Sa larangan ng high-tech na pagmamanupaktura ng semiconductor, bawat hakbang ay nangangailangan ng pambihirang katumpakan at kalinisan. Ang mga espesyal na rubber seal, bilang mahahalagang bahagi na nagsisiguro ng matatag na operasyon ng kagamitan sa produksyon at nagpapanatili ng isang napakalinis na kapaligiran sa produksyon, ay may direktang epekto sa ani at pagganap ng mga produktong semiconductor. Ngayon, ating susuriin kung paano gumaganap ng mahalagang papel ang mga espesyal na rubber seal tulad ng fluororubber at perfluoroelastomer sa pagmamanupaktura ng semiconductor.
I. Ang Mahigpit na mga Pangangailangan ng mga Kapaligiran sa Paggawa ng Semiconductor
Karaniwang isinasagawa ang paggawa ng semiconductor sa mga cleanroom, kung saan napakataas ng mga kinakailangan sa kalinisan sa kapaligiran. Kahit ang maliliit na partikulo ng mga kontaminante ay maaaring magdulot ng mga short circuit ng chip o iba pang mga depekto sa pagganap. Bukod pa rito, ang proseso ng paggawa ay kinabibilangan ng paggamit ng iba't ibang kemikal na lubos na kinakaing unti-unti, tulad ng mga photoresist, mga solusyon sa pag-ukit, at mga likido sa paglilinis. Bukod pa rito, ang ilang mga hakbang sa proseso ay nakakaranas ng mga makabuluhang pagbabago-bago sa temperatura at presyon. Halimbawa, ang mga proseso ng pag-ukit at ion implantation ay lumilikha ng mataas na temperatura at presyon sa loob ng kagamitan. Bukod pa rito, ang mga namuo mula sa mga seal ay maaaring magkaroon ng malubhang epekto sa paggawa ng semiconductor. Kahit ang kaunting dami ng mga namuo ay maaaring makahawa sa mga materyales o proseso ng semiconductor, na nakakagambala sa katumpakan ng proseso ng produksyon.
II. Ang Mga Pangunahing Tungkulin ng Mga Specialty Rubber Seal
1. Pag-iwas sa Kontaminasyon ng Partikulo: Epektibong hinaharangan ng mga espesyal na selyo ng goma ang alikabok, mga dumi, at iba pang mga partikulo mula sa panlabas na kapaligiran mula sa pagpasok sa kagamitan, na nagpapanatili ng malinis na kapaligiran. Kung gagamitin ang mga selyo ng perfluoroelastomer bilang halimbawa, ang kanilang makinis na ibabaw ay lumalaban sa pagsipsip ng partikulo. Ang kanilang mahusay na kakayahang umangkop ay nagbibigay-daan sa mga ito na magkasya nang mahigpit sa mga bahagi ng kagamitan, na bumubuo ng isang maaasahang harang sa pagbubuklod at tinitiyak na ang proseso ng paggawa ng semiconductor ay walang kontaminasyon ng partikulo.
2. Paglaban sa Kemikal na Kaagnasan: Ang mga selyo tulad ng fluorocarbon at perfluoroelastomer ay nag-aalok ng mahusay na resistensya sa mga kemikal na reagent na karaniwang ginagamit sa paggawa ng semiconductor. Ang mga selyo ng fluorocarbon ay lumalaban sa mga karaniwang acidic at alkaline na solusyon at mga organic solvent, habang ang mga selyo ng perfluoroelastomer ay partikular na matatag sa mga kapaligirang kemikal na lubos na nag-o-oxidize at kinakaing unti-unti. Halimbawa, sa mga proseso ng wet etching, ang mga selyo ng perfluoroelastomer ay kayang tiisin ang matagalang kontak sa mga solusyon sa etching na lubos na acidic nang walang kalawang, na tinitiyak ang pagbubuklod at katatagan ng kagamitan.
3. Pag-angkop sa mga Pagbabago-bago ng Temperatura at Presyon: Ang mga kagamitan sa paggawa ng semiconductor ay nakakaranas ng madalas na pagbabago-bago ng temperatura at presyon habang ginagamit. Ang mga espesyal na selyo ng goma ay nangangailangan ng mahusay na resistensya sa mataas at mababang temperatura, pati na rin ang mahusay na elastisidad at resistensya sa presyon. Ang mga selyo ng fluororubber ay nagpapanatili ng mahusay na elastisidad at mga katangian ng pagbubuklod sa loob ng isang partikular na saklaw ng temperatura, na umaangkop sa mga pagbabago-bago ng temperatura sa iba't ibang yugto ng pagproseso. Sa kabilang banda, ang mga selyo ng perfluoroelastomer ay hindi lamang nakakayanan ang mataas na temperatura kundi lumalaban din sa pagiging matigas o malutong sa mababang temperatura, pinapanatili ang maaasahang pagganap ng pagbubuklod at tinitiyak ang normal na operasyon ng kagamitan sa ilalim ng iba't ibang kumplikadong kondisyon ng pagpapatakbo.
4. Pagkontrol sa Panganib ng Presipitasyon: Ang pagkontrol sa presipitasyon mula sa mga seal ay mahalaga sa paggawa ng semiconductor. Ang mga espesyal na seal ng goma tulad ng fluoroelastomer at perfluoroelastomer ay gumagamit ng mga na-optimize na pormulasyon at proseso ng produksyon upang mabawasan ang paggamit ng iba't ibang mga additives, sa gayon ay binabawasan ang posibilidad ng presipitasyon ng mga dumi tulad ng maliliit na organikong molekula at mga metal ion sa panahon ng proseso ng paggawa. Tinitiyak ng mga mababang katangian ng presipitasyon na ang mga seal ay hindi nagiging potensyal na pinagmumulan ng kontaminasyon, na nagpapanatili ng napakalinis na kapaligiran na kinakailangan para sa paggawa ng semiconductor.
III. Mga Kinakailangan sa Pagganap at Pamantayan sa Pagpili para sa mga Espesyal na Selyo ng Goma
1. Mga Katangian na May Kaugnayan sa Kalinisan: Ang pagkamagaspang sa ibabaw, pabagu-bago, at paglabas ng particle ay mga pangunahing indikasyon ng mga seal. Ang mga seal na may mababang pagkamagaspang sa ibabaw ay hindi gaanong madaling kapitan ng akumulasyon ng particle, habang ang mababang pabagu-bago ay nakakabawas sa panganib ng mga emisyon ng organic gas mula sa mga seal sa mga kapaligirang may mataas na temperatura. Kapag pumipili ng mga seal, unahin ang mga produktong may mga espesyal na paggamot sa ibabaw na nag-aalok ng mababang pabagu-bago at paglabas ng particle. Halimbawa, ang mga plasma-treated perfluoroelastomer seal ay nag-aalok ng mas makinis na ibabaw at epektibong nakakabawas ng pabagu-bago. Gayundin, bigyang-pansin ang mga katangian ng paglabas ng seal at pumili ng mga produktong sumailalim sa mahigpit na pagsubok sa paglabas upang matiyak na wala silang inilalabas na mapaminsalang emisyon sa mga kapaligiran ng paggawa ng semiconductor.
2. Pagkakatugma sa kemikal: Piliin ang naaangkop na materyal na goma batay sa mga partikular na kemikal na reagent na nakatagpo sa paggawa ng semiconductor. Ang iba't ibang uri ng fluoroelastomer at perfluoroelastomer ay may iba't ibang resistensya sa iba't ibang kemikal. Para sa mga prosesong kinasasangkutan ng malalakas na oxidizing acid, dapat piliin ang mga highly oxidizing perfluoroelastomer seal. Para sa mga prosesong kinasasangkutan ng mga pangkalahatang organic solvent, ang mga fluoroelastomer seal ay maaaring isang mas cost-effective na opsyon.
3. Mga katangiang pisikal: Kabilang dito ang katigasan, elastic modulus, at compression set. Tinitiyak ng mga seal na may katamtamang katigasan ang isang mahusay na seal habang pinapadali rin ang pag-install at pag-alis. Ang elastic modulus at compression set ay sumasalamin sa katatagan ng pagganap ng isang seal sa ilalim ng pangmatagalang stress. Sa mga kapaligirang may mataas na temperatura at mataas na presyon, dapat piliin ang mga seal na may kaunting compression set upang matiyak ang pangmatagalan at matatag na pagganap ng pagbubuklod.
IV. Pagsusuri ng Kaso sa Praktikal na Aplikasyon
Isang kilalang tagagawa ng semiconductor ang nakakaranas ng madalas na kalawang at pagtanda ng mga conventional rubber seal sa etching equipment sa kanilang chip manufacturing line. Nagdulot ito ng mga internal leak, na nakaapekto sa kahusayan ng produksyon at makabuluhang nagbawas sa chip yields dahil sa kontaminasyon ng particle. Bukod pa rito, ang mga conventional seal ay naglabas ng malalaking dami ng organic impurities sa panahon ng high-temperature process, na nagkokontamina sa semiconductor material at nagdulot ng hindi matatag na performance ng produkto. Matapos palitan ang mga ito ng mga perfluoroelastomer seal na ginawa ng aming kumpanya, ang operational stability ng kagamitan ay bumuti nang malaki. Pagkatapos ng isang taon ng patuloy na operational monitoring, ang mga seal ay hindi nagpakita ng mga senyales ng kalawang o pagtanda, na nagpapanatili ng napakalinis na interior, at nagpapataas ng chip yields mula 80% hanggang mahigit 95%. Nakamit ito dahil sa mahusay na chemical resistance, mababang precipitation characteristics, at mahusay na pisikal na katangian ng mga perfluoroelastomer seal, na nagresulta sa makabuluhang ekonomikong benepisyo para sa kumpanya.
Konklusyon: Sa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor, na nagsusumikap para sa matinding katumpakan at kalinisan, ang mga espesyal na selyo ng goma ay gumaganap ng isang napakahalagang papel. Ang mga espesyal na selyo ng goma tulad ng fluoropolymer at perfluoroelastomer, na may mahusay na pagganap, kabilang ang mahigpit na kontrol sa presipitasyon, ay nagbibigay ng maaasahang pagbubuklod para sa mga kagamitan sa pagmamanupaktura ng semiconductor, na tumutulong sa industriya na patuloy na umunlad sa mas mataas na antas ng teknolohiya.
Oras ng pag-post: Oktubre 17, 2025