ປະທັບຕາວິສະວະກຳທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບລະບົບການຈັດການຄວາມຮ້ອນຂອງແບັດເຕີຣີ EV

ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມສ່ຽງສູງຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ຄວາມສົມບູນຂອງອົງປະກອບການປະທັບຕາບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຄວາມກັງວົນດ້ານກົນຈັກເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນຕົວກຳນົດທີ່ສຳຄັນຂອງຜົນຜະລິດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ. ພາຍໃນຫ້ອງກັດພລາສມາ ແລະ ສະຖານີທຳຄວາມສະອາດໂຕະປຽກ, ປະທັບຕາອີລາສໂຕເມີຣິກປະເຊີນກັບການປະສົມປະສານທີ່ໂຫດຮ້າຍຂອງເຄມີທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ພລາສມາພະລັງງານສູງ, ແລະ ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ. ຄູ່ມືນີ້ໃຫ້ຂອບການເຮັດວຽກທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບການເລືອກວິທີແກ້ໄຂການປະທັບຕາເປີຟລູໂອໂຣອີລາສໂຕເມີ (FFKM) ທີ່ບໍ່ມີການຮົ່ວໄຫຼ ແລະ ການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳຫຼາຍພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ໜັກໜ່ວງເຫຼົ່ານີ້.

1. ສະພາບແວດລ້ອມການແກະສະຫຼັກຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີ: ສາມຢ່າງທີ່ສຸດຍອດ

ຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ບໍ່ວ່າຈະແຫ້ງ (ພລາສມາ) ຫຼື ປຽກ (ເຄມີ), ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງສິ່ງທ້າທາຍທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ຊຸກຍູ້ວັດສະດຸທຳມະດາໃຫ້ເກີນຂອບເຂດຂອງມັນ.

ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ: ສານເຄືອບເຊັ່ນ: ກົດໄຮໂດຣຟລູອໍຣິກ (HF), ກົດໄນຕຣິກ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄລໍຣີນເປັນພື້ນຖານ (Cl₂, BCl₃), ແລະ ພລາສມາທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນພື້ນຖານ (CF₄, SF₆) ໂຈມຕີລະບົບຕ່ອງໂສ້ໂພລີເມີຢ່າງຮຸນແຮງ. ຟລູອໍໂຣອີລາສໂຕເມີມາດຕະຖານ (FKM) ສາມາດປະສົບກັບອາການໃຄ່ບວມຮຸນແຮງ, ແຕກ, ຫຼື ການເສື່ອມສະພາບທາງເຄມີຢ່າງໄວວາໃນສະພາບແວດລ້ອມເຫຼົ່ານີ້.

ການສຳຜັດກັບພລາສມາພະລັງງານສູງ: ໃນເຄື່ອງມືແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ, ຊິລຈະຖືກໂຈມຕີດ້ວຍຊະນິດໄອອອນ ແລະ ລັງສີ UV. ສິ່ງນີ້ນຳໄປສູ່ການແຕກຂອງພື້ນຜິວ, ການແຕກຂອງຈຸນລະພາກ, ແລະ ການສ້າງການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງແຜ່ນແພ.

ຂໍ້ກຳນົດດ້ານສູນຍາກາດ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ເຂັ້ມງວດ: ຂະບວນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝດຳເນີນການໃນລະດັບສູນຍາກາດສູງ (≤10⁻⁶ mbar). ການປ່ອຍອາຍພິດອອກຈາກປະທັບຕາ - ການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ດູດຊຶມ ຫຼື ຜະລິດຕະພັນຍ່ອຍສະຫຼາຍ - ສາມາດປົນເປື້ອນບັນຍາກາດຂອງຫ້ອງ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຂອງ plasma ບໍ່ໝັ້ນຄົງ, ແລະ ນຳເອົາສິ່ງເຈືອປົນທີ່ເປັນຄາບອນມາ.

2. ເປັນຫຍັງ FFKM ຈຶ່ງເປັນທາງເລືອກທີ່ຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ສຳລັບການແກະສະຫຼັກ

ເປີຟລູໂອໂຣອີລາສໂຕເມີ ເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດຂອງປະສິດທິພາບການປະທັບຕາສຳລັບການນຳໃຊ້ເຫຼົ່ານີ້. ບໍ່ເຫມືອນກັບ FKM, ເຊິ່ງຮັກສາໄຮໂດຣເຈນໄວ້ບາງສ່ວນຢູ່ໃນກະດູກສັນຫຼັງ, FFKM ມີໂຄງສ້າງໂມເລກຸນທີ່ມີຟລູໂອໂຣນຢ່າງເຕັມທີ່. ຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ສຳຄັນນີ້ໃຫ້ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທີ່ເກືອບເປັນສາກົນ, ຄ້າຍຄືກັບ PTFE, ແຕ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການປະທັບຕາທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື.

ຄວາມສາມາດຂອງວັດສະດຸໃນການທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສູງເຖິງ 300–325°C​ ແລະ ການປ່ຽນແປງໄລຍະສັ້ນທີ່ສູງກວ່ານັ້ນເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມເປັນພິເສດສຳລັບເຄື່ອງມືແກະສະຫຼັກ, ເຊິ່ງມັກຈະຜ່ານຮອບວຽນການອົບທີ່ຮຸນແຮງຢູ່ໃນສະຖານທີ່ເພື່ອກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນ.

3. ບັນລຸການຮົ່ວໄຫຼສູນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີກົດແຮງ ແລະ ພລາສມາແຮງ

ການຮົ່ວໄຫຼໃນເຄື່ອງມືເຄິ່ງຕົວນຳບໍ່ແມ່ນການຮົ່ວໄຫຼທີ່ເຫັນໄດ້ສະເໝີໄປ; ມັນສາມາດສະແດງອອກເປັນການເລື່ອນລອຍຂອງຂະບວນການ ຫຼື ການປົນເປື້ອນຂ້າມ. FFKM ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ຜ່ານຄຸນສົມບັດ ແລະ ການອອກແບບຂອງວັດສະດຸພາຍໃນ.

ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ: ພັນທະຄາບອນ-ຟລູອໍຣີນໃນ FFKM ແມ່ນໜຶ່ງໃນບັນດາພັນທະທີ່ແຂງແຮງທີ່ສຸດໃນເຄມີອິນຊີ. ຄວາມໝັ້ນຄົງໂດຍທຳມະຊາດນີ້ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸເກີດປະຕິກິລິຍາກັບກົດທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ຕົວຜຸພັງ, ຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງການປະທັບຕາ ແລະ ແຮງບີບອັດໄດ້ເປັນເວລາຫຼາຍພັນຊົ່ວໂມງ.

ຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາ: ເກຣດ FFKM ປະສິດທິພາບສູງໄດ້ຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍສະເພາະເພື່ອຕ້ານທານການກັດເຊາະພາຍໃຕ້ອົກຊີເຈນ ແລະ ພລາສມາທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນສ່ວນປະກອບ. ລັກສະນະ "ບໍ່ຕິດ" ນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການກໍ່ຕົວຂອງສານນຳໄຟຟ້າເທິງຝາຫ້ອງ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ປະທັບຕາກາຍເປັນແຫຼ່ງຂອງການລະລາຍຂອງຂະບວນການ.

ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ: ຂະບວນການແກະສະຫຼັກມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ. FFKM ຮັກສາຊຸດການບີບອັດຕ່ຳ (ມັກຈະ <20–30% ຫຼັງຈາກການສຳຜັດເປັນເວລາດົນ), ຮັບປະກັນວ່າປະທັບຕາຍັງສືບຕໍ່ໃຊ້ແຮງພຽງພໍຕໍ່ຕ່ອມເຖິງແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳແລ້ວຊ້ຳອີກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປ້ອງກັນການຮົ່ວໄຫຼໃນອຸນຫະພູມສູງ.

4. ຄວາມສຳຄັນຂອງການລະບາຍອາຍພິດຕໍ່າ ແລະ ວິທີການທີ່ FFKM ສົ່ງຜົນສຳເລັດ

ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີສູນຍາກາດສູງ, ການລະບາຍອາຍພິດອອກເປັນຮູບແບບຄວາມລົ້ມເຫຼວຕົ້ນຕໍທີ່ເຮັດໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຂະບວນການຫຼຸດລົງ. ຊະນິດທີ່ຖືກລະບາຍອາຍພິດອອກສາມາດຕົກຄ້າງຄືນຢູ່ເທິງໜ້າຜິວແຜ່ນ, ສ້າງຄວາມເສຍຫາຍ ຫຼື ປ່ຽນແປງຂະໜາດທີ່ສຳຄັນ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ: ສານປະກອບ FFKM ຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນຜະລິດດ້ວຍປະລິມານໄອອອນໂລຫະຕໍ່າຫຼາຍ (ມັກຈະ <10 ppm) ແລະ ຜະລິດຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານອິນຊີທີ່ລະເຫີຍໄດ້ຕັ້ງແຕ່ເລີ່ມຕົ້ນ.

ຄວາມສາມາດໃນການອົບອອກ: ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນຂອງ FFKM ແມ່ນຄວາມສາມາດໃນການທົນທານຕໍ່ຂັ້ນຕອນການອົບອອກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ເຊັ່ນ: 150–200°C ພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດ) ກ່ອນການເລີ່ມຕົ້ນຂະບວນການ. ຂັ້ນຕອນນີ້ຈະຂັບຄວາມຊຸ່ມ ແລະ ສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ມີນ້ຳໜັກໂມເລກຸນຕ່ຳອອກຢ່າງຫ້າວຫັນ, ເຊິ່ງບັນລຸການສູນເສຍມວນສານທັງໝົດ (TML) ແລະ ວັດສະດຸທີ່ລະເຫີຍໄດ້ທີ່ເກັບມາ (CVCM) ທີ່ຕ່ຳຫຼາຍ ເຊິ່ງຕ້ອງການສຳລັບຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນ.

ຄວາມຕ້ານທານການຊຶມເຂົ້າ: ໂຄງສ້າງທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ມີຟລູອໍໄຣດ໌ຢ່າງເຕັມທີ່ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງທີ່ໜ້າຢ້ານກົວຕໍ່ກັບການຊຶມເຂົ້າຂອງອາຍແກັສ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາຍແກັສໃນບັນຍາກາດຮົ່ວໄຫຼເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາຍແກັສໃນຂະບວນການຮົ່ວໄຫຼອອກ.

5. ເກນການຄັດເລືອກຫຼັກນອກເໜືອໄປຈາກຊັ້ນວັດສະດຸ

ບໍ່ແມ່ນສານປະກອບ FFKM ທັງໝົດຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນມາຄືກັນ. ເມື່ອລະບຸປະທັບຕາສຳລັບການແກະສະຫຼັກ, ວິສະວະກອນຕ້ອງພິຈາລະນາຫຼາຍປັດໃຈທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

6. ຂໍ້ຜິດພາດທົ່ວໄປ ແລະ ວິທີປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ

ການຫຼີກລ່ຽງການອັດອອກ: ໃນການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມດັນສູງ, ແນະນຳໃຫ້ໃຊ້ອຸປະກອນຕ້ານການອັດອອກ (ເຊັ່ນ: ແຫວນສຳຮອງ PTFE) ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອີລາສໂຕເມີຖືກບັງຄັບໃຫ້ເຂົ້າໄປໃນຊ່ອງຫວ່າງ, ເຊິ່ງສາມາດນຳໄປສູ່ການລົ້ມເຫຼວຂອງປະທັບຕາ ແລະ ການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກ.

ການຈັດການ ແລະ ການຕິດຕັ້ງ: ເຖິງວ່າຈະມີຄວາມແຂງແຮງ, ແຕ່ປະທັບຕາ FFKM ມັກຈະມີຮອຍບຸບ ແລະ ຕັດໃນລະຫວ່າງການຕິດຕັ້ງຖ້າຈັດການບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ການໃຊ້ເຄື່ອງມືຕິດຕັ້ງສະເພາະ ແລະ ການຮັບປະກັນວ່າຂອບຂອງຕ່ອມມີຮູບຊົງເປັນຮູບວົງມົນ (ບໍ່ຄົມ) ແມ່ນສິ່ງສຳຄັນຕໍ່ການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງປະທັບຕາ.

ການຄຸ້ມຄອງວົງຈອນຊີວິດ: ການກຳນົດເວລາທົດແທນຢ່າງຕັ້ງໜ້າໂດຍອີງໃສ່ຊົ່ວໂມງການສຳຜັດກັບພລາສມາສະສົມ (ແທນທີ່ຈະລໍຖ້າການຮົ່ວໄຫຼ) ແມ່ນວິທີປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການຢຸດເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງມືທີ່ບໍ່ໄດ້ວາງແຜນໄວ້ ແລະ ການເສຍແຜ່ນເວເຟີ.

7. ທ່າອ່ຽງໃນອະນາຄົດ: ການຊຸກຍູ້ໃຫ້ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂຶ້ນກວ່າເກົ່າ

ໃນຂະນະທີ່ໂຫນດເຄິ່ງຕົວນຳກ້າວໄປສູ່ 2nm ແລະສູງກວ່ານັ້ນ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ການປົນເປື້ອນຈະເຂົ້າໃກ້ສູນ. ອຸດສາຫະກຳກຳລັງກ້າວໄປສູ່ສູດ FFKM “ລຸ້ນຕໍ່ໄປ” ທີ່ມີລະດັບຄວາມບໍ່ບໍລິສຸດຂອງໄອອອນທີ່ຕ່ຳກວ່າ ແລະ ການແຈກຢາຍນ້ຳໜັກໂມເລກຸນທີ່ເໝາະສົມເພື່ອສະກັດກັ້ນການລະບາຍອາຍພິດພາຍໃຕ້ສະພາບການ UV (EUV) ທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ການກັດຊັ້ນປະລໍາມະນູ (ALE).

ສະຫຼຸບ

ການເລືອກປະທັບຕາ FFKM ທີ່ເໝາະສົມສຳລັບຂະບວນການແກະສະຫຼັກແມ່ນບັນຫາການເພີ່ມປະສິດທິພາບຫຼາຍຕົວແປ. ເປົ້າໝາຍບໍ່ພຽງແຕ່ເລືອກວັດສະດຸທີ່ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເລືອກສານປະກອບ ແລະ ການອອກແບບທີ່ແກ້ໄຂບັນຫາສາມຢ່າງຮ່ວມກັນຄືການໂຈມຕີທາງເຄມີ, ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງສູນຍາກາດ. ໂດຍການໃຫ້ຄວາມສຳຄັນກັບເກຣດທີ່ປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດດ້ວຍພລາສມາ, ການຍຶດໝັ້ນກັບກົດລະບຽບການອອກແບບຕ່ອມທີ່ເຂັ້ມງວດ, ແລະ ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດໂປໂຕຄອນການອົບອອກທີ່ເຂັ້ມງວດ, ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ ແລະ ວິສະວະກອນໂຮງງານສາມາດບັນລຸປະສິດທິພາບການຮົ່ວໄຫຼສູນ ແລະ ການລະບາຍອາຍພິດຕ່ຳທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງ.

ເອກະສານອ້າງອີງ ແລະ ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ:

ASTM D1418 (ລະບົບການຈັດປະເພດມາດຕະຖານສຳລັບວັດສະດຸຢາງ)

SEMI F57-0223 (ຂໍ້ກຳນົດສຳລັບລະບົບປະມວນຜົນ, ວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳ)

ASTM E595 (ວິທີການທົດສອບມາດຕະຖານສຳລັບການສູນເສຍມວນສານທັງໝົດ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ລະເຫີຍໄດ້ຈາກການລະບາຍອາຍພິດໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ)