ئېلېكترونلۇق باتارېيە ئىسسىقلىق باشقۇرۇش سىستېمىسى ئۈچۈن ئىشەنچلىك پېچەتلەش ئۈسكۈنىلىرىنى ياساش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ يۇقىرى دەرىجىلىك مۇھىتىدا، پېچەتلەش زاپچاسلىرىنىڭ پۈتۈنلۈكى پەقەت مېخانىكىلىق مەسىلە ئەمەس، بەلكى مەھسۇلات مىقدارى ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى بەلگىلەيدىغان مۇھىم ئامىل. پلازما ئويۇش كامېراسى ۋە ھۆل ئۈستەل تازىلاش پونكىتلىرىدا، ئېلاستىك پېچەتلەشلەر رېئاكتىپ خىمىيىلىك ماددىلار، يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك پلازما ۋە ئىنتايىن ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىنىڭ رەھىمسىز بىرىكمىسىگە دۇچ كېلىدۇ. بۇ قوللانما بۇنداق قىيىن شارائىتتا نۆل ئېقىش ۋە ئىنتايىن تۆۋەن گاز چىقىرىشنى تەمىنلەيدىغان پېرفلۇئوروئېلاستومېر (FFKM) پېچەتلەش ئېرىتمىسىنى تاللاش ئۈچۈن ئومۇميۈزلۈك رامكا بىلەن تەمىنلەيدۇ.

1. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئويۇش مۇھىتى: ئۈچ خىل چەكتىن ئاشقان ئامىل

قۇرۇق (پلازما) ياكى ھۆل (خىمىيىلىك) بولسۇن، ئويۇش جەريانلىرى ئەنئەنىۋى ماتېرىياللارنى چەكلىمىدىن ھالقىپ كېتىدىغان ئۆزگىچە بىر يۈرۈش قىيىنچىلىقلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

ئاكتىپ خىمىيىلىك ماددىلار: ھىدروفتور كىسلاتاسى (HF)، ئازوت كىسلاتاسى، خىلور ئاساسلىق گازلار (Cl₂، BCl₃) ۋە فتور ئاساسلىق پلازما (CF₄، SF₆) قاتارلىق ئاشلاندۇرغۇچىلار پولىمېر زەنجىرلىرىگە ئاكتىپ ھۇجۇم قىلىدۇ. ئۆلچەملىك فتور ئېلاستومېرلىرى (FKM) بۇ خىل مۇھىتتا ئېغىر دەرىجىدە شىشىش، يېرىلىش ياكى تېز خىمىيىلىك پارچىلىنىشقا ئۇچرايدۇ.

يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك پلازما تەسىرى: قۇرۇق ئويۇش قوراللىرىدا، پېچەتلەر ئىئونلاشقان ماددىلار ۋە ئۇلترا بىنەپشە نۇرنىڭ بومباردىمانىغا ئۇچرايدۇ. بۇ يۈزەكى مۇرۇتلىشىش، مىكرو يېرىلىش ۋە زەررىچە بۇلغىنىشىنىڭ پەيدا بولۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ بولسا بىۋاسىتە ۋافېرنىڭ كەمتۈكلۈكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

قاتتىق ۋاكۇئۇم ۋە ساپلىق تەلىپى: زامانىۋى زاۋۇت جەريانلىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىدە (≤10⁻⁶ mbar) ئىشلەيدۇ. پېچەتلەردىن چىققان ھەر قانداق گاز - سۈمۈرۈلگەن گازلار ياكى پارچىلىنىش مەھسۇلاتلىرىنىڭ قويۇپ بېرىلىشى - كامېرا ئاتموسفېراسىنى بۇلغىشى، پلازما ئىمپېدانسىنى قالايمىقانلاشتۇرۇشى ۋە كاربونلۇق بۇلغانمىلارنى كىرگۈزۈشى مۇمكىن.

2. نېمە ئۈچۈن FFKM ئويۇش ئۈچۈن مۇقەررەر تاللاش؟

پېرفلۇئوروئېلاستومېرلار بۇ خىل قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ پېچەتلەش ئىقتىدارىنىڭ ئەڭ يۇقىرى پەللىسىنى ئىپادىلەيدۇ. ئۆزىنىڭ ئاساسىي قىسمىدا بىر قىسىم ھىدروگېننى ساقلايدىغان FKM دىن پەرقلىق ھالدا، FFKM تولۇق فلۇئورلانغان مولېكۇلا قۇرۇلمىسىغا ئىگە. بۇ مۇھىم پەرق PTFE غا ئوخشاش دېگۈدەك ئومۇميۈزلۈك خىمىيىلىك ئىنېرتلىقنى تەمىنلەيدۇ، ئەمما ئىشەنچلىك پېچەتلەش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئېلاستىكىلىققا ئىگە.

بۇ ماتېرىيالنىڭ 300-325 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئۈزلۈكسىز تېمپېراتۇرىغا ۋە قىسقا مۇددەتلىك تېخىمۇ يۇقىرى ئۆزگىرىشلەرگە بەرداشلىق بېرەلەيدىغانلىقى ئۇنى بۇلغىمىلارنى چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن دائىم جىددىي ئورنىدا پىشۇرۇش دەۋرىيلىكىنى باشتىن كەچۈرىدىغان قېزىش قوراللىرىغا ئالاھىدە ماس كېلىدۇ.

3. كۈچلۈك كىسلاتالىق ۋە پلازما مۇھىتىدا نۆل سۇ چىقىرىشقا ئېرىشىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوراللاردىكى ئېقىپ كېتىش ھەمىشە كۆرۈنگەن تامچىلاش ئەمەس؛ ئۇ جەرياننىڭ ئېقىپ كېتىشى ياكى ئۆزئارا بۇلغىنىش شەكلىدە ئىپادىلىنىشى مۇمكىن. FFKM بۇنى ئىچكى ماتېرىيال خۇسۇسىيىتى ۋە لايىھىسى ئارقىلىق ھەل قىلىدۇ.

خىمىيىلىك ئىنېرتلىق: FFKM دىكى كاربون-فلۇور باغلىنىشى ئورگانىك خىمىيەدىكى ئەڭ كۈچلۈك باغلىنىشلارنىڭ بىرى. بۇ خىل مۇقىملىق ماتېرىيالنىڭ ئاكتىپ كىسلاتا ۋە ئوكسىدلىغۇچىلار بىلەن رېئاكسىيەلىشىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىپ، مىڭلىغان سائەتلەر داۋامىدا پېچەتلەش گېئومېتىرىيەسى ۋە سىقىلىش كۈچىنى ساقلايدۇ.

پلازما قارشىلىقى: يۇقىرى ئىقتىدارلىق FFKM دەرىجىسى ئوكسىگېن ۋە فتور ئاساسلىق پلازما ئاستىدا ئېروزىيەگە قارشى تۇرۇش ئۈچۈن مەخسۇس لايىھەلەنگەن. بۇ «يېپىشقاق ئەمەس» خۇسۇسىيەت كامېرا تاملىرىدا ئۆتكۈزگۈچ چۆكمىلەرنىڭ شەكىللىنىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە پېچەتنىڭ جەرياننىڭ يۆتكىلىش مەنبەسىگە ئايلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: ئويۇش جەريانى كۆپىنچە تېز ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. FFKM تۆۋەن سىقىلىش مىقدارىنى ساقلايدۇ (ئۇزۇن مەزگىللىك تەسىردىن كېيىن كۆپىنچە <20-30%)، قايتا-قايتا قىزىتىش دەۋرىيلىكىدىن كېيىنمۇ پېچەتنىڭ بېزگە يېتەرلىك كۈچ سەرپ قىلىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، شۇ ئارقىلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئېقىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

4. تۆۋەن گاز چىقىرىشنىڭ مۇھىملىقى ۋە FFKM نىڭ قانداق نەتىجىگە ئېرىشىدىغانلىقى

يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا، گازنىڭ سىرتقا چىقىپ كېتىشى جەرياننىڭ ساپلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان ئاساسلىق خاتالىق ئۇسۇلى. گازنىڭ سىرتقا چىقىپ كېتىشى لېنتا يۈزىدە قايتا چۆكۈپ، سۇسلىشىش پەيدا قىلىشى ياكى مۇھىم ئۆلچەملەرنى ئۆزگەرتىشى مۇمكىن.

ماتېرىيال ساپلىقى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك FFKM بىرىكمىلىرى ئىنتايىن تۆۋەن مېتال ئىئون مىقدارى (كۆپىنچە <10 ppm) بىلەن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ ۋە باشتىلا ئۇچۇچان ئورگانىك ماددىلارنىڭ مىقدارىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن پاكىز ئۆي مۇھىتىدا ئىشلەپچىقىرىلىدۇ.

پىشۇرۇش ئىقتىدارى: FFKM نىڭ مۇھىم ئەۋزەللىكى شۇكى، ئۇ جەرياننى باشلاشتىن بۇرۇن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش جەريانلىرىغا (مەسىلەن، ۋاكۇئۇم ئاستىدا 150-200 سېلسىيە گرادۇس) بەرداشلىق بېرەلەيدۇ. بۇ باسقۇچ نەملىك ۋە تۆۋەن مولېكۇلا ئېغىرلىقتىكى قالدۇقلارنى ئاكتىپ ھالدا قوغلاپ چىقىرىپ، سەزگۈر جەريانلار ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىنتايىن تۆۋەن ئومۇمىي ماسسا يوقىتىش (TML) ۋە توپلانغان ئۇچۇچان قويۇقلىشىشقا بولىدىغان ماتېرىياللارنى (CVCM) قولغا كەلتۈرىدۇ.

سىڭىپ كىرىشكە قارشى تۇرۇش: زىچ، تولۇق فلورلانغان قۇرۇلما گازنىڭ سىڭىپ كىرىشىگە قارشى كۈچلۈك توساق رولىنى ئوينايدۇ، ئاتموسفېرا گازلىرىنىڭ كامېراغا ئېقىپ كىرىشىنىڭ ۋە پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گازلارنىڭ ئېقىپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.

5. ماتېرىيال سىنىپىدىن باشقا ئاساسلىق تاللاش ئۆلچەملىرى

بارلىق FFKM بىرىكمىلىرى ئوخشاش يارىتىلمايدۇ. ئويۇش ئىشلىرى ئۈچۈن پېچەتلەش ئۇسۇلىنى بەلگىلىگەندە، ئىنژېنېرلار بىر قانچە ئىنچىكە ئامىللارنى ئويلىشىشى كېرەك.

6. ئورتاق خەۋپ-خەتەرلەر ۋە ئەڭ ياخشى ئۇسۇللار

سىقىلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش: يۇقىرى بېسىملىق پەرقلىق ئىشلىتىشلەردە، ئېلاستومېرنىڭ بوشلۇقلارغا قىستىلىپ كىرىپ، پېچەتنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە زەررىچىلەرنىڭ تۆكۈلۈشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، سىقىلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈسكۈنىلىرىنى (مەسىلەن، PTFE زاپاس ھالقىسى) ئىشلىتىش تەۋسىيە قىلىنىدۇ.

بىر تەرەپ قىلىش ۋە ئورنىتىش: FFKM پېچەتلىرى چىداملىق بولسىمۇ، ئەگەر توغرا ئىشلەنمىسە، ئورنىتىش جەريانىدا ئاسانلا يېرىلىپ كېتىدۇ ۋە كېسىلىدۇ. مەخسۇس ئورنىتىش قوراللىرىنى ئىشلىتىش ۋە بېزەك گىرۋىكىنىڭ رادىئۇسلۇق (ئۆتكۈر ئەمەس) ئىكەنلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش پېچەتنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلاش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

ھاياتلىق دەۋرىيلىكىنى باشقۇرۇش: قوراللارنىڭ پىلانسىز توختاپ قېلىشى ۋە تاختاينىڭ قالدۇقلىرىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، پلازما ئاشكارىلىنىش ۋاقتىغا ئاساسەن ئالدىن پىلانلاش ئەڭ ياخشى ئۇسۇل (ئېقىپ كېتىشنى ساقلاشنىڭ ئورنىغا).

7. كەلگۈسىدىكى يۈزلىنىشلەر: تېخىمۇ يۇقىرى ساپلىققا بولغان ئىنتىلىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۈگۈنلەر 2nm ۋە ئۇنىڭدىن ئېشىپ كەتكەنچە، بۇلغىنىشقا بولغان چىدامچانلىقى نۆلگە يېقىنلىشىدۇ. سانائەت ئىئونلۇق ئارىلاشمىلارنىڭ تېخىمۇ تۆۋەن سەۋىيىسى ۋە مولېكۇلا ئېغىرلىقىنىڭ تەقسىملىنىشى بىلەن «يېڭى ئەۋلاد» FFKM فورمۇلاسىغا قاراپ ئىلگىرىلەۋاتىدۇ، بۇ ئارقىلىق ئېغىر UV (EUV) لىتوگرافىيەسى ۋە ئاتوم قەۋىتى ئويۇش (ALE) شارائىتىدا گازنىڭ چىقىپ كېتىشىنى تېخىمۇ باستۇرغىلى بولىدۇ.

خۇلاسە

ئويۇش جەريانى ئۈچۈن توغرا FFKM پېچەتلەشنى تاللاش كۆپ خىل ئۆزگىرىشچان ئەلالاشتۇرۇش مەسىلىسى. مەقسەت پەقەت خىمىيىلىك جەھەتتىن چىداملىق ماتېرىيال تاللاش ئەمەس، بەلكى خىمىيىلىك ھۇجۇم، ئىسسىقلىق بېسىمى ۋە ۋاكۇئۇم ساپلىقى قاتارلىق ئۈچ خىل ئامىلنى بىرلەشتۈرۈپ بىرىكمە ۋە لايىھەلەشنى تاللاشتۇر. پلازما ئەلالاشتۇرۇلغان دەرىجىسىنى ئالدىنقى ئورۇنغا قويۇش، قاتتىق بېز لايىھەلەش قائىدىلىرىگە ئەمەل قىلىش ۋە قاتتىق پىشۇرۇش قائىدىلىرىنى يولغا قويۇش ئارقىلىق، ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار ۋە زاۋۇت ئىنژېنېرلىرى يۇقىرى ئۈنۈملۈك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان نۆل ئېقىپ كېتىش، تۆۋەن گاز چىقىرىش ئىقتىدارىغا ئېرىشەلەيدۇ.

پايدىلىنىش ماتېرىياللىرى ۋە كەسىپ ئۆلچىمى:

ASTM D1418 (كاۋچۇك ماتېرىياللىرىنىڭ ئۆلچەملىك تۈرگە ئايرىش سىستېمىسى)

SEMI F57-0223 (بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنىڭ ئۆلچىمى)

ASTM E595 (ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا گاز چىقىرىشتىن كېلىپ چىققان ئومۇمىي ماسسا يوقىتىش ۋە توپلانغان ئۇچۇچان قويۇقلىشىشقا بولىدىغان ماتېرىياللارنىڭ ئۆلچەملىك سىناق ئۇسۇلى)