Nínú ẹ̀ka ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga ti iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor, gbogbo ìgbésẹ̀ nílò ìṣedéédé àti ìmọ́tótó tó tayọ. Àwọn èdìdì roba pàtàkì, gẹ́gẹ́ bí àwọn èròjà pàtàkì tí ó ń rí i dájú pé àwọn ohun èlò iṣẹ́-ṣíṣe dúró ṣinṣin àti láti máa ṣe àtúnṣe àyíká iṣẹ́-ṣíṣe mímọ́ tónítóní, ní ipa tààrà lórí ìbísí àti iṣẹ́ àwọn ọjà semiconductor. Lónìí, a ó ṣe àgbéyẹ̀wò bí àwọn èdìdì roba pàtàkì bíi fluororubber àti perfluoroelastomer ṣe ń kó ipa pàtàkì nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor.
I. Awọn ibeere to lagbara ti Awọn agbegbe Iṣelọpọ Semiconductor
A sábà máa ń ṣe iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor ní àwọn yàrá mímọ́, níbi tí àwọn ohun tí a nílò fún ìmọ́tótó àyíká pọ̀ gan-an. Kódà àwọn èròjà kéékèèké ti àwọn ohun tí ó lè fa ìṣẹ́jú kúkúrú tàbí àwọn àbùkù iṣẹ́ mìíràn. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, iṣẹ́ ṣíṣe náà ní lílo onírúurú àwọn kẹ́míkà oníbàjẹ́ gidigidi, bí àwọn photoresists, àwọn omi ìfọṣọ, àti àwọn omi ìfọṣọ. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ìgbésẹ̀ iṣẹ́ kan ní ìrírí ìyípadà otutu àti ìfúnpá pàtàkì. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ìlànà ìfọṣọ àti ìfọṣọ ion ń mú àwọn ìgbóná gíga àti ìfúnpá wá nínú ohun èlò náà. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ìfọṣọ láti inú àwọn èdìdì lè ní ipa pàtàkì lórí iṣẹ́ semiconductor. Kódà iye àwọn ìfọṣọ lè ba àwọn ohun èlò semiconductor tàbí àwọn ìlànà jẹ́, èyí tí ó ń ba ìpéye iṣẹ́ ṣíṣe jẹ́.
II. Awọn ipa Pataki ti Awọn edidi Rọba Pataki
1. Dídènà Àbàwọ́n Pátákì: Àwọn rọ́bà pàtàkì máa ń dí eruku, àwọn ẹ̀gbin, àti àwọn pàtákì mìíràn láti inú àyíká òde lọ́wọ́ láti wọ inú ẹ̀rọ náà, wọ́n sì máa ń mú kí àyíká mọ́ tónítóní. Bí a bá wo àwọn pátákì perfluoroelastomer gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, ojú wọn tó mọ́lẹ̀ kò ní jẹ́ kí pàtákì náà gba agbára. Ìyípadà tó dára wọn máa ń jẹ́ kí wọ́n lè bá àwọn ẹ̀yà ẹ̀rọ mu dáadáa, wọ́n á sì ṣẹ̀dá ìdènà ìdènà tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, wọ́n á sì rí i dájú pé iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor kò ní àbàwọ́n pátákì.
2. Dídínà Kẹ́míkà: Àwọn èdìdì bíi fluorocarbon àti perfluoroelastomer ní ìdènà tó dára sí àwọn ohun tí wọ́n sábà máa ń lò nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor. Èdìdì fluorocarbon kò fara mọ́ àwọn omi acid àti alkaline àti àwọn ohun èlò organic, nígbàtí èdìdì perfluoroelastomer dúró ṣinṣin ní àwọn àyíká kẹ́míkà tó ń mú kí ó máa jóná dáadáa àti tó ń jóná. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn iṣẹ́ ìfọṣọ omi, èdìdì perfluoroelastomer lè fara mọ́ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pẹ́ títí pẹ̀lú àwọn omi acid tó ń jóná láìsí ìbàjẹ́, èyí tó ń rí i dájú pé ohun èlò náà ní ìdènà àti ìdúróṣinṣin.
3. Ṣíṣe àtúnṣe sí Ìwọ̀n Òtútù àti Ìyípadà Ìfúnpá: Àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ Semiconductor máa ń ní ìyípadà òtútù àti ìfúnpá nígbà tí wọ́n bá ń ṣiṣẹ́. Àwọn rọ́bà pàtàkì nílò ìdènà òtútù gíga àti ìfúnpá tó dára, àti ìdènà òtútù tó dára àti ìdènà òtútù tó dára. Àwọn lílo Fluororubber máa ń ní ìyípadà tó dára àti àwọn ohun ìní ìdènà tó dára láàrín ìwọ̀n òtútù kan, wọ́n sì máa ń bá ìyípadà òtútù mu nígbà tí wọ́n bá ń ṣe iṣẹ́ wọn. Ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, àwọn lílo Perfluoroelastomer kì í ṣe pé wọ́n máa ń fara da òtútù tó ga nìkan, wọ́n tún máa ń tako líle tàbí kí wọ́n bàjẹ́ ní ìwọ̀n òtútù tó kéré, wọ́n sì máa ń mú kí iṣẹ́ ìdènà tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ṣiṣẹ́ dáadáa, wọ́n sì máa ń rí i dájú pé àwọn ohun èlò náà ń ṣiṣẹ́ déédéé lábẹ́ onírúurú ipò iṣẹ́ tó díjú.
4. Ṣíṣàkóso Ewu Ojò: Ṣíṣàkóso òjò láti inú àwọn èdìdì ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. Àwọn èdìdì rọ́bà pàtàkì bíi fluoroelastomer àti perfluoroelastomer ń lo àwọn ìlànà àti ìlànà iṣẹ́ tí a ṣe àtúnṣe láti dín lílo onírúurú àfikún kù, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń dín ìṣeéṣe òjò láti inú àwọn ohun ìdọ̀tí bí àwọn ohun èlò kéékèèké organic àti àwọn ion irin nígbà iṣẹ́ ṣíṣe. Àwọn ànímọ́ òjò kékeré wọ̀nyí ń rí i dájú pé àwọn èdìdì náà kò di orísun ìbàjẹ́, èyí sì ń mú àyíká tí ó mọ́ tónítóní tí a nílò fún iṣẹ́ semiconductor ṣiṣẹ́.
III. Awọn ibeere fun iṣẹ ṣiṣe ati Awọn ilana yiyan fun Awọn edidi roba pataki
1. Àwọn Ànímọ́ Tó Jọ Mọ́ Mímọ́: Rírọ̀ ojú ilẹ̀, ìyípadà ojú ilẹ̀, àti ìtújáde pàtákì jẹ́ àmì pàtàkì fún àwọn èdìdì. Àwọn èdìdì tí kò ní ìrọ̀rùn ojú ilẹ̀ kì í sábàá kó pàtákì jọ, nígbà tí ìyípadà ojú ilẹ̀ kéré máa ń dín ewu ìtújáde gaasi organic láti inú èdìdì kù ní àyíká tí ó ní iwọ̀n otútù gíga. Nígbà tí o bá ń yan èdìdì, fi àwọn ọjà tí ó ní ìtọ́jú ojú ilẹ̀ pàtàkì tí ó ń fúnni ní ìyípadà ojú ilẹ̀ àti ìtújáde pàtákì díẹ̀ sí i. Fún àpẹẹrẹ, àwọn èdìdì perfluoroelastomer tí a fi plasma tọ́jú ń fúnni ní ojú ilẹ̀ tí ó mọ́lẹ̀ dáadáa, ó sì ń dín ìyípadà ojú ilẹ̀ kù dáadáa. Bákan náà, kíyèsí àwọn ànímọ́ ìtújáde èdìdì náà kí o sì yan àwọn ọjà tí wọ́n ti ṣe àyẹ̀wò ìtújáde tí ó lágbára láti rí i dájú pé wọn kò tú pàtákì tí ó léwu jáde ní àwọn agbègbè ìṣelọ́pọ́ semiconductor.
2. Ibamu kemikali: Yan ohun elo roba ti o yẹ da lori awọn reagents kemikali pato ti a pade lakoko iṣelọpọ semiconductor. Awọn oriṣiriṣi awọn iru fluoroelastomer ati perfluoroelastomer ni resistance oriṣiriṣi si awọn kemikali oriṣiriṣi. Fun awọn ilana ti o ni awọn acids oxidizing ti o lagbara, a gbọdọ yan awọn edidi perfluoroelastomer ti o ni oxidizing pupọ. Fun awọn ilana ti o ni awọn olomi Organic gbogbogbo, awọn edidi fluoroelastomer le jẹ aṣayan ti o munadoko diẹ sii.
3. Àwọn ànímọ́ ara: Àwọn wọ̀nyí ní líle, modulus rirọ, àti ìpèsè ìfúnpọ̀. Àwọn ìfúnpọ̀ pẹ̀lú líle díẹ̀ ń rí i dájú pé ìfúnpọ̀ dára nígbàtí ó tún ń mú kí fífi sílẹ̀ àti yíyọ kúrò. Ìpèsè ìfúnpọ̀ àti ìpèsè ìfúnpọ̀ ń ṣàfihàn ìdúróṣinṣin iṣẹ́ ìfúnpọ̀ lábẹ́ wahala ìgbà pípẹ́. Ní àwọn àyíká ooru gíga àti ìfúnpọ̀ gíga, àwọn ìpèsè ìfúnpọ̀ tí ó ní ìpèsè ìfúnpọ̀ díẹ̀ yẹ kí a yan láti rí i dájú pé ìṣiṣẹ́ ìfúnpọ̀ ìgbà pípẹ́ àti dúró ṣinṣin.
IV. Ìṣàyẹ̀wò Ọ̀ràn Ìlò Tó Wúlò
Olùpèsè semiconductor kan tí a mọ̀ dáadáa ń ní ìrírí ìbàjẹ́ àti ogbó àwọn èdìdì rọ́bà ìbílẹ̀ nínú àwọn ohun èlò ìgé lórí ìlà iṣẹ́ ọnà ërún rẹ̀. Èyí yọrí sí jíjò inú, ó ní ipa lórí iṣẹ́ ṣíṣe àti dín àwọn èdìdì èérún kù gidigidi nítorí ìbàjẹ́ èérún. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn èdìdì èérún ìbílẹ̀ tú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun àìmọ́ organic jáde nígbà iṣẹ́ ooru gíga, ó ba ohun èlò semiconductor jẹ́, ó sì fa iṣẹ́ ọjà tí kò dúró ṣinṣin. Lẹ́yìn tí a fi àwọn èdìdì perfluoroelastomer tí ilé-iṣẹ́ wa ṣe rọ́pò wọn, ìdúróṣinṣin iṣẹ́ ẹ̀rọ náà sunwọ̀n sí i gidigidi. Lẹ́yìn ọdún kan tí a ti ń ṣe àkíyèsí iṣẹ́ déédéé, àwọn èdìdì náà kò fi àmì ìbàjẹ́ tàbí ogbó hàn, ó ń pa inú ilé mọ́ tónítóní mọ́, ó sì ń mú kí èdìdì èérún pọ̀ sí i láti 80% sí ju 95% lọ. Èyí ni a ṣe nípasẹ̀ agbára ìdènà kẹ́míkà tí perfluoroelastomer seals ní, àwọn ànímọ́ òjò díẹ̀, àti àwọn ànímọ́ ara tí ó tayọ, èyí sì yọrí sí àǹfààní ọrọ̀ ajé pàtàkì fún ilé-iṣẹ́ náà.
Ìparí: Nínú ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, tí wọ́n ń gbìyànjú láti ṣe déédé àti ìmọ́tótó gidigidi, àwọn rọ́bà pàtàkì ń kó ipa pàtàkì. Àwọn rọ́bà pàtàkì bíi fluoropolymer àti perfluoroelastomer, pẹ̀lú iṣẹ́ wọn tó ga jùlọ, pẹ̀lú ìṣàkóso tó lágbára lórí òjò, ń pèsè ìdìmú tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor, èyí sì ń ran ilé iṣẹ́ náà lọ́wọ́ láti máa tẹ̀síwájú sí àwọn ìpele ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ga jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-17-2025