Akara ndị a pụrụ ịtụkwasị obi maka Injinịa maka Sistemụ Njikwa Okpomọkụ Batrị EV

N'ebe dị oke mkpa n'ịmepụta semiconductor, iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe mkpuchi abụghị naanị ihe dị mkpa n'ime igwe - ọ bụ ihe dị mkpa na-ekpebi mmepụta na nkwụsi ike usoro. N'ime ụlọ etch plasma na ebe nhicha bench mmiri mmiri, akara elastomeric na-eche ngwakọta dị egwu nke kemịkalụ mmeghachi omume, plasma ike dị elu, na okirikiri okpomọkụ dị oke njọ. Nduzi a na-enye usoro zuru oke maka ịhọrọ ngwọta mkpuchi perfluoroelastomer (FFKM) nke na-enye enweghị ntapu na mwepu oke ala n'okpuru ọnọdụ ndị a na-ata ahụhụ.

1. Gburugburu Ebe E Si Egbute Semiconductor: Ihe Dị Iche Iche

Usoro ịkpụ ihe, ma ọ bụ nke kpọrọ nkụ (plasma) ma ọ bụ nke mmiri mmiri (kemịkalụ), na-eweta ihe ịma aka pụrụ iche nke na-akwali ihe ndị a na-emekarị karịa ókè ha.

Ọgwụ Kemịkalụ Na-eme Ihe Ike: Ihe ndị na-eme ka ihe dị ka hydrofluoric acid (HF), nitric acid, gas ndị dabeere na chlorine (Cl₂, BCl₃), na plasma ndị dabeere na fluorine (CF₄, SF₆) na-awakpo agbụ polymer nke ukwuu. Ndị na-emepụta fluoroelastomer nkịtị (FKM) nwere ike inwe nnukwu ọzịza, mgbawa, ma ọ bụ mmebi kemịkalụ ngwa ngwa na gburugburu ebe ndị a.

Ike Dị Elu n'Imepụta Plasma: N'ime ngwa e ji agba nkụ, a na-eji ụdị ion na radieshon UV eme ihe mkpuchi ihe mkpuchi. Nke a na-eduga n'ịme ka elu dị nro, obere mgbawa, na mmepụta nke mmetọ ihe ndị na-emerụ ahụ, nke na-emetụta kpọmkwem nkwarụ wafer.

Ihe achọrọ maka ikpochapụ na ịdị ọcha siri ike: Usoro ihe eji eme ihe nke oge a na-arụ ọrụ na ọkwa ikuku dị elu (≤10⁻⁶ mbar). Ihe ọ bụla na-esi na akàrà pụta—mwepụta nke gas ndị a na-amịkọrọ ma ọ bụ ngwaahịa ndị na-emebi ihe—nwere ike imerụ ikuku ụlọ ahụ, mebie mgbochi plasma, ma webata ihe ndị na-adịghị ọcha nke carbon.

2. Ihe mere FFKM ji bụrụ nhọrọ a na-apụghị izere ezere maka ịkpụ ihe

Perfluoroelastomers na-anọchite anya ọrụ kachasị elu nke mkpuchi maka ngwa ndị a. N'adịghị ka FKM, nke na-ejigide ụfọdụ hydrogen n'azụ ya, FFKM nwere usoro molekul a na-enweta fluorin zuru oke. Isi ihe dị iche a na-enye ike kemịkalụ dị nso na ụwa, dị ka PTFE, mana yana ike dị mkpa maka mkpuchi a pụrụ ịtụkwasị obi.

Ike ihe ahụ nwere ike iguzogide okpomọkụ na-aga n'ihu ruo 300–325°C, yana njem nwa oge dị elu karịa nke ahụ, na-eme ka ọ dabara nke ọma maka ngwaọrụ etch, nke na-agafe usoro ike nke ịme achịcha n'ime ụlọ iji wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ.

3. Imezu enweghị ntapu mmiri n'ime gburugburu siri ike nke Acid na Plasma

Ntapu na ngwaọrụ semiconductor abụghị ihe a na-ahụ anya mgbe niile; ọ nwere ike ịpụta dị ka ntụgharị usoro ma ọ bụ mmetọ gafere. FFKM na-edozi nke a site na njirimara na imewe ihe dị n'ime ya.

Enweghị Ike Kemịkalụ: Njikọ carbon-fluorine dị na FFKM so n'ime ndị kachasị ike na kemistri organic. Nkwụsi ike a dị n'ime ya na-egbochi ihe ahụ imeghachi omume na asịd na ihe na-eme ka oxidizers sie ike, na-ejigide geometry akara na ike mkpakọ ruo ọtụtụ puku awa.

Nguzogide Plasma: A na-emepụta akara FFKM dị elu kpọmkwem iji guzogide mbuze n'okpuru oxygen na plasma ndị dabeere na fluorine. Njirimara a "anaghị arapara" na-ebelata nhazi nke ihe nkwụnye mmiri na-ebugharị na mgbidi ụlọ ma na-egbochi mkpuchi ahụ ịghọ isi iyi nke mbugharị usoro.

Nkwụsi Ike nke Okpomọkụ: Usoro ịkpụcha ihe na-agụnyekarị ịgbagharị okpomọkụ ngwa ngwa. FFKM na-ejigide obere nrụgide (ọtụtụ mgbe <20–30% mgbe ekpughere ya ogologo oge), na-eme ka mkpuchi ahụ nọgide na-arụ ọrụ zuru oke na gland ọbụlagodi mgbe emechichara okpomọkụ ugboro ugboro, si otú a na-egbochi mmiri na-agbapụta na okpomọkụ dị elu.

4. Mkpa nke obere gas na-apụ n'anya na otu FFKM si enye ọrụ

N'ebe ikuku dị oke, ikuku na-apụ n'anya bụ ụzọ isi mebie ihe nke na-emebi ịdị ọcha nke usoro ahụ. Ụdị gas ndị a na-apụ n'anya nwere ike itinyeghachi n'elu wafer, na-emepụta ihe na-emebi emebi ma ọ bụ na-agbanwe akụkụ dị mkpa.

Ịdị Ọcha Ihe: A na-eji ọdịnaya ion ígwè dị ala (karịa ihe karịrị 10 ppm) emepụta ngwakọta FFKM nke semiconductor ma na-emepụta ha n'ebe dị ọcha iji belata ihe ndị na-agbanwe agbanwe site na mmalite.

Ike Ime Achịcha: Uru dị ukwuu nke FFKM bụ ikike ya iguzogide usoro ime achịcha dị elu (dịka ọmụmaatụ, 150–200°C n'okpuru oghere) tupu mmalite usoro ahụ. Nzọụkwụ a na-akwalite mmiri mmiri na ihe fọdụrụ dị obere na molekul, na-enweta oke mbelata oke (TML) ma na-anakọta ihe ndị na-agbanwe agbanwe (CVCM) achọrọ maka usoro dị nro.

Mgbochi Mgbapụta: Ọdịdị ahụ dị oke nkọ, nke jupụtara na fluorin na-arụ ọrụ dị ka ihe mgbochi siri ike megide mmịpụta gas, na-egbochi gas ikuku ịgbapụta n'ime ụlọ ahụ ma na-edozi gas ịgbapụta.

5. Usoro Nhọrọ Isi Karịa Klas Ihe

Ọ bụghị ihe niile FFKM ka e kere otu nhata. Mgbe a na-akọwapụta akara maka ojiji e ji ekpuchi ihe, ndị injinia ga-atụle ọtụtụ ihe dị iche iche.

6. Nsogbu Ndị A Na-ahụkarị na Omume Kachasị Mma

Izere Mwepụ: N'ime ngwa ndị nwere nnukwu nrụgide, a na-atụ aro ka e jiri ngwaọrụ mgbochi mmịpụta (dịka ọmụmaatụ, mgbaaka nkwado PTFE) gbochie elastomer ịbanye n'ime oghere, nke nwere ike ibute ọdịda mkpuchi na mwụfu ihe.

Njikwa na Ntinye: N'agbanyeghị ike ha siri ike, a na-enwe ike ịkpụcha ma ọ bụ bee ihe mkpuchi FFKM n'oge ntinye ma ọ bụrụ na ejighị ya nke ọma. Iji ngwaọrụ ntinye pụrụ iche na ijide n'aka na nsọtụ gland dị radius (ọ bụghị nkọ) dị oke mkpa iji chekwaa iguzosi ike n'ezi ihe nke mkpuchi.

Njikwa Oge Ndụ: Nhazi oge nnọchi anya dabere na awa ngosipụta plasma (kama ichere ka mmiri gbapụta) bụ omume kachasị mma iji zere oge ọrụ na-adịghị mma na ihe mkpofu wafer.

7. Usoro Ọdịnihu: Mkpali maka Ịdị Ọcha Ka Elu

Ka akụkụ semiconductor na-aga n'ihu ruo 2nm na karịa, nnabata maka mmetọ na-erute efu. Ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'ihu na usoro FFKM "ọgbọ na-esote" yana obere ọkwa nke ihe na-adịghị ọcha ionic na nkesa ibu molekul ahaziri iji gbochie outgassing n'okpuru oke UV (EUV) lithography na ọnọdụ atomic layer etch (ALE).

Mmechi

Ịhọrọ akara FFKM ziri ezi maka usoro ịcha ihe bụ nsogbu nhazi ọtụtụ mgbanwe. Ebumnuche abụghị naanị ịhọrọ ihe na-eguzogide kemịkalụ, kama ịhọrọ ihe mejupụtara na imewe nke ga-edozi trifecta nke mwakpo kemịkalụ, nrụgide okpomọkụ, na ịdị ọcha nke ikuku. Site n'inye ọkwa plasma kacha mma, ịgbaso iwu nhazi gland siri ike, na itinye usoro ịme achịcha siri ike, ndị na-emepụta akụrụngwa na ndị injinia ngwaahịa nwere ike nweta arụmọrụ enweghị mmiri na-agbapụta, arụmọrụ dị ala nke achọrọ maka mmepụta semiconductor dị elu.

Ntụaka na Ụkpụrụ Ụlọ Ọrụ:

ASTM D1418 (Sistemụ Nhazi Ọkọlọtọ maka Ihe Ejiri Rọba Mee)

SEMI F57-0223 (Nkọwapụta maka Sistemụ Nhazi, Ihe Ndị Na-arụzi Semiconductor)

ASTM E595 (Ụzọ Nnwale Ọkọlọtọ maka Mfu Oke zuru oke na Ihe Ndị A Na-anakọta Na-agbanwe Agbanwe Site na Mwepụ Gas na Gburugburu Uzuzu)