ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ଉଚ୍ଚ-ଭାଗ ପରିବେଶରେ, ସିଲିଂ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଅଖଣ୍ଡତା କେବଳ ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚିନ୍ତା ନୁହେଁ - ଏହା ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତାର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ। ପ୍ଲାଜମା ଏଚ୍ ଚାମ୍ବର ଏବଂ ଓଦା ବେଞ୍ଚ ସଫା କରିବା ଷ୍ଟେସନ ମଧ୍ୟରେ, ଇଲାଷ୍ଟୋମେରିକ୍ ସିଲ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ରସାୟନ ବିଜ୍ଞାନ, ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ପ୍ଲାଜମା ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଥର୍ମାଲ୍ ସାଇକେଲିଂର ଏକ ନିଷ୍ଠୁର ମିଶ୍ରଣର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ। ଏହି ମାର୍ଗଦର୍ଶିକା ପର୍ଫ୍ଲୁରୋଇଲାଷ୍ଟୋମର (FFKM) ସିଲିଂ ସମାଧାନ ଚୟନ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବ୍ୟାପକ ଢାଞ୍ଚା ପ୍ରଦାନ କରେ ଯାହା ଏହି ଦଣ୍ଡଦାୟକ ପରିସ୍ଥିତିରେ ଶୂନ୍ୟ ଲିକେଜ୍ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-କମ୍ ଆଉଟଗ୍ୟାସିଂ ପ୍ରଦାନ କରେ।
୧. ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏଚିଂ ପରିବେଶ: ଏକ ତ୍ରିଫଳା ଅତ୍ୟନ୍ତ
ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଶୁଷ୍କ (ପ୍ଲାଜମା) କିମ୍ବା ଓଦା (ରାସାୟନିକ) ହେଉ, ଏକ ଅନନ୍ୟ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ ଉପସ୍ଥାପନ କରେ ଯାହା ପାରମ୍ପରିକ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସେମାନଙ୍କର ସୀମା ବାହାରକୁ ଠେଲି ଦିଏ।
ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ରାସାୟନିକ ମାଧ୍ୟମ: ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ (HF), ନାଇଟ୍ରିକ୍ ଏସିଡ୍, କ୍ଲୋରିନ୍-ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ୍ (Cl₂, BCl₃), ଏବଂ ଫ୍ଲୋରିନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା (CF₄, SF₆) ପରି ଇଚାଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଭାବରେ ପଲିମର ଚେନ୍ ଉପରେ ଆକ୍ରମଣ କରନ୍ତି। ମାନକ ଫ୍ଲୋରୋଇଲାଷ୍ଟୋମର୍ (FKM) ଏହି ପରିବେଶରେ ଗୁରୁତର ଫୁଲା, ଫାଟିବା କିମ୍ବା ଦ୍ରୁତ ରାସାୟନିକ ଅବକ୍ଷୟର ଶିକାର ହୋଇପାରେ।
ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏକ୍ସପୋଜର: ଶୁଷ୍କ ଏଚ୍ ଉପକରଣରେ, ସିଲ୍ ଉପରେ ଆୟନାଇଜଡ୍ ପ୍ରଜାତି ଏବଂ UV ବିକିରଣ ଦ୍ୱାରା ବୋମା ମାଡ଼ କରାଯାଏ। ଏହା ପୃଷ୍ଠ ଭୂଷ, ମାଇକ୍ରୋ-କ୍ରାକିଂ ଏବଂ କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ୱେଫର ଡିଫ୍କ୍ଟିଭିଟିକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
କଠୋର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତା ଆବଶ୍ୟକତା: ଆଧୁନିକ ଫ୍ୟାବ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରରେ (≤10⁻⁶ mbar) କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ସିଲ୍ରୁ ଯେକୌଣସି ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗତ ହେବା - ଅବଶୋଷିତ ଗ୍ୟାସ୍ କିମ୍ବା ବିଘଟନ ଉପ-ଉତ୍ପାଦର ମୁକ୍ତ ହେବା - ଚାମ୍ବର ବାୟୁମଣ୍ଡଳକୁ ଦୂଷିତ କରିପାରେ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରତିବାଧାକୁ ଅସ୍ଥିର କରିପାରେ ଏବଂ କାର୍ବୋନାସିୟସ୍ ଅଶୁଦ୍ଧତା ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରିପାରେ।
୨. କାହିଁକି FFKM ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପାଇଁ ଏକ ଅନିବାର୍ଯ୍ୟ ବିକଳ୍ପ?
ଏହି ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ପର୍ଫ୍ଲୁରୋଇଲାଷ୍ଟୋମର୍ ସିଲିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ଶୀର୍ଷକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ। FKM ପରି ନୁହେଁ, ଯାହା ଏହାର ମେରୁଦଣ୍ଡରେ କିଛି ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ବଜାୟ ରଖେ, FFKM ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଫ୍ଲୋରିନେଟେଡ୍ ଆଣବିକ ଗଠନ ବହନ କରେ। ଏହି ପ୍ରମୁଖ ପାର୍ଥକ୍ୟ PTFE ପରି ସାର୍ବଭୌମ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ପ୍ରଦାନ କରେ, କିନ୍ତୁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସିଲିଂ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ନମନୀୟତା ସହିତ।
ଏହି ସାମଗ୍ରୀର 300-325°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ନିରନ୍ତର ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆହୁରି ଅଧିକ କ୍ଷଣିକ ଭ୍ରମଣ ସହ୍ୟ କରିବାର କ୍ଷମତା ଏହାକୁ ଏଚ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଅନନ୍ୟ ଭାବରେ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ, ଯାହା ପ୍ରଦୂଷକ ପଦାର୍ଥଗୁଡ଼ିକୁ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରାୟତଃ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଇନ-ସିଟୁ ବେକ୍-ଆଉଟ୍ ଚକ୍ର ଦେଇ ଗତି କରିଥାଏ।
3. ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଏସିଡ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ପରିବେଶରେ ଶୂନ୍ୟ ଲିକେଜ୍ ହାସଲ କରିବା
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ଲିକେଜ୍ ସର୍ବଦା ଦୃଶ୍ୟମାନ ଡ୍ରିପ୍ ନୁହେଁ; ଏହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଡ୍ରିଫ୍ଟ କିମ୍ବା କ୍ରସ୍-ପ୍ରଦୁଷଣ ଭାବରେ ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇପାରେ। FFKM ଏହାକୁ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣ ଏବଂ ଡିଜାଇନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ସମାଧାନ କରେ।
ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା: FFKM ରେ ଥିବା କାର୍ବନ-ଫ୍ଲୋରିନ୍ ବନ୍ଧ ଜୈବ ରସାୟନ ବିଜ୍ଞାନରେ ସବୁଠାରୁ ଶକ୍ତିଶାଳୀ। ଏହି ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ସ୍ଥିରତା ସାମଗ୍ରୀକୁ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଏସିଡ୍ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜର ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବାରୁ ବାଧା ଦିଏ, ହଜାର ହଜାର ଘଣ୍ଟା ଧରି ସିଲ୍ ଜ୍ୟାମିତି ଏବଂ ସଙ୍କୋଚନ ବଳ ବଜାୟ ରଖେ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରତିରୋଧ: ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଅଧୀନରେ କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ FFKM ଗ୍ରେଡ୍ ବିଶେଷ ଭାବରେ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଛି। ଏହି "ନନ୍-ଷ୍ଟିକ୍" ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଚାମ୍ବର କାନ୍ଥରେ ପରିବାହୀ ଜମା ଗଠନକୁ କମ କରିଥାଏ ଏବଂ ସିଲ୍ କୁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଡ୍ରିଫ୍ଟର ଉତ୍ସ ହେବାରୁ ରୋକିଥାଏ।
ତାପଜ ସ୍ଥିରତା: ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରାୟତଃ ଦ୍ରୁତ ତାପଜ ସାଇକେଲିଂ ସହିତ ଜଡିତ। FFKM ଏକ କମ୍ ସଙ୍କୋଚନ ସେଟ୍ ବଜାୟ ରଖେ (ପ୍ରାୟତଃ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ଏକ୍ସପୋଜର ପରେ <20-30%), ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ସିଲ୍ ବାରମ୍ବାର ତାପଚକ୍ର ପରେ ମଧ୍ୟ ଗ୍ରନ୍ଥି ଉପରେ ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ବଳ ପ୍ରୟୋଗ କରିଚାଲିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଲିକ୍ ରୋକାଯାଏ।
୪. କମ୍ ଗ୍ୟାସିଂର ଗୁରୁତ୍ୱ ଏବଂ FFKM କିପରି ପ୍ରଦାନ କରେ
ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ, ଗ୍ୟାସିଂ ଏକ ପ୍ରାଥମିକ ବିଫଳତା ମୋଡ୍ ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଶୁଦ୍ଧତାକୁ ବିପଦରେ ପକାଇଥାଏ। ଗ୍ୟାସିଂ ହୋଇଥିବା ପ୍ରଜାତିଗୁଡ଼ିକ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ପୁନଃସ୍ଥାପିତ ହୋଇପାରନ୍ତି, ହାଜିଂ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରନ୍ତି କିମ୍ବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିମାଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରନ୍ତି।
ସାମଗ୍ରୀର ଶୁଦ୍ଧତା: ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ-ଗ୍ରେଡ୍ FFKM ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକ ଅତ୍ୟଧିକ-ନିମ୍ନ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ବିଷୟବସ୍ତୁ (ପ୍ରାୟତଃ <10 ppm) ସହିତ ନିର୍ମିତ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ଆରମ୍ଭରୁ ଅସ୍ଥିର ଜୈବ ବିଷୟବସ୍ତୁକୁ ସର୍ବନିମ୍ନ କରିବା ପାଇଁ କ୍ଲିନରୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଉତ୍ପାଦିତ ହୋଇଥାଏ।
ବେକ୍-ଆଉଟ୍ କ୍ଷମତା: FFKM ର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୁବିଧା ହେଉଛି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆରମ୍ଭ ହେବା ପୂର୍ବରୁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ବେକ୍-ଆଉଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା (ଯଥା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ତଳେ 150-200°C) ସହ୍ୟ କରିବାର କ୍ଷମତା। ଏହି ପଦକ୍ଷେପ ସକ୍ରିୟ ଭାବରେ ଆର୍ଦ୍ରତା ଏବଂ କମ-ଆଣବିକ-ଓଜନ ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶକୁ ଦୂର କରିଥାଏ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-କମ୍ ମୋଟ ମାସ୍ କ୍ଷତି (TML) ଏବଂ ସଂଗୃହିତ ଅସ୍ଥିର ଘନୀଭୂତ ସାମଗ୍ରୀ (CVCM) ହାସଲ କରିଥାଏ।
ପରିଗମନ ପ୍ରତିରୋଧ: ଘନ, ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଫ୍ଲୋରାଇନେଟେଡ୍ ଗଠନ ଗ୍ୟାସ ପରିଗମନ ବିରୁଦ୍ଧରେ ଏକ ଭୟଙ୍କର ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଯାହା ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ଚାମ୍ବର ଭିତରକୁ ଲିକ୍ ହେବାରୁ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ବାହାରକୁ ଲିକ୍ ହେବାରୁ ରୋକେ।
୫. ସାମଗ୍ରୀ ଶ୍ରେଣୀ ବ୍ୟତୀତ ମୁଖ୍ୟ ଚୟନ ମାନଦଣ୍ଡ
ସମସ୍ତ FFKM ଯୌଗିକ ସମାନ ଭାବରେ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ ନାହିଁ। ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ସିଲ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କରିବା ସମୟରେ, ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନଙ୍କୁ ଅନେକ ସୂକ୍ଷ୍ମ କାରଣ ବିଚାର କରିବାକୁ ପଡିବ।
| ଚୟନ କାରକ | ଗୁରୁତର ବିଚାର | କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ |
| ଯୌଗିକ ଗ୍ରେଡ୍ | ମାନକ ବନାମ "ପ୍ଲାଜମା-ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍" ଗ୍ରେଡ୍ | ପ୍ଲାଜମା-ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ମୌଳିକ ଆକ୍ରମଣ ଏବଂ ହ୍ରାସିତ କଣିକା ସୃଷ୍ଟି ପ୍ରତି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। |
| କଠିନତା (ଡୁରୋମିଟର) | ସାଧାରଣତଃ 75-90 କୂଳ A | ନରମ ସିଲ୍ (75A) ସ୍ଥିର ସିଲ୍ ପାଇଁ ଭଲ ଭାବରେ ଅନୁକୂଳ ହୁଏ; କଠିନ ସିଲ୍ (90A) ଉଚ୍ଚ-ଚାପ ଭିନ୍ନତାରେ ଏକ୍ସଟ୍ରୁଜନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ କରେ। |
| ଗ୍ଲାଣ୍ଡ ଡିଜାଇନ୍ | ସଙ୍କୋଚନ ଅନୁପାତ, ପୃଷ୍ଠ ସମାପ୍ତି (Ra ≤ 0.4 µm) | ଏକ ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ଗ୍ରନ୍ଥି ପୃଷ୍ଠ ସିଲ୍ ଘର୍ଷଣକୁ କମ କରିଥାଏ ଏବଂ ଗ୍ୟାସିଂ ପାଇଁ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ନ୍ୟୁକ୍ଲିଏସନ୍ ସ୍ଥାନଗୁଡ଼ିକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। |
| ପ୍ରମାଣୀକରଣ ଏବଂ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି | SEMI F57, ISO 14644 ଦଶମ ଶ୍ରେଣୀ | ଏହା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଉପାଦାନଟି ଆଧୁନିକ ଫ୍ୟାବ୍ରିକର କଣିକା ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତା ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରୁଛି। |
୬. ସାଧାରଣ ବିପଦ ଏବଂ ସର୍ବୋତ୍ତମ ଅଭ୍ୟାସ
ଏକ୍ସଟ୍ରୁଜନ୍ ଏଡ଼ାଇବା: ଉଚ୍ଚ-ଚାପ ଭିନ୍ନତା ଥିବା ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକରେ, ଇଲାଷ୍ଟୋମରକୁ ଫାଙ୍କରେ ବାଧ୍ୟ ହେବାରୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଆଣ୍ଟି-ଏକ୍ସଟ୍ରୁଜନ୍ ଡିଭାଇସ୍ (ଯଥା, PTFE ବ୍ୟାକଅପ୍ ରିଙ୍ଗ୍) ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ସୁପାରିଶ କରାଯାଏ, ଯାହା ସିଲ୍ ବିଫଳତା ଏବଂ କଣିକା କ୍ଷୟ ହୋଇପାରେ।
ପରିଚାଳନା ଏବଂ ସ୍ଥାପନ: ସେମାନଙ୍କର ଦୃଢ଼ତା ସତ୍ତ୍ୱେ, ଯଦି ଭୁଲ ଭାବରେ ପରିଚାଳନା କରାଯାଏ ତେବେ FFKM ସିଲ୍ ସଂସ୍ଥାପନ ସମୟରେ ଛିଣ୍ଡିବା ଏବଂ କାଟିବାର ସମ୍ଭାବନା ଅଧିକ ଥାଏ। ସମର୍ପିତ ସଂସ୍ଥାପନ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଏବଂ ଗ୍ରନ୍ଥି ଧାରଗୁଡ଼ିକ ରେଡିଆସିଡ୍ (ତୀକ୍ଷ୍ଣ ନୁହେଁ) ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ସିଲ୍ ଅଖଣ୍ଡତାକୁ ସଂରକ୍ଷଣ କରିବା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ଜୀବନଚକ୍ର ପରିଚାଳନା: ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଉପକରଣ ଡାଉନଟାଇମ୍ ଏବଂ ୱାଫର ସ୍କ୍ରାପ୍ ଏଡାଇବା ପାଇଁ କ୍ରମବର୍ଦ୍ଧିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏକ୍ସପୋଜର ଘଣ୍ଟା (ଲିକ୍ ପାଇଁ ଅପେକ୍ଷା କରିବା ପରିବର୍ତ୍ତେ) ଉପରେ ଆଧାରିତ ସକ୍ରିୟ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ ସମୟ ନିର୍ଦ୍ଧାରଣ ଏକ ସର୍ବୋତ୍ତମ ଅଭ୍ୟାସ।
୭. ଭବିଷ୍ୟତର ଧାରା: ଆହୁରି ଅଧିକ ପବିତ୍ରତା ପାଇଁ ଚାପ
ଯେତେବେଳେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନୋଡ୍ 2nm ଏବଂ ତା'ଠାରୁ ଅଧିକ ଉପରକୁ ଉଠେ, ପ୍ରଦୂଷଣ ପାଇଁ ସହନଶୀଳତା ଶୂନ୍ୟ ପାଖାପାଖି ପହଞ୍ଚିଯାଏ। ଶିଳ୍ପଟି "ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ି" FFKM ଫର୍ମୁଲେସନ ଆଡକୁ ଗତି କରୁଛି ଯାହା ଆୟନିକ ଅଶୁଦ୍ଧତାର ଆହୁରି କମ ସ୍ତର ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ UV (EUV) ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଇଚ୍ (ALE) ପରିସ୍ଥିତିରେ ଗ୍ୟାସିଂକୁ ଆହୁରି ଦମନ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଆଣବିକ ଓଜନ ବଣ୍ଟନ ସହିତ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଛି।
ଉପସଂହାର
ଏକ ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ସଠିକ୍ FFKM ସିଲ୍ ଚୟନ କରିବା ଏକ ବହୁ-ପରିବର୍ତ୍ତନୀୟ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ସମସ୍ୟା। ଲକ୍ଷ୍ୟ କେବଳ ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧୀ ସାମଗ୍ରୀ ବାଛିବା ନୁହେଁ, ବରଂ ଏକ ଯୌଗିକ ଏବଂ ଡିଜାଇନ୍ ଚୟନ କରିବା ଯାହା ରାସାୟନିକ ଆକ୍ରମଣ, ତାପଜ ଚାପ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଶୁଦ୍ଧତାର ତ୍ରିଫେକ୍ଟାକୁ ସହଭାଗୀ ଭାବରେ ସମାଧାନ କରେ। ପ୍ଲାଜମା-ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ଡ ଗ୍ରେଡକୁ ପ୍ରାଥମିକତା ଦେଇ, କଠୋର ଗ୍ରନ୍ଥି ଡିଜାଇନ୍ ନିୟମ ପାଳନ କରି ଏବଂ କଠୋର ବେକ୍-ଆଉଟ୍ ପ୍ରୋଟୋକଲ୍ କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରି, ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଏବଂ ଫ୍ୟାବ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନେ ଉଚ୍ଚ-ଉପଜ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଶୂନ୍ୟ-ଲିକେଜ୍, କମ୍-ଆଉଟ୍ଗାସିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହାସଲ କରିପାରିବେ।
ସନ୍ଦର୍ଭ ଏବଂ ଶିଳ୍ପ ମାନକ:
ASTM D1418 (ରବର ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ମାନକ ବର୍ଗୀକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ)
SEMI F57-0223 (ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ)
ASTM E595 (ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଗ୍ୟାସିଂରୁ ମୋଟ ବସ୍ତୁ କ୍ଷତି ଏବଂ ସଂଗୃହିତ ଅସ୍ଥିର ଘନୀଭୂତ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ମାନକ ପରୀକ୍ଷଣ ପଦ୍ଧତି)
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୧୦-୨୦୨୬