Ni aaye imọ-ẹrọ giga ti iṣelọpọ semikondokito, gbogbo igbesẹ nilo konge iyasọtọ ati mimọ. Awọn edidi roba pataki, gẹgẹbi awọn paati pataki ti o rii daju iṣẹ iduroṣinṣin ti ohun elo iṣelọpọ ati ṣetọju agbegbe iṣelọpọ mimọ gaan, ni ipa taara lori ikore ati iṣẹ ti awọn ọja semikondokito. Loni, a yoo lọ sinu bawo ni awọn edidi roba pataki gẹgẹbi fluororubber ati perfluoroelastomer ṣe ipa pataki ni iṣelọpọ semikondokito.
I. Awọn ibeere Stringent ti Awọn agbegbe iṣelọpọ Semiconductor
Ṣiṣẹda semikondokito ni igbagbogbo ni a ṣe ni awọn yara mimọ, nibiti awọn ibeere mimọ ayika ti ga gaan. Paapaa awọn patikulu kekere ti contaminants le fa awọn iyika kukuru chirún tabi awọn abawọn iṣẹ ṣiṣe miiran. Pẹlupẹlu, ilana iṣelọpọ jẹ pẹlu lilo ọpọlọpọ awọn kemikali ti o bajẹ pupọ, bii photoresists, awọn ojutu etching, ati awọn omi mimọ. Pẹlupẹlu, diẹ ninu awọn igbesẹ ilana ni iriri iwọn otutu pataki ati awọn iyipada titẹ. Fun apẹẹrẹ, etching ati ion gbin awọn ilana ṣe ina awọn iwọn otutu giga ati awọn igara laarin ẹrọ naa. Pẹlupẹlu, awọn itọsi lati awọn edidi le ni ipa to ṣe pataki lori iṣelọpọ semikondokito. Paapaa awọn oye itọpa ti awọn itọlẹ le jẹ alaimọ awọn ohun elo semikondokito tabi awọn ilana, ni idilọwọ deede ti ilana iṣelọpọ.
II. Awọn ipa bọtini ti Awọn Igbẹhin roba Pataki
1. Idena Kontaminesonu Patiku: Awọn edidi roba pataki ni imunadoko eruku, awọn idoti, ati awọn patikulu miiran lati agbegbe ita lati titẹ ohun elo, mimu agbegbe mimọ. Mu perfluoroelastomer edidi bi apẹẹrẹ, wọn dan dada koju patiku gbigba. Irọrun ti o dara julọ wọn gba wọn laaye lati baamu ni wiwọ si awọn paati ohun elo, ṣiṣe idena idena ti o ni igbẹkẹle ati rii daju pe ilana iṣelọpọ semikondokito ni ofe lati idoti patiku.
2. Resisting Kemikali Ipata: Awọn edidi bi fluorocarbon ati perfluoroelastomer nse o tayọ resistance si awọn kemikali reagents commonly lo ninu semikondokito ẹrọ. Awọn edidi Fluorocarbon jẹ sooro si ekikan ati awọn solusan ipilẹ ti o wọpọ ati awọn nkan ti o nfo Organic, lakoko ti awọn edidi perfluoroelastomer jẹ iduroṣinṣin paapaa ni oxidizing giga ati awọn agbegbe kemikali ibajẹ. Fun apẹẹrẹ, ninu awọn ilana etching tutu, awọn edidi perfluoroelastomer le duro ni ifarakanra gigun pẹlu awọn solusan etching ekikan ti o ga julọ laisi ipata, ni idaniloju lilẹ ati iduroṣinṣin ti ẹrọ naa.
3. Imudara si Iwọn otutu ati Awọn iyipada Ipa: Awọn ẹrọ iṣelọpọ Semiconductor ni iriri iwọn otutu loorekoore ati awọn iyipada titẹ lakoko iṣẹ. Awọn edidi roba pataki nilo didara giga- ati iwọn otutu kekere, bakanna bi rirọ ti o dara julọ ati resistance resistance. Awọn edidi Fluororubber ṣetọju elasticity ti o dara julọ ati awọn ohun-ini ifasilẹ laarin iwọn otutu iwọn otutu kan, ni ibamu si awọn iyipada iwọn otutu lakoko awọn ipele iṣelọpọ oriṣiriṣi. Awọn edidi Perfluoroelastomer, ni ida keji, kii ṣe awọn iwọn otutu to gaju nikan ṣugbọn tun koju di lile tabi brittle ni awọn iwọn otutu kekere, mimu iṣẹ ṣiṣe lilẹ ti o gbẹkẹle ati aridaju iṣẹ ṣiṣe deede ti ẹrọ labẹ ọpọlọpọ awọn ipo iṣẹ eka.
4. Ṣiṣakoso Ewu ti ojoriro: Ṣiṣakoso awọn ojoriro lati awọn edidi jẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito. Awọn edidi roba pataki gẹgẹbi fluoroelastomer ati perfluoroelastomer lo awọn agbekalẹ iṣapeye ati awọn ilana iṣelọpọ lati dinku lilo awọn afikun awọn oriṣiriṣi, nitorinaa idinku iṣeeṣe ti ojoriro ti awọn aimọ gẹgẹbi awọn ohun elo Organic kekere ati awọn ions irin lakoko ilana iṣelọpọ. Awọn abuda ojoriro kekere wọnyi rii daju pe awọn edidi ko di orisun ti o pọju ti idoti, titọju agbegbe mimọ-olekenka ti o nilo fun iṣelọpọ semikondokito.
III. Awọn ibeere Iṣeṣe ati Aṣayan Aṣayan fun Awọn Igbẹkẹle Roba Pataki
1. Awọn ohun-ini ti o ni ibatan mimọ: Irẹlẹ oju, ailagbara, ati itusilẹ patiku jẹ awọn afihan bọtini ti awọn edidi. Awọn edidi pẹlu kekere dada roughness ni o wa kere prone to patiku ikojọpọ, nigba ti kekere iyipada din ewu ti Organic itujade lati edidi ni ga-otutu agbegbe. Nigbati o ba yan awọn edidi, ṣe pataki awọn ọja pẹlu awọn itọju dada pataki ti o funni ni iyipada kekere ati itujade patiku. Fun apẹẹrẹ, awọn edidi perfluoroelastomer ti a ṣe itọju pilasima nfunni ni oju didan ati pe o dinku ailagbara ni imunadoko. Paapaa, san ifojusi si awọn ohun-ini itusilẹ asiwaju ki o yan awọn ọja ti o ti ṣe idanwo itusilẹ lile lati rii daju pe wọn ko jade awọn itujade ipalara ni awọn agbegbe iṣelọpọ semikondokito.
2. Ibamu kemikali: Yan ohun elo roba ti o yẹ ti o da lori awọn reagents kemikali kan pato ti o pade lakoko iṣelọpọ semikondokito. Awọn oriṣiriṣi fluoroelastomer ati perfluoroelastomer ni iyatọ oriṣiriṣi si awọn kemikali oriṣiriṣi. Fun awọn ilana ti o kan awọn acids oxidizing lagbara, awọn edidi perfluoroelastomer oxidizing gíga gbọdọ jẹ yiyan. Fun awọn ilana ti o kan awọn ohun elo Organic gbogbogbo, awọn edidi fluoroelastomer le jẹ aṣayan ti o munadoko diẹ sii.
3. Awọn ohun-ini ti ara: Iwọnyi pẹlu líle, modulus rirọ, ati ṣeto funmorawon. Awọn edidi pẹlu líle iwọntunwọnsi ṣe idaniloju edidi to dara lakoko ti o tun ṣe irọrun fifi sori ẹrọ ati yiyọ kuro. Iwọn rirọ ati ṣeto funmorawon ṣe afihan iduroṣinṣin iṣẹ ti edidi labẹ aapọn igba pipẹ. Ni iwọn otutu ti o ga ati awọn agbegbe ti o ga julọ, awọn edidi pẹlu ipilẹ titẹ pọọku yẹ ki o yan lati rii daju igba pipẹ, iṣẹ ididi iduroṣinṣin.
IV. Wulo elo Case Analysis
Olupese semikondokito kan ti a mọ daradara ni iriri ibajẹ loorekoore ati ti ogbo ti awọn edidi roba aṣa ni ohun elo etching lori laini iṣelọpọ chirún rẹ. Eyi yori si awọn n jo inu, ni ipa ṣiṣe iṣelọpọ ati idinku idinku awọn ikore ni pataki nitori ibajẹ patiku. Pẹlupẹlu, awọn edidi aṣa ṣe idasilẹ awọn oye pupọ ti awọn idoti eleto lakoko ilana iwọn otutu ti o ga, ti n ba ohun elo semikondokito jẹ ati nfa iṣẹ ọja alailewu. Lẹhin ti o rọpo wọn pẹlu awọn edidi perfluoroelastomer ti a ṣelọpọ nipasẹ ile-iṣẹ wa, iduroṣinṣin iṣẹ ẹrọ ti dara si ni pataki. Lẹhin ọdun kan ti ibojuwo iṣẹ ṣiṣe lemọlemọfún, awọn edidi ko ṣe afihan awọn ami ti ibajẹ tabi ti ogbo, mimu inu ilohunsoke ti o mọ gaan, ati jijẹ awọn eso chirún lati 80% si ju 95%. Eyi ni aṣeyọri ọpẹ si awọn ifasilẹ kemikali ti o dara julọ ti perfluoroelastomer, awọn abuda ojoriro kekere, ati awọn ohun-ini ti ara ti o dara julọ, ti o yọrisi awọn anfani eto-aje pataki fun ile-iṣẹ naa.
Ipari: Ninu ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito, eyiti o tiraka fun pipe pipe ati mimọ, awọn edidi roba pataki ṣe ipa ti ko ṣe pataki. Awọn edidi roba pataki gẹgẹbi fluoropolymer ati perfluoroelastomer, pẹlu iṣẹ ṣiṣe giga wọn, pẹlu iṣakoso ti o muna lori ojoriro, pese lilẹ ti o gbẹkẹle fun ohun elo iṣelọpọ semikondokito, ṣe iranlọwọ fun ile-iṣẹ tẹsiwaju siwaju si awọn ipele imọ-ẹrọ giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-17-2025