సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క హై-టెక్ రంగంలో, ప్రతి దశకు అసాధారణమైన ఖచ్చితత్వం మరియు శుభ్రత అవసరం. ఉత్పత్తి పరికరాల స్థిరమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారించే మరియు అత్యంత శుభ్రమైన ఉత్పత్తి వాతావరణాన్ని నిర్వహించే కీలకమైన భాగాలుగా ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్, సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తుల దిగుబడి మరియు పనితీరుపై ప్రత్యక్ష ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. ఈరోజు, సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఫ్లోరోరబ్బర్ మరియు పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ వంటి ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్ ఎలా కీలక పాత్ర పోషిస్తాయో మనం పరిశీలిస్తాము.
I. సెమీకండక్టర్ తయారీ వాతావరణాల యొక్క కఠినమైన అవసరాలు
సెమీకండక్టర్ తయారీ సాధారణంగా క్లీన్రూమ్లలో నిర్వహించబడుతుంది, ఇక్కడ పర్యావరణ శుభ్రత అవసరాలు చాలా ఎక్కువగా ఉంటాయి. కలుషితాల యొక్క చిన్న కణాలు కూడా చిప్ షార్ట్ సర్క్యూట్లు లేదా ఇతర పనితీరు లోపాలకు కారణమవుతాయి. ఇంకా, తయారీ ప్రక్రియలో ఫోటోరెసిస్ట్లు, ఎచింగ్ సొల్యూషన్లు మరియు క్లీనింగ్ ఫ్లూయిడ్లు వంటి వివిధ రకాల అత్యంత తినివేయు రసాయనాల వాడకం ఉంటుంది. ఇంకా, కొన్ని ప్రక్రియ దశలు గణనీయమైన ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన హెచ్చుతగ్గులను అనుభవిస్తాయి. ఉదాహరణకు, ఎచింగ్ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియలు పరికరాలలో అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు పీడనాలను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. ఇంకా, సీల్స్ నుండి వచ్చే అవక్షేపాలు సెమీకండక్టర్ తయారీపై తీవ్రమైన ప్రభావాన్ని చూపుతాయి. అవక్షేపణల యొక్క ట్రేస్ మొత్తాలు కూడా సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు లేదా ప్రక్రియలను కలుషితం చేస్తాయి, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని దెబ్బతీస్తాయి.
II. స్పెషాలిటీ రబ్బరు సీల్స్ యొక్క కీలక పాత్రలు
1. కణ కాలుష్యాన్ని నివారించడం: ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్ బాహ్య వాతావరణం నుండి దుమ్ము, మలినాలు మరియు ఇతర కణాలను పరికరాలలోకి ప్రవేశించకుండా సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తాయి, శుభ్రమైన వాతావరణాన్ని నిర్వహిస్తాయి. పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ను ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, వాటి మృదువైన ఉపరితలం కణ శోషణను నిరోధిస్తుంది. వాటి అద్భుతమైన వశ్యత వాటిని పరికరాల భాగాలకు గట్టిగా సరిపోయేలా చేస్తుంది, నమ్మకమైన సీలింగ్ అవరోధాన్ని ఏర్పరుస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ కణ కాలుష్యం నుండి విముక్తి పొందేలా చేస్తుంది.
2. రసాయన తుప్పు నిరోధకత: ఫ్లోరోకార్బన్ మరియు పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ వంటి సీల్స్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో సాధారణంగా ఉపయోగించే రసాయన కారకాలకు అద్భుతమైన నిరోధకతను అందిస్తాయి. ఫ్లోరోకార్బన్ సీల్స్ సాధారణ ఆమ్ల మరియు ఆల్కలీన్ ద్రావణాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, అయితే పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ ముఖ్యంగా అధిక ఆక్సీకరణ మరియు తినివేయు రసాయన వాతావరణాలలో స్థిరంగా ఉంటాయి. ఉదాహరణకు, తడి ఎచింగ్ ప్రక్రియలలో, పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ తుప్పు లేకుండా అధిక ఆమ్ల ఎచింగ్ ద్రావణాలతో దీర్ఘకాలిక సంబంధాన్ని తట్టుకోగలవు, ఇది పరికరాల సీలింగ్ మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
3. ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన హెచ్చుతగ్గులకు అనుగుణంగా ఉండటం: సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలు ఆపరేషన్ సమయంలో తరచుగా ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన హెచ్చుతగ్గులను అనుభవిస్తాయి. ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్కు అద్భుతమైన అధిక మరియు తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, అలాగే అద్భుతమైన స్థితిస్థాపకత మరియు పీడన నిరోధకత అవసరం. ఫ్లోరోరబ్బర్ సీల్స్ ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో అద్భుతమైన స్థితిస్థాపకత మరియు సీలింగ్ లక్షణాలను నిర్వహిస్తాయి, వివిధ ప్రాసెసింగ్ దశలలో ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులకు అనుగుణంగా ఉంటాయి. మరోవైపు, పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోవడమే కాకుండా తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద గట్టిగా లేదా పెళుసుగా మారకుండా నిరోధించాయి, నమ్మకమైన సీలింగ్ పనితీరును నిర్వహిస్తాయి మరియు వివిధ సంక్లిష్ట ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులలో పరికరాల సాధారణ ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తాయి.
4. అవపాతం ప్రమాదాన్ని నియంత్రించడం: సెమీకండక్టర్ తయారీలో సీల్స్ నుండి అవపాతం నియంత్రించడం చాలా కీలకం. ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ మరియు పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ వంటి ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్ వివిధ సంకలనాల వాడకాన్ని తగ్గించడానికి ఆప్టిమైజ్ చేసిన సూత్రీకరణలు మరియు ఉత్పత్తి ప్రక్రియలను ఉపయోగిస్తాయి, తద్వారా తయారీ ప్రక్రియలో చిన్న సేంద్రీయ అణువులు మరియు లోహ అయాన్లు వంటి మలినాలను అవపాతం చేసే అవకాశాన్ని తగ్గిస్తాయి. ఈ తక్కువ అవపాత లక్షణాలు సీల్స్ కాలుష్యానికి సంభావ్య మూలంగా మారకుండా చూస్తాయి, సెమీకండక్టర్ తయారీకి అవసరమైన అల్ట్రా-క్లీన్ వాతావరణాన్ని నిర్వహిస్తాయి.
III. స్పెషాలిటీ రబ్బరు సీల్స్ కోసం పనితీరు అవసరాలు మరియు ఎంపిక ప్రమాణాలు
1. శుభ్రతకు సంబంధించిన లక్షణాలు: ఉపరితల కరుకుదనం, అస్థిరత మరియు కణ విడుదల సీల్స్ యొక్క కీలక సూచికలు. తక్కువ ఉపరితల కరుకుదనం కలిగిన సీల్స్ కణాల చేరడానికి తక్కువ అవకాశం కలిగి ఉంటాయి, అయితే తక్కువ అస్థిరత అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో సీల్స్ నుండి సేంద్రీయ వాయు ఉద్గారాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. సీల్స్ను ఎంచుకునేటప్పుడు, తక్కువ అస్థిరత మరియు కణ ఉద్గారాలను అందించే ప్రత్యేక ఉపరితల చికిత్సలతో ఉత్పత్తులకు ప్రాధాన్యత ఇవ్వండి. ఉదాహరణకు, ప్లాస్మా-చికిత్స చేయబడిన పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ మృదువైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తాయి మరియు అస్థిరతను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తాయి. అలాగే, సీల్ విడుదల లక్షణాలపై శ్రద్ధ వహించండి మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ వాతావరణాలలో హానికరమైన ఉద్గారాలను విడుదల చేయలేదని నిర్ధారించుకోవడానికి కఠినమైన విడుదల పరీక్షకు గురైన ఉత్పత్తులను ఎంచుకోండి.
2. రసాయన అనుకూలత: సెమీకండక్టర్ తయారీ సమయంలో ఎదురయ్యే నిర్దిష్ట రసాయన కారకాల ఆధారంగా తగిన రబ్బరు పదార్థాన్ని ఎంచుకోండి. వివిధ రకాల ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ మరియు పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్లు వేర్వేరు రసాయనాలకు వేర్వేరు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. బలమైన ఆక్సీకరణ ఆమ్లాలను కలిగి ఉన్న ప్రక్రియల కోసం, అధిక ఆక్సీకరణ పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ను ఎంచుకోవాలి. సాధారణ సేంద్రీయ ద్రావకాలను కలిగి ఉన్న ప్రక్రియల కోసం, ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ మరింత ఖర్చుతో కూడుకున్న ఎంపిక కావచ్చు.
3. భౌతిక లక్షణాలు: వీటిలో కాఠిన్యం, సాగే మాడ్యులస్ మరియు కంప్రెషన్ సెట్ ఉన్నాయి. మితమైన కాఠిన్యం కలిగిన సీల్స్ మంచి సీల్ను నిర్ధారిస్తాయి, అదే సమయంలో ఇన్స్టాలేషన్ మరియు తొలగింపును సులభతరం చేస్తాయి. సాగే మాడ్యులస్ మరియు కంప్రెషన్ సెట్ దీర్ఘకాలిక ఒత్తిడిలో సీల్ యొక్క పనితీరు స్థిరత్వాన్ని ప్రతిబింబిస్తాయి. అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-పీడన వాతావరణాలలో, దీర్ఘకాలిక, స్థిరమైన సీలింగ్ పనితీరును నిర్ధారించడానికి కనీస కంప్రెషన్ సెట్తో సీల్స్ను ఎంచుకోవాలి.
IV. ప్రాక్టికల్ అప్లికేషన్ కేస్ అనాలిసిస్
ఒక ప్రసిద్ధ సెమీకండక్టర్ తయారీదారు తన చిప్ తయారీ శ్రేణిలోని ఎచింగ్ పరికరాలలో సాంప్రదాయ రబ్బరు సీల్స్ తరచుగా తుప్పు పట్టడం మరియు వృద్ధాప్యాన్ని ఎదుర్కొంటోంది. దీని వలన అంతర్గత లీక్లు సంభవించాయి, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని ప్రభావితం చేశాయి మరియు కణ కాలుష్యం కారణంగా చిప్ దిగుబడి గణనీయంగా తగ్గింది. ఇంకా, సాంప్రదాయ సీల్స్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలో పెద్ద మొత్తంలో సేంద్రీయ మలినాలను విడుదల చేశాయి, సెమీకండక్టర్ పదార్థాన్ని కలుషితం చేశాయి మరియు అస్థిర ఉత్పత్తి పనితీరును కలిగించాయి. మా కంపెనీ తయారు చేసిన పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్తో వాటిని భర్తీ చేసిన తర్వాత, పరికరాల కార్యాచరణ స్థిరత్వం గణనీయంగా మెరుగుపడింది. ఒక సంవత్సరం నిరంతర కార్యాచరణ పర్యవేక్షణ తర్వాత, సీల్స్ తుప్పు లేదా వృద్ధాప్య సంకేతాలను చూపించలేదు, అత్యంత శుభ్రమైన లోపలి భాగాన్ని నిర్వహించడం మరియు చిప్ దిగుబడిని 80% నుండి 95% కంటే ఎక్కువ పెంచడం. పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ సీల్స్ యొక్క అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత, తక్కువ అవపాత లక్షణాలు మరియు అద్భుతమైన భౌతిక లక్షణాల కారణంగా ఇది సాధించబడింది, దీని ఫలితంగా కంపెనీకి గణనీయమైన ఆర్థిక ప్రయోజనాలు లభించాయి.
ముగింపు: అత్యంత ఖచ్చితత్వం మరియు శుభ్రత కోసం కృషి చేసే సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమలో, ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్ ఒక అనివార్యమైన పాత్రను పోషిస్తాయి. ఫ్లోరోపాలిమర్ మరియు పెర్ఫ్లోరోఎలాస్టోమర్ వంటి ప్రత్యేక రబ్బరు సీల్స్, అవపాతంపై కఠినమైన నియంత్రణతో సహా వాటి అత్యుత్తమ పనితీరుతో, సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలకు నమ్మకమైన సీలింగ్ను అందిస్తాయి, పరిశ్రమ నిరంతరం ఉన్నత సాంకేతిక స్థాయిలకు ముందుకు సాగడానికి సహాయపడుతుంది.
పోస్ట్ సమయం: అక్టోబర్-17-2025
