalanishni minimallashtirish uchun optimallashtirilgan formulalar va ishlab chiqarish jarayonlaridan foydalanadi, shu bilan ishlab chiqarish jarayonida kichik organik molekulalar va metall ionlari kabi aralashmalarning cho'kish ehtimolini kamaytiradi. Ushbu past yog'ingarchilik xususiyatlari muhrlarning ifloslanish manbaiga aylanmasligini ta'minlaydi va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan juda toza muhitni saqlaydi.
III. Maxsus rezina muhrlar uchun ishlash talablari va tanlov mezonlari
1. Tozalikka bog'liq xususiyatlar: Sirt pürüzlülüğü, o'zgaruvchanlik va zarrachalarning ajralib chiqishi muhrlarning asosiy ko'rsatkichlari hisoblanadi. Sirt pürüzlülüğü past bo'lgan muhrlar zarrachalar to'planishiga kamroq moyil bo'ladi, past o'zgaruvchanlik esa yuqori haroratli muhitda muhrlardan organik gazlar chiqishi xavfini kamaytiradi. Muhrlarni tanlashda, past o'zgaruvchanlik va zarrachalar chiqishini ta'minlaydigan maxsus sirt ishlov berishga ega mahsulotlarga ustuvorlik bering. Masalan, plazma bilan ishlov berilgan perfluoroelastomer muhrlari silliqroq sirtni ta'minlaydi va o'zgaruvchanlikni samarali ravishda kamaytiradi. Shuningdek, muhrning ajralib chiqish xususiyatlariga e'tibor bering va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish muhitida zararli chiqindilar chiqarmasligiga ishonch hosil qilish uchun qattiq ajralib chiqish sinovlaridan o'tgan mahsulotlarni tanlang.
2. Kimyoviy moslik: Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonida duch keladigan maxsus kimyoviy reagentlar asosida tegishli rezina materialini tanlang. Turli xil ftoroelastomer va perftoroelastomerlar turli xil kimyoviy moddalarga turlicha qarshilikka ega. Kuchli oksidlovchi kislotalarni o'z ichiga olgan jarayonlar uchun yuqori darajada oksidlovchi perftoroelastomer muhrlari tanlanishi kerak. Umumiy organik erituvchilarni o'z ichiga olgan jarayonlar uchun ftoroelastomer muhrlari tejamkorroq variant bo'lishi mumkin.
3. Fizik xususiyatlar: Bularga qattiqlik, elastiklik moduli va siqish to'plami kiradi. O'rtacha qattiqlikdagi muhrlar yaxshi muhrlanishni ta'minlaydi, shu bilan birga o'rnatish va olib tashlashni osonlashtiradi. Elastik modul va siqish to'plami muhrning uzoq muddatli stress ostida ishlash barqarorligini aks ettiradi. Yuqori haroratli va yuqori bosimli muhitda uzoq muddatli, barqaror muhrlanish samaradorligini ta'minlash uchun minimal siqish to'plamiga ega muhrlar tanlanishi kerak.
IV. Amaliy qo'llanilish holatlarini tahlil qilish
Taniqli yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchisi chip ishlab chiqarish liniyasidagi o'yib ishlangan uskunada an'anaviy rezina muhrlarning tez-tez korroziyasi va qarishini boshdan kechirayotgan edi. Bu ichki oqishlarga olib keldi, ishlab chiqarish samaradorligiga ta'sir qildi va zarrachalar ifloslanishi tufayli chip hosildorligini sezilarli darajada kamaytirdi. Bundan tashqari, an'anaviy muhrlar yuqori haroratli jarayon davomida ko'p miqdorda organik aralashmalarni chiqarib yubordi, bu yarimo'tkazgich materialini ifloslantirdi va mahsulotning beqaror ishlashiga olib keldi. Ularni bizning kompaniyamiz tomonidan ishlab chiqarilgan perfluoroelastomer muhrlari bilan almashtirgandan so'ng, uskunaning ish barqarorligi sezilarli darajada yaxshilandi. Bir yillik uzluksiz ish monitoringidan so'ng, muhrlarda korroziya yoki qarish belgilari kuzatilmadi, ichki qism juda toza bo'lib qoldi va chip hosildorligi 80% dan 95% dan oshdi. Bunga perfluoroelastomer muhrlarining ajoyib kimyoviy qarshiligi, past yog'ingarchilik xususiyatlari va ajoyib fizik xususiyatlari tufayli erishildi, bu esa kompaniya uchun sezilarli iqtisodiy foyda keltirdi.
Xulosa: Haddan tashqari aniqlik va tozalikka intiladigan yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sanoatida maxsus rezina muhrlar ajralmas rol o'ynaydi. Ftorpolimer va perftorelastomer kabi maxsus rezina muhrlar, yog'ingarchilikni qat'iy nazorat qilishni o'z ichiga olgan yuqori ishlashi bilan, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalari uchun ishonchli muhrlanishni ta'minlaydi va sanoatning yuqori texnologik darajalarga doimiy ravishda o'sishiga yordam beradi.
Nashr vaqti: 2025-yil 17-oktabr