ਈਵੀ ਬੈਟਰੀ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਲਈ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਸੀਲਾਂ

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਉੱਚ-ਦਾਅ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਸੀਲਿੰਗ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਚਿੰਤਾ ਨਹੀਂ ਹੈ - ਇਹ ਉਪਜ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਨਿਰਧਾਰਕ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ ਚੈਂਬਰਾਂ ਅਤੇ ਵੈੱਟ ਬੈਂਚ ਸਫਾਈ ਸਟੇਸ਼ਨਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ, ਇਲਾਸਟੋਮੇਰਿਕ ਸੀਲਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਰਸਾਇਣਾਂ, ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ, ਅਤੇ ਅਤਿਅੰਤ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਦੇ ਇੱਕ ਬੇਰਹਿਮ ਸੁਮੇਲ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਗਾਈਡ ਪਰਫਲੂਓਰੋਇਲਾਸਟੋਮਰ (FFKM) ਸੀਲਿੰਗ ਹੱਲਾਂ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਵਿਆਪਕ ਢਾਂਚਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਇਹਨਾਂ ਸਜ਼ਾ ਦੇਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਜ਼ੀਰੋ ਲੀਕੇਜ ਅਤੇ ਅਤਿ-ਘੱਟ ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।

1. ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣ: ਅਤਿਅੰਤਤਾਵਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਟ੍ਰਾਈਫੈਕਟਾ

ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ, ਭਾਵੇਂ ਸੁੱਕੀਆਂ (ਪਲਾਜ਼ਮਾ) ਜਾਂ ਗਿੱਲੀਆਂ (ਰਸਾਇਣਕ), ਚੁਣੌਤੀਆਂ ਦਾ ਇੱਕ ਵਿਲੱਖਣ ਸਮੂਹ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ ਜੋ ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਆਪਣੀਆਂ ਸੀਮਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪਰੇ ਧੱਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਹਮਲਾਵਰ ਰਸਾਇਣਕ ਮਾਧਿਅਮ: ਹਾਈਡ੍ਰੋਫਲੋਰਿਕ ਐਸਿਡ (HF), ਨਾਈਟ੍ਰਿਕ ਐਸਿਡ, ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਗੈਸਾਂ (Cl₂, BCl₃), ਅਤੇ ਫਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ (CF₄, SF₆) ਵਰਗੇ ਐਚੈਂਟ ਪੋਲੀਮਰ ਚੇਨਾਂ 'ਤੇ ਹਮਲਾਵਰ ਹਮਲਾ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਸਟੈਂਡਰਡ ਫਲੋਰੋਇਲਾਸਟੋਮਰ (FKM) ਇਹਨਾਂ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਗੰਭੀਰ ਸੋਜ, ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ, ਜਾਂ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਰਸਾਇਣਕ ਗਿਰਾਵਟ ਤੋਂ ਪੀੜਤ ਹੋ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਸਪੋਜ਼ਰ: ਸੁੱਕੇ ਐਚ ਟੂਲਸ ਵਿੱਚ, ਸੀਲਾਂ 'ਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਸਪੀਸੀਜ਼ ਅਤੇ ਯੂਵੀ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਨਾਲ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਭੁਰਭੁਰਾਪਣ, ਸੂਖਮ-ਕਰੈਕਿੰਗ, ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਡਿਫੈਕਟੀਵਿਟੀ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਸਖ਼ਤ ਵੈਕਿਊਮ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ: ਆਧੁਨਿਕ ਫੈਬ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਉੱਚ ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰਾਂ (≤10⁻⁶ mbar) 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸੀਲਾਂ ਤੋਂ ਕੋਈ ਵੀ ਗੈਸਿੰਗ - ਸੋਖੀਆਂ ਹੋਈਆਂ ਗੈਸਾਂ ਜਾਂ ਸੜਨ ਵਾਲੇ ਉਪ-ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਰਿਹਾਈ - ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨੂੰ ਦੂਸ਼ਿਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਅਸਥਿਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਕਾਰਬੋਨੇਸੀਅਸ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਪੇਸ਼ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

2. ਐਚਿੰਗ ਲਈ FFKM ਇੱਕ ਅਟੱਲ ਵਿਕਲਪ ਕਿਉਂ ਹੈ?

ਪਰਫਲੂਓਰੋਇਲਾਸਟੋਮਰ ਇਹਨਾਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਸੀਲਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਸਿਖਰ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ। FKM ਦੇ ਉਲਟ, ਜੋ ਆਪਣੀ ਰੀੜ੍ਹ ਦੀ ਹੱਡੀ ਵਿੱਚ ਕੁਝ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, FFKM ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਫਲੋਰੀਨੇਟਿਡ ਅਣੂ ਬਣਤਰ ਹੈ। ਇਹ ਮੁੱਖ ਅੰਤਰ PTFE ਦੇ ਸਮਾਨ, ਲਗਭਗ-ਯੂਨੀਵਰਸਲ ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਪਰ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਸੀਲਿੰਗ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਜ਼ਰੂਰੀ ਲਚਕਤਾ ਦੇ ਨਾਲ।

ਇਸ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ 300–325°C ਤੱਕ ਲਗਾਤਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਥੋੜ੍ਹੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਸੈਰ-ਸਪਾਟੇ ਨੂੰ ਹੋਰ ਵੀ ਉੱਚਾ ਸਹਿਣ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਇਸਨੂੰ ਐਚ ਟੂਲਸ ਲਈ ਵਿਲੱਖਣ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਅਕਸਰ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਹਮਲਾਵਰ ਇਨ-ਸੀਟੂ ਬੇਕ-ਆਊਟ ਚੱਕਰਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦੇ ਹਨ।

3. ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਐਸਿਡ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਜ਼ੀਰੋ ਲੀਕੇਜ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਟੂਲਸ ਵਿੱਚ ਲੀਕੇਜ ਹਮੇਸ਼ਾ ਇੱਕ ਦ੍ਰਿਸ਼ਮਾਨ ਡ੍ਰਿੱਪ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦਾ; ਇਹ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਡ੍ਰਿਫਟ ਜਾਂ ਕਰਾਸ-ਕੰਟੈਮੀਨੇਸ਼ਨ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। FFKM ਅੰਦਰੂਨੀ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੁਆਰਾ ਇਸਨੂੰ ਸੰਬੋਧਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ: FFKM ਵਿੱਚ ਕਾਰਬਨ-ਫਲੋਰੀਨ ਬਾਂਡ ਜੈਵਿਕ ਰਸਾਇਣ ਵਿਗਿਆਨ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਹਨ। ਇਹ ਅੰਦਰੂਨੀ ਸਥਿਰਤਾ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਮਲਾਵਰ ਐਸਿਡਾਂ ਅਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਰ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨ ਤੋਂ ਰੋਕਦੀ ਹੈ, ਹਜ਼ਾਰਾਂ ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਸੀਲ ਜਿਓਮੈਟਰੀ ਅਤੇ ਸੰਕੁਚਨ ਬਲ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦੀ ਹੈ।

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ FFKM ਗ੍ਰੇਡ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਅਤੇ ਫਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕਟੌਤੀ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ। ਇਹ "ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ" ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਚੈਂਬਰ ਦੀਆਂ ਕੰਧਾਂ 'ਤੇ ਸੰਚਾਲਕ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸੀਲ ਨੂੰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਵਹਾਅ ਦਾ ਸਰੋਤ ਬਣਨ ਤੋਂ ਰੋਕਦੀ ਹੈ।

ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ: ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਅਕਸਰ ਤੇਜ਼ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। FFKM ਇੱਕ ਘੱਟ ਸੰਕੁਚਨ ਸੈੱਟ (ਅਕਸਰ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਸੰਪਰਕ ਤੋਂ ਬਾਅਦ <20–30%) ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸੀਲ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਗਰਮੀ ਚੱਕਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਵੀ ਗਲੈਂਡ 'ਤੇ ਕਾਫ਼ੀ ਬਲ ਲਗਾਉਂਦਾ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਲੀਕ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ।

4. ਘੱਟ ਗੈਸਿੰਗ ਦੀ ਆਲੋਚਨਾ ਅਤੇ FFKM ਕਿਵੇਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ

ਉੱਚ-ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ, ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਇੱਕ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਅਸਫਲਤਾ ਮੋਡ ਹੈ ਜੋ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਲ ਸਮਝੌਤਾ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਆਊਟਗੈਸਡ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਵੇਫਰ ਸਤਹਾਂ 'ਤੇ ਦੁਬਾਰਾ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਧੁੰਦਲਾਪਣ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ ਜਾਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ-ਗ੍ਰੇਡ FFKM ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਤਿ-ਘੱਟ ਧਾਤੂ ਆਇਨ ਸਮੱਗਰੀ (ਅਕਸਰ <10 ppm) ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸ਼ੁਰੂ ਤੋਂ ਹੀ ਅਸਥਿਰ ਜੈਵਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਨ ਲਈ ਸਾਫ਼-ਸਫ਼ਾਈ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।

ਬੇਕ-ਆਊਟ ਸਮਰੱਥਾ: FFKM ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਫਾਇਦਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਬੇਕ-ਆਊਟ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਵੈਕਿਊਮ ਅਧੀਨ 150-200°C) ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਹੈ। ਇਹ ਕਦਮ ਨਮੀ ਅਤੇ ਘੱਟ-ਅਣੂ-ਵਜ਼ਨ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਨੂੰ ਸਰਗਰਮੀ ਨਾਲ ਦੂਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੇ ਅਤਿ-ਘੱਟ ਕੁੱਲ ਪੁੰਜ ਨੁਕਸਾਨ (TML) ਅਤੇ ਇਕੱਠੇ ਕੀਤੇ ਅਸਥਿਰ ਸੰਘਣੇ ਪਦਾਰਥ (CVCM) ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਪਰਮੀਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਸੰਘਣੀ, ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਫਲੋਰੀਨੇਟਿਡ ਬਣਤਰ ਗੈਸ ਪਰਮੀਸ਼ਨ ਦੇ ਵਿਰੁੱਧ ਇੱਕ ਸ਼ਕਤੀਸ਼ਾਲੀ ਰੁਕਾਵਟ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਵਾਯੂਮੰਡਲੀ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਲੀਕ ਹੋਣ ਤੋਂ ਰੋਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਣ ਤੋਂ ਰੋਕਦੀ ਹੈ।

5. ਸਮੱਗਰੀ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਤੋਂ ਪਰੇ ਮੁੱਖ ਚੋਣ ਮਾਪਦੰਡ

ਸਾਰੇ FFKM ਮਿਸ਼ਰਣ ਇੱਕੋ ਜਿਹੇ ਨਹੀਂ ਬਣਾਏ ਜਾਂਦੇ। ਐਚਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਸੀਲਾਂ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਕਈ ਸੂਖਮ ਕਾਰਕਾਂ 'ਤੇ ਵਿਚਾਰ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।

6. ਆਮ ਮੁਸ਼ਕਲਾਂ ਅਤੇ ਵਧੀਆ ਅਭਿਆਸ

ਐਕਸਟਰੂਜ਼ਨ ਤੋਂ ਬਚਣਾ: ਉੱਚ-ਦਬਾਅ ਵਾਲੇ ਵਿਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਇਲਾਸਟੋਮਰ ਨੂੰ ਪਾੜੇ ਵਿੱਚ ਧੱਕਣ ਤੋਂ ਰੋਕਣ ਲਈ ਐਂਟੀ-ਐਕਸਟਰੂਜ਼ਨ ਡਿਵਾਈਸਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, PTFE ਬੈਕਅੱਪ ਰਿੰਗ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੀਲ ਫੇਲ੍ਹ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦਾ ਵਹਾਅ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ: ਆਪਣੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਦੇ ਬਾਵਜੂਦ, ਜੇਕਰ ਗਲਤ ਢੰਗ ਨਾਲ ਹੈਂਡਲ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇ ਤਾਂ FFKM ਸੀਲਾਂ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਫਟਣ ਅਤੇ ਕੱਟਣ ਲਈ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਮਰਪਿਤ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਟੂਲਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਕਿ ਗਲੈਂਡ ਦੇ ਕਿਨਾਰਿਆਂ ਨੂੰ ਰੇਡੀਅਸਡ (ਤਿੱਖਾ ਨਹੀਂ) ਸੀਲ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਰੱਖਣ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।

ਜੀਵਨ ਚੱਕਰ ਪ੍ਰਬੰਧਨ: ਸੰਚਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਸਪੋਜ਼ਰ ਘੰਟਿਆਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਤਬਦੀਲੀ ਸਮਾਂ-ਸਾਰਣੀ (ਲੀਕ ਹੋਣ ਦੀ ਉਡੀਕ ਕਰਨ ਦੀ ਬਜਾਏ) ਅਣਯੋਜਨਾਬੱਧ ਟੂਲ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਕ੍ਰੈਪ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਇੱਕ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਅਭਿਆਸ ਹੈ।

7. ਭਵਿੱਖ ਦੇ ਰੁਝਾਨ: ਹੋਰ ਵੀ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲਈ ਜ਼ੋਰ

ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨੋਡ 2nm ਅਤੇ ਇਸ ਤੋਂ ਅੱਗੇ ਵਧਦੇ ਹਨ, ਗੰਦਗੀ ਲਈ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਜ਼ੀਰੋ ਦੇ ਨੇੜੇ ਪਹੁੰਚਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਉਦਯੋਗ "ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ" FFKM ਫਾਰਮੂਲੇਸ਼ਨਾਂ ਵੱਲ ਵਧ ਰਿਹਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਆਇਓਨਿਕ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਦੇ ਹੋਰ ਵੀ ਘੱਟ ਪੱਧਰ ਹਨ ਅਤੇ ਅਤਿਅੰਤ UV (EUV) ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਐਟੋਮਿਕ ਲੇਅਰ ਐਚ (ALE) ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਨੂੰ ਹੋਰ ਦਬਾਉਣ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਅਣੂ ਭਾਰ ਵੰਡਾਂ ਹਨ।

ਸਿੱਟਾ

ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਸਹੀ FFKM ਸੀਲ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨਾ ਇੱਕ ਬਹੁ-ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲ ਅਨੁਕੂਲਨ ਸਮੱਸਿਆ ਹੈ। ਟੀਚਾ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨਾ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਇੱਕ ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਤੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨਾ ਹੈ ਜੋ ਰਸਾਇਣਕ ਹਮਲੇ, ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ, ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਟ੍ਰਾਈਫੈਕਟਾ ਨੂੰ ਸਹਿਯੋਗੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੰਬੋਧਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਗ੍ਰੇਡਾਂ ਨੂੰ ਤਰਜੀਹ ਦੇ ਕੇ, ਸਖ਼ਤ ਗਲੈਂਡ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਨਿਯਮਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕਰਕੇ, ਅਤੇ ਸਖ਼ਤ ਬੇਕ-ਆਊਟ ਪ੍ਰੋਟੋਕੋਲ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਕੇ, ਉਪਕਰਣ ਨਿਰਮਾਤਾ ਅਤੇ ਫੈਬ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਉੱਚ-ਉਪਜ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਤਪਾਦਨ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੇ ਜ਼ੀਰੋ-ਲੀਕੇਜ, ਘੱਟ-ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਹਵਾਲੇ ਅਤੇ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਮਿਆਰ:

ASTM D1418 (ਰਬੜ ਸਮੱਗਰੀ ਲਈ ਮਿਆਰੀ ਵਰਗੀਕਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀ)

SEMI F57-0223 (ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਸਿਸਟਮ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਲਈ ਨਿਰਧਾਰਨ)

ASTM E595 (ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਗੈਸਿੰਗ ਤੋਂ ਕੁੱਲ ਪੁੰਜ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਅਤੇ ਇਕੱਠੇ ਕੀਤੇ ਅਸਥਿਰ ਸੰਘਣੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਮਿਆਰੀ ਟੈਸਟ ਵਿਧੀ)